不对称双末端执行器机械臂的制作方法

本文中公开的示例和非限制性实施例总体上涉及一种机械臂，并且更具体地涉及一种具有两个或更多个臂的机器人，其中臂上的末端执行器相对于彼此偏移。

背景技术：

1、用于制造半导体、led、太阳能、mems、或其他器件的工艺利用机器人技术和其他形式的自动化来将基板和与基板相关联的载体在存储位置、处理位置或其他位置之间来回传送。基板的这种传送可以包括移动个体基板、基板组，其中使用单个臂传送一个或多个基板，或者使用多个臂，每个臂传送一个或多个基板。例如，与半导体制造相关联的大部分制造是在真空环境中完成的，其中占地面积和体积非常重要。此外，进行大部分自动化传送是为了在工作空间体积内获取基板移动的最大效率。因此，需要提供基板传送自动化，该自动化利用最小占地面积和工作空间体积用于给定范围的传送应用，并且具有最大移动效率。

技术实现思路

1、以下概述仅旨在作为示例。概述并非旨在限制权利要求的范围。

2、根据一个方面，一种示例装置包括：包括具有第一末端执行器的不等连杆连杆机构的第一臂；包括具有第二末端执行器的等连杆连杆机构的第二臂；以及耦合到第一臂和第二臂的驱动单元，驱动单元被配置为移动第一臂和第二臂。第一末端执行器与第二末端执行器不对称。第一末端执行器相对于第二末端执行器成角度使得第一末端执行器上的第一基板支撑部分没有定位在第二末端执行器上的第二基板支撑部分之上或之下。

3、根据另一方面，一种用于承载至少两个基板的示例基板传送装置包括：包括不等长度的两个连杆和下端执行器的下臂；包括相等长度的两个连杆和上端执行器的上臂；以及耦合到下臂和上臂的驱动单元，驱动单元被配置为旋转和伸展下臂和上臂。下端执行器与上端执行器不对称并且相对于上端执行器成角度使得下端执行器的远端没有定位在上端执行器的远端之下，并且使得在下臂或上臂移动时，下端执行器的远端没有在上端执行器的远端之下行进。

4、根据另一方面，一种传送第一基板和第二基板的示例方法包括：围绕驱动单元的轴旋转第一臂，第一臂包括具有第一末端执行器的第一连杆机构，第一末端执行器被配置为传送第一基板；以及相对于包括具有第二末端执行器的第二连杆机构的第二臂伸展第一连杆机构，第二末端执行器与第一末端执行器不对称并且相对于第一末端执行器成角度，第二末端执行器被配置为传送第二基板。在停歇位置，第一基板没有定位在第二基板之上或之下。在伸展第一连杆机构时，第一基板没有在第二基板之上或之下行进。

5、根据另一方面，一种组装基板传送装置的示例方法包括：将第一连杆机构臂的上连杆连接到驱动单元的可旋转轴；在第一肘关节处将第一连杆机构臂的下连杆连接到第一连杆机构臂的上连杆；在第一腕关节处将第一末端执行器连接到第一连杆机构臂的下连杆；将第二连杆机构臂的上连杆连接到驱动单元的可旋转轴；在第二肘关节处将第二连杆机构臂的下连杆连接到第二连杆机构臂的上连杆；以及在第二腕关节处将第二末端执行器连接到第二连杆机构臂的下连杆。至少第一连杆机构臂的上连杆机构与第一连杆机构臂的下连杆机构具有不等长度。第一末端执行器相对于第二末端执行器成角度使得第一末端执行器的远端处的第一基板支撑部分没有在第二末端执行器的远端处的第二基板支撑部分之上或之下。

6、根据另一方面，一种示例装置包括：至少一个处理器；以及包括计算机程序代码的至少一个非暂态存储器，至少一个存储器和计算机程序代码被配置为与至少一个处理器一起引起该装置至少执行：围绕驱动单元的轴旋转第一臂，第一臂包括具有第一末端执行器的第一连杆机构，第一末端执行器被配置为传送第一基板；以及相对于包括具有第二末端执行器的第二连杆机构的第二臂伸展第一连杆机构，第二末端执行器与第一末端执行器不对称并且相对于第一末端执行器成角度，第二末端执行器被配置为传送第二基板。在停歇位置，第一基板没有定位在第二基板之上或之下。在伸展第一连杆机构时，第一基板没有在第二基板之上或之下行进。

技术特征：

1.一种装置，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述腔室限定真空环境。

3.根据权利要求1所述的装置，其中进入所述至少两个基板处理站中的第一基板处理站的入口被定向成与进入所述至少两个基板处理站中的第二基板处理站的入口正交。

4.根据权利要求1所述的装置，其中当所述机器人的所述第一臂或所述机器人的所述第二臂移动时，所述第一末端执行器上的所述第一基板支撑部分或所述第二末端执行器上的所述第二基板支撑部分中的一者没有在所述第一末端执行器上的所述第一基板支撑部分或所述第二末端执行器上的所述第二基板支撑部分中的另一者之上或之下行进。

5.根据权利要求1所述的装置，其中具有所述两个等长连杆的连杆机构和具有所述两个不等长连杆的连杆机构中的一者或两者的连杆机构与至少一个非圆形带轮一起移动。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述机器人的所述第一臂和所述机器人的所述第二臂被配置为使得在所述第一臂的伸展运动时，所述第一末端执行器远离所述第二末端执行器移动。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述机器人的所述第一臂和所述机器人的所述第二臂被配置为使得在所述第二臂的伸展运动时，所述第二末端执行器远离所述第一末端执行器移动。

8.根据权利要求1所述的装置，其中在具有所述两个等长连杆的连杆机构的位置中、其中所述两个等长连杆中的一个被定位在所述两个等长连杆中的另一个之上时，所述第一末端执行器和所述第二末端执行器的取向随着所述第二末端执行器沿着直线移动而改变。

9.根据权利要求1所述的装置，其中在具有所述两个不等长连杆的连杆机构的位置中、其中所述两个不等长连杆中的一个定位在所述两个不等长连杆中的另一个之上时，所述第一末端执行器和所述第二末端执行器的取向随着所述第一末端执行器沿直线移动而改变。

10.一种在第一站和第二站之间传送至少一个基板的方法，所述方法包括：

技术总结本公开的一个或多个实施例涉及不对称双末端执行器机械臂。一种装置包括：包括具有第一末端执行器的不等连杆连杆机构的第一臂；包括具有第二末端执行器的等连杆连杆机构的第二臂；以及耦合到第一臂和第二臂的驱动单元，驱动单元被配置为移动第一臂和第二臂。第一末端执行器与第二末端执行器不对称。第一末端执行器相对于第二末端执行器成角度使得第一末端执行器上的第一基板支撑部分没有定位在第二末端执行器上的第二基板支撑部分之上或之下。技术研发人员：S·威尔卡斯,M·霍塞克受保护的技术使用者：柿子技术公司技术研发日：技术公布日：2024/6/5