一种MgF2掺杂改性的CZP陶瓷材料及其制备方法与应用

本发明属于电子陶瓷材料，具体涉及一种mgf2掺杂改性的czp陶瓷材料及其制备方法与应用，主料为磷酸盐成分的介电陶瓷材料，具有低介、低热膨胀系数、高杨氏模量等特性，可用于基于多层陶瓷共烧技术制作晶圆探针......

2024-06-20 23

#制备方法#陶瓷材料#CZP