一种复投硅料后的接料装置的制作方法
- 国知局
- 2024-06-20 13:33:00
本技术属于硅料接料,尤其涉及一种复投硅料后的接料装置。
背景技术:
1、当前的单晶炉复投送料系统分三种,一种是采用石英管容器通过单晶炉副炉室从上往下复投;第二种是在单晶炉炉盖处设置石英管通道对着坩埚内壁边缘复投;第三种是在主炉室的复投孔位置伸入石英管在坩埚上沿复投硅料。
2、现有的单晶炉复投送料系统大多采用固定的或活动的直线振动送料器或回旋振动送料器将硅料通过石英管振入单晶炉坩埚内,而振动送料不利于颗粒硅的输送,小粒径的硅料送料速度远低于大粒径硅料的送料速度,大粒径硅料在进入单晶炉时撞击硅粒,造成硅粒飞溅,导致了硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害,因此提供一种可解决送料过程中硅粒飞溅问题的单晶炉复投送料系统的接料装置。
技术实现思路
1、本实用新型克服了现有技术的不足,提供一种复投硅料后的接料装置,以解决现有技术中存在的问题。
2、为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案为:一种复投硅料后的接料装置,对单晶炉复投送料过程中从石英管振动掉落的硅粒进行承接,包括
3、接料仓,所述接料仓顶部设有接料空腔,所述接料空腔两侧设有下料流道,所述接料仓一侧设置有缓冲块,所述缓冲块上设有对石英管进行限位的凹槽;
4、驱动组件,所述驱动组件包括安装架以及设置于所述安装架上的驱动器,所述驱动器用以驱动所述接料仓沿所述安装架长度方向进行运动。
5、本实用新型一个较佳实施例中,所述接料仓通过导向组件与所述安装架连接,所述导向组件包括导轨、沿所述导轨长度方向进行运动的滑块以及位于所述滑块上的底板。
6、本实用新型一个较佳实施例中,所述底板上设有容纳开口,所述接料仓底部位于所述容纳开口内,将所述接料仓固定。
7、本实用新型一个较佳实施例中,所述驱动器包括氮气弹簧与安装杆,所述氮气弹簧与所述底板连接,所述安装杆固定安装于所述安装架上,当氮气弹簧充气后,所述氮气弹簧通过所述底板带动所述接料仓沿所述安装杆长度方向进行运动。
8、本实用新型一个较佳实施例中,所述氮气弹簧通过一铰接座与所述底板铰接,所述安装杆通过另一铰接座与所述安装架铰接。
9、本实用新型一个较佳实施例中,所述底板下方固定设置有挂钩,用于放置物料袋承接掉落的硅粒。
10、本实用新型一个较佳实施例中,所述接料仓底部设有下料口,所述下料口位置处设置有接料袋。
11、本实用新型一个较佳实施例中,所述缓冲块为优力胶结构件,所述凹槽为半圆形槽体。
12、本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷,本实用新型具备以下有益效果:
13、(1)本实用新型的结构紧凑,与石英管配合动作,能够对飞溅出来的硅粒进行有效收集,可大大降低工人的劳动强度,降低硅料的损失以及有效避免了对单晶炉内部元器件的损害;
14、(2)本实用新型采用氮气弹簧作为驱动器,其有效行程大,弹力相对气缸更为稳定,能够达到更为稳定的接料效果;
15、(3)本实用新型采用优力胶结构件作为缓冲块,与石英管相贴合,能够对石英管起到稳定缓冲作用,避免石英管与接料仓直接接触,实现了对石英管与接料仓的分别保护。
技术特征:1.一种复投硅料后的接料装置,对单晶炉复投送料过程中从石英管(100)振动掉落的硅粒进行承接,其特征在于,包括
2.根据权利要求1所述的一种复投硅料后的接料装置,其特征在于,所述接料仓(10)通过导向组件(30)与所述安装架(21)连接,所述导向组件(30)包括导轨(31)、沿所述导轨(31)长度方向进行运动的滑块(32)以及位于所述滑块(32)上的底板(33)。
3.根据权利要求2所述的一种复投硅料后的接料装置,其特征在于,所述底板(33)上设有容纳开口,所述接料仓(10)底部位于所述容纳开口内,将所述接料仓(10)固定。
4.根据权利要求2所述的一种复投硅料后的接料装置,其特征在于,所述驱动器(22)包括氮气弹簧(221)与安装杆(222),所述氮气弹簧(221)与所述底板(33)连接,所述安装杆(222)固定安装于所述安装架(21)上,当氮气弹簧(221)充气后,所述氮气弹簧(221)通过所述底板(33)带动所述接料仓(10)沿所述安装杆(222)长度方向进行运动。
5.根据权利要求4所述的一种复投硅料后的接料装置,其特征在于,所述氮气弹簧(221)通过一铰接座(40)与所述底板(33)铰接,所述安装杆(222)通过另一铰接座(40)与所述安装架(21)铰接。
6.根据权利要求2或3所述的一种复投硅料后的接料装置,其特征在于,所述底板(33)下方固定设置有挂钩(50),用于放置物料袋承接掉落的硅粒。
7.根据权利要求1所述的一种复投硅料后的接料装置,其特征在于,所述接料仓(10)底部设有下料口,所述下料口位置处设置有接料袋(60)。
8.根据权利要求1所述的一种复投硅料后的接料装置,其特征在于,所述缓冲块(13)为优力胶结构件,所述凹槽(131)为半圆形槽体。
技术总结本技术公开了一种复投硅料后的接料装置,属于硅料接料技术领域,能够对单晶炉复投送料过程中从石英管振动掉落的硅粒进行承接,包括接料仓,所述接料仓顶部设有接料空腔,所述接料空腔两侧设有下料流道,所述接料仓一侧设置有缓冲块,所述缓冲块上设有对石英管进行限位的凹槽;驱动组件,所述驱动组件包括安装架以及设置于所述安装架上的驱动器,所述驱动器用以驱动所述接料仓沿所述安装架长度方向进行运动。本技术的结构紧凑,与石英管配合动作,能够对飞溅出来的硅粒进行有效收集,可大大降低工人的劳动强度,降低硅料的损失以及有效避免了对单晶炉内部元器件的损害。技术研发人员:吴晨,傅晋清,薄宏林,顾维国受保护的技术使用者:曼弗莱德智能制造(江苏)有限公司技术研发日:20231018技术公布日:2024/6/13本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240619/8737.html
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