一种复投硅料后的接料装置的制作方法

本技术属于硅料接料，尤其涉及一种复投硅料后的接料装置。背景技术：1、当前的单晶炉复投送料系统分三种，一种是采用石英管容器通过单晶炉副炉室从上往下复投；第二种是在单晶炉炉盖处设置石英管通道对着坩埚内壁边......

2024-06-20 17

#制作方法#装置#复投硅料后