一种真空镀膜机的弧源安装机构的制作方法

本技术涉及安装机构的，特别是涉及一种真空镀膜机的弧源安装机构。

背景技术：

1、真空镀膜机是一种需要在较高真空度下对工件进行的镀膜的设备，其中组成真空镀膜机的弧源部属于重要部件，其需要通过安装机构稳固在真空镀膜机上，经检索公告号为cn211142146u的专利文件中，提供了一种真空镀膜机的弧源安装机构，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体包括开设在其上端侧壁的管体一和管体二，所述镀膜机本体的一端通过螺孔固定连接有盖体，且盖体与镀膜机本体的侧壁转动连接，所述镀膜机本体的另一端固定套设有尾筒，所述镀膜机本体和尾筒的下端固定连接有多个支撑，所述盖体靠近镀膜机本体的一侧侧壁通过多个弧形块固定嵌设有弧源部，且弧源部的表面设置有弧源发生端，所述弧形块与弧源部之间通过螺栓固定连接，但其使用过程中发现，上述装置需要工作人员拧动多组螺栓进行弧源部的拆装，费时费力，导致弧源部拆装的便捷性较差。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种避免了通过拧动多组螺栓实现对盖体的拆装，省时省力，提高其使用便捷性的真空镀膜机的弧源安装机构。

2、本实用新型的一种真空镀膜机的弧源安装机构，包括真空镀膜机本体和盖体，真空镀膜机本体的左端设置有法兰盘，盖体与真空镀膜机本体的法兰盘通过螺栓连接，还包括安装组件、弧源部和固定组件，安装组件安装在盖体上，安装组件用于稳固弧源部，并且弧源部与盖体的内侧壁接触，弧源部上设置有弧源发生端，固定组件安装在盖体内侧壁上，固定组件用于加强对弧源部的固定；通过安装组件将弧源部预先安装在盖体上，并通过固定组件加强对弧源部的稳固，同时在安装组件与固定组件的配合使用下，避免了工作人员拧动多组螺栓实现对弧源部的快速拆装，省时省力，提高了装置对弧源部拆装的便捷性。

3、优选的，安装组件包括连接块、限位壳体、螺栓和螺母，连接块固定在弧源部的后端，连接块的左侧设置有第一螺纹孔，并且限位壳体安装在盖体的左端中部，连接块可插入到限位壳体内，并且限位壳体上设置有第二螺纹孔，限位壳体的第二螺纹孔与连接块的第一螺纹孔相对应，并且连接块与限位壳体之间通过螺栓连接，螺母与螺栓螺装连接，并且螺母与限位壳体的右端接触；将连接块插入到限位壳体内，并通过螺栓将连接块和限位壳体连接，同时将螺母旋拧到螺栓上并与限位壳体接触，此时实现对连接块以及弧源部的稳固，当需要对弧源部拆卸时，只需将螺母和螺栓从限位壳体上拧下，将连接块从弧源部内拆下即可，避免了拧动多组螺栓实现对盖体的拆装，提高了装置的使用便捷性。

4、优选的，固定组件包括多组第一夹持块、多组插块、多组第一永磁体、多组第二永磁体、多组第二夹持块和多组把手，多组第一夹持块均匀安装在盖体内侧壁上，第一夹持块的右端中部设置有定位插槽，插块可插入到第一夹持块的定位插槽内，并且插块的右端与第一夹持块的右端齐平，多组插块均匀固定在弧源部的外侧壁上，并且第一夹持块右端的左右两侧设置有第一安装槽，第一永磁体安装在第一夹持块的第一安装槽内，并且第二永磁体的左端左右两侧设置有第二装槽，第二夹持块安装在第二永磁体的第二安装槽内，并且第一永磁体与第二夹持块的磁性相反，多组把手分别固定在相邻两组第二永磁体之间；弧源部与盖体内侧接触后，插块恰好插入到第一夹持块的定位插槽内，此时工作人员手握把手，使得第二夹持块与第一永磁体接触并吸合，从而在第一夹持块与第二夹持块的配合使用下将插块夹持固定，加强对盖体固定的稳定性，提高装置的使用效果。

5、优选的，把手上设置有防滑纹；通过设置防滑纹，避免工作人员拉动把手时，出现打滑现象，避免出现磕碰损伤，提高装置的使用可靠性。

6、优选的，第一永磁体的右端与第一夹持块的右端齐平，并且第二夹持块的左端与第二永磁体的左端齐平；通过将第一永磁体与第一夹持块的右端齐平，并将第二夹持块与第二永磁体的左端齐平，便于后续把手与第一夹持块能够紧密贴合，提高对插块夹持固定的稳定性。

7、优选的，多组第一夹持块之间成三角结构排布；通过三角机构排布，使得多组插块均匀受力，进一步提高对盖体固定的稳定性。

8、优选的，把手的材质为不锈钢；通过设置不锈钢材质，提高装置的结构强度，提高装置的使用寿命。

9、优选的，盖体的表面设置有绝缘涂层；通过设置绝缘涂层，避免发生触电事故，提高装置使用的安全性。

10、与现有技术相比本实用新型的有益效果为：通过安装组件将弧源部预先安装在盖体上，并通过固定组件加强对弧源部的稳固，同时在安装组件与固定组件的配合使用下，避免了工作人员拧动多组螺栓实现对弧源部的快速拆装，省时省力，提高了装置对弧源部拆装的便捷性。

技术特征：

1.一种真空镀膜机的弧源安装机构，包括真空镀膜机本体(1)和盖体(2)，真空镀膜机本体(1)的左端设置有法兰盘，盖体(2)与真空镀膜机本体(1)的法兰盘通过螺栓连接，其特征在于，还包括安装组件、弧源部(3)和固定组件，安装组件安装在盖体(2)上，安装组件用于稳固弧源部(3)，并且弧源部(3)与盖体(2)的内侧壁接触，弧源部(3)上设置有弧源发生端，固定组件安装在盖体(2)内侧壁上，固定组件用于加强对弧源部(3)的固定；

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的弧源安装机构，其特征在于，把手(13)上设置有防滑纹。

3.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的弧源安装机构，其特征在于，第一永磁体(10)的右端与第一夹持块(8)的右端齐平，并且第二夹持块(12)的左端与第二永磁体(11)的左端齐平。

4.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的弧源安装机构，其特征在于，多组第一夹持块(8)之间成三角结构排布。

5.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的弧源安装机构，其特征在于，把手(13)的材质为不锈钢。

6.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的弧源安装机构，其特征在于，盖体(2)的表面设置有绝缘涂层。

技术总结本技术涉及安装机构的技术领域，特别是涉及一种真空镀膜机的弧源安装机构，其避免了通过拧动多组螺栓实现对盖体的拆装，省时省力，提高装置的使用便捷性；包括真空镀膜机本体和盖体，真空镀膜机本体的左端设置有法兰盘，盖体与真空镀膜机本体的法兰盘通过螺栓连接，还包括安装组件、弧源部和固定组件，安装组件安装在盖体上，安装组件用于稳固弧源部，并且弧源部与盖体的内侧壁接触，弧源部上设置有弧源发生端，固定组件安装在盖体内侧壁上，固定组件用于加强对弧源部的固定。技术研发人员：李长栋,魏俊杰,高峰,姜佃超受保护的技术使用者：山东沐东真空科技有限公司技术研发日：20230831技术公布日：2024/6/13