eDRAM的制备方法与流程

本发明涉及半导体，尤其涉及一种edram的制备方法。背景技术：1、edram(嵌入式动态随机存储器)是将深沟槽电容器的dram和逻辑电路集成在同一晶圆上，edram的存储单元一般包括深沟槽电容器以及与......

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#制备方法#流程#eDRAM