扩散炉内晶舟承载结构的制作方法

本技术涉及扩散炉，具体为一种扩散炉内晶舟承载结构。背景技术：1、扩散炉是半导体制造中用于进行扩散工艺的设备，包括炉腔、加热元件、气氛系统和晶圆等结构组成，将特定材料；例如，掺杂的硅在晶片上扩散，晶舟是......

2024-08-05 55

#制作方法#结构#炉内晶舟