一种通过施加晶种层实现PZT薄膜高织构及自极化的方法

本发明涉及电子材料，具体涉及一种通过施加晶种层实现pzt薄膜高织构及自极化的方法。背景技术：1、压电材料可以实现电能与机械能的相互转换，是实现机电一体化、结构部件智能化的重要功能功能，在mems、能量......

2024-08-02 62

#薄膜#方法#施加晶