一种铁电晶体管及其制造方法

本发明涉及半导体领域，特别涉及一种铁电晶体管及其制造方法。背景技术：1、随着半导体技术的发展，集成电路的特征尺寸持续微缩，集成密度不断增加，即晶体管尺寸不断缩小以提高集成密度。但是集成电路在实现高计算......

2024-10-21 73

#方法#电晶体