多孔薄膜的制造方法与流程

本发明涉及一种薄膜的制造方法，尤其涉及一种多孔薄膜的制造方法。

背景技术：

1、多孔薄膜具有有序且均匀大小的孔洞，可广泛地应用于各种领域，例如化学催化、生物/药物传感、光学、电池、过滤纯化等等。一般来说，多孔薄膜的制备是通过对薄膜材料进行光刻及蚀刻工艺以形成孔洞，然而上述方法的工艺繁复且为了将部分薄膜材料去除所使用的蚀刻液，对于环境及操作上的安全性不友善。

技术实现思路

1、本发明是针对一种多孔薄膜的制造方法，可通过简化的工艺得到多孔薄膜，进而降低制造成本，并且减少对环境及操作安全性的危害。

2、根据本发明的实施例，本发明的多孔薄膜的制造方法包括以下步骤。提供第一基板。形成图案化光刻胶层于第一基板上，其中图案化光刻胶层包括多个通孔。形成薄膜材料于图案化光刻胶层、多个通孔的侧壁及部分第一基板上。薄膜材料包括第一部分以及第二部分。第一部分设置于图案化光刻胶层的顶面上。第二部分设置于多个通孔的侧壁及部分第一基板上。将形成有薄膜材料于图案化光刻胶层上的第一基板浸泡于有机溶液中，以移除图案化光刻胶层，其中有机溶液包括丙酮。将第一部分与第二部分分离，以得到多孔薄膜。

3、在根据本发明的实施例的制造方法中，上述的薄膜材料包括金属、氧化物、氮化物或有机高分子材料。

4、在根据本发明的实施例的制造方法中，上述的多个通孔阵列排列于图案化光刻胶层中。

5、在根据本发明的实施例的制造方法中，上述的多个通孔平行于第一基板的顶表面的截面形状包括圆形、椭圆形或多边形。

6、在根据本发明的实施例的制造方法中，在将上述第一部分与第二部分分离后，分离的第二部分包括多个管状结构设置于第一基板上，其中多个管状结构的形状及排列与图案化光刻胶层的多个通孔对应。

7、在根据本发明的实施例的制造方法中，上述的多孔薄膜包括多个孔洞，多个孔洞的形状及排列与图案化光刻胶层的多个通孔对应。

8、在根据本发明的实施例的制造方法中，形成上述的薄膜材料于图案化光刻胶层、多个通孔的侧壁及部分第一基板上的步骤包括形成第一薄膜材料层于图案化光刻胶层上及多个通孔的侧壁及部分第一基板上，然后形成支撑材料层于第一薄膜材料层上，以及形成第二薄膜材料层于支撑材料层上。

9、在根据本发明的实施例的制造方法中，上述的支撑材料层的材料包括钨基金属。

10、在根据本发明的实施例的制造方法中，上述的有机溶液还包括酒精。

11、在根据本发明的实施例的制造方法中，上述的制造方法还包括将多孔薄膜设置于第二基板上。

12、基于上述，本发明的多孔薄膜的制造方法，可以简化的工艺制得大面积的多孔薄膜，且无需对薄膜材料进行蚀刻，因此可降低对环境及操作安全上的危害。

技术特征：

1.一种多孔薄膜的制造方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述薄膜材料包括金属、氧化物、氮化物或有机高分子材料。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述多个通孔阵列排列于所述图案化光刻胶层中。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述多个通孔平行于所述第一基板的顶表面的截面形状包括圆形、椭圆形或多边形。

5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在将所述第一部分与所述第二部分分离后，分离的所述第二部分包括多个管状结构设置于所述第一基板上，其中所述多个管状结构的形状及排列与所述图案化光刻胶层的所述多个通孔对应。

6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述多孔薄膜包括多个孔洞，所述多个孔洞的形状及排列与所述图案化光刻胶层的所述多个通孔对应。

7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，形成所述薄膜材料于所述图案化光刻胶层、所述多个通孔的所述侧壁及部分所述第一基板上的步骤包括：

8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述支撑材料层的材料包括钨基金属。

9.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述有机溶液还包括酒精。

10.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，还包括：

技术总结本发明提供一种多孔薄膜的制造方法。多孔薄膜的制造方法包括以下步骤。提供第一基板。形成图案化光刻胶层于第一基板上。图案化光刻胶层包括多个通孔。形成薄膜材料于图案化光刻胶层、多个通孔的侧壁及部分第一基板上。薄膜材料包括第一部分以及第二部分。第一部分设置于图案化光刻胶层的顶面上。第二部分设置于多个通孔的侧壁及部分第一基板上。将形成有薄膜材料于图案化光刻胶层上的第一基板浸泡于有机溶液中，以移除图案化光刻胶层。有机溶液包括丙酮。将第一部分与第二部分分离，以得到多孔薄膜。技术研发人员：朱瑾,张庭豪受保护的技术使用者：朱瑾技术研发日：技术公布日：2024/5/16