一种提拉偏移机构的制作方法

本技术涉及提拉偏移装置，特别是涉及一种提拉偏移机构。

背景技术：

1、晶体生长设备用于处理半导体材料如磷化铟、氮化铝等材料的高压生长工艺。由于是高压设备，所以工艺腔室非常厚重的，目前同类产品中，在进行装卸料操作时，需要将上法兰的锁紧打开后再升上去，但始终还是在工艺腔的正上方，操作人员在取放料时很危险。由于高压腔的上法兰升高后位于工艺腔正上方，在对工艺腔内部进行保养维护时也是极不方便，且危险性极大。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是在进行装卸料操作时，需要将上法兰的锁紧打开后再升上去，但始终还是在工艺腔的正上方，操作人员在取放料时很危险。由于高压腔的上法兰升高后位于工艺腔正上方，在对工艺腔内部进行保养维护时也是极不方便，且危险性极大。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种提拉偏移机构，包括底部支撑框架组件、旋转电机和液压轴，所述底部支撑框架组件上端安装有腔体，所述腔体上端安装有腔体上盖，所述上盖上端安装有提拉支撑架，所述提拉支撑架侧端安装有上支撑框架，所述提拉支撑架上端安装有顶部升降装置，利用顶部升降装置对提拉支撑架进行支撑；

3、所述底部支撑框架组件侧壁连接有下支撑框架，所述下支撑框架内部安装有液压缸安装内板，所述液压缸安装内板上端安装有液压缸，利用液压缸安装板内板对液压缸进行支撑，使液压缸保持稳定。

4、优选的，所述下支撑框架上端安装有支撑臂法兰，所述上支撑框架下端安装有轴承，便于旋转电机输出端进行旋转。

5、优选的，所述液压轴上端穿过支撑臂法兰和轴承中部，所述液压轴外部安装有圆螺母，所述圆螺母上端连接有法兰组件，用于对液压缸一端进行固定。

6、优选的，所述旋转电机下端安装有减速器，所述减速器外部安装有伺服支撑板，所述减速器下端与法兰组件连接。

7、优选的，所述伺服支撑板下端安装有伺服连接板支撑块和肋板。

8、优选的，所述伺服支撑板下端安装有传感器，用于监测腔体上盖升降位置。

9、本实用新型的有益效果如下：

10、本实用新型通过提拉偏移装置能够实现腔体上盖的自动打开和关闭，方便物料取放操作，节省人力，提高生产效率。

技术特征：

1.一种提拉偏移机构，包括底部支撑框架组件(1)、旋转电机(15)和液压轴(12)，其特征在于：所述底部支撑框架组件(1)上端安装有腔体(2)，所述腔体(2)上端安装有腔体上盖(3)，所述上盖(3)上端安装有提拉支撑架(4)，所述提拉支撑架(4)侧端安装有上支撑框架(5)，所述提拉支撑架(4)上端安装有顶部升降装置(6)；

2.根据权利要求1所述的一种提拉偏移机构，其特征在于：所述下支撑框架(7)上端安装有支撑臂法兰(10)，所述上支撑框架(5)下端安装有轴承(11)。

3.根据权利要求2所述的一种提拉偏移机构，其特征在于：所述液压轴(12)上端穿过支撑臂法兰(10)和轴承(11)中部，所述液压轴(12)外部安装有圆螺母(13)，所述圆螺母(13)上端连接有法兰组件(14)。

4.根据权利要求1所述的一种提拉偏移机构，其特征在于：所述旋转电机(15)下端安装有减速器(16)，所述减速器(16)外部安装有伺服支撑板(17)，所述减速器(16)下端与法兰组件(14)连接。

5.根据权利要求4所述的一种提拉偏移机构，其特征在于：所述伺服支撑板(17)下端安装有伺服连接板支撑块(18)和肋板(19)。

6.根据权利要求4所述的一种提拉偏移机构，其特征在于：所述伺服支撑板(17)下端安装有传感器(20)。

技术总结本技术公开了一种提拉偏移机构，包括底部支撑框架组件、旋转电机和液压轴，所述底部支撑框架组件上端安装有腔体，所述腔体上端安装有腔体上盖，所述上盖上端安装有提拉支撑架，所述提拉支撑架侧端安装有上支撑框架，所述提拉支撑架上端安装有顶部升降装置，所述底部支撑框架组件侧壁连接有下支撑框架，所述下支撑框架内部安装有液压缸安装内板，所述液压缸安装内板上端安装有液压缸，所述下支撑框架上端安装有支撑臂法兰，所述上支撑框架下端安装有轴承，所述液压轴上端穿过支撑臂法兰和轴承中部，所述液压轴外部安装有圆螺母，所述圆螺母上端连接有法兰组件。本技术通过上述结构，使腔体在移动的过程中保持稳定，避免发生偏移。技术研发人员：李强,姜洪斌,陈学超受保护的技术使用者：青岛华旗科技有限公司技术研发日：20230825技术公布日：2024/6/13