感光性糊剂和电子部件的制造方法与流程

本发明涉及感光性糊剂和电子部件的制造方法。

背景技术：

1、在电子部件、印刷布线基板等的绝缘层、配线导体的形成中，已知有使用含有无机成分和有机成分的感光性糊剂方法。

2、例如专利文献1中公开了一种具备含有玻璃粉末和陶瓷填料的无机成分、以及具有感光性的有机成分的感光性玻璃糊剂。作为具有感光性的有机成分，含有碱溶性聚合物、感光性单体、光聚合引发材料和溶剂等，作为碱溶性聚合物，可以举出甲基丙烯酸－甲基丙烯酸甲酯的共聚物等在侧链上具有羧基的聚合物。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：国际公开第2018/037729号公报

6、专利文献2：国际公开第2012/067016号公报

技术实现思路

1、专利文献1的用于感光性玻璃糊剂的玻璃粉末包含碱土金属元素、镧系元素。如果将这样的玻璃粉末与具有羧基等酸性官能团的聚合物混炼而糊剂化，则玻璃粉末的表面上存在的碱土金属元素等多价金属离子、从玻璃粉末溶出到糊剂中的碱土金属元素等多价金属离子吸附于聚合物的酸性官能团，并发生交联。由此，作为无机粉末的玻璃粉末与聚合物通过交联而结合，结果具有在糊剂中产生增稠(凝胶化)这样的问题。

2、作为防止多价金属离子与聚合物的酸性官能团的吸附的对策，在专利文献2中公开了一种在除铜粒子和具有感光性的有机成分以外还含有聚羧酸与螯合剂的导电性糊剂。根据专利文献2，通过使聚羧酸和螯合剂这样的低分子量的有机酸吸附并覆盖在作为无机粉末的铜粒子的表面，能够防止铜粒子和聚合物的吸附，防止导电性糊剂的增稠。然而，添加的低分子量的有机酸是溶解于糊剂溶液的物质，因此无法防止铜离子溶出到糊剂中。

3、在光刻用糊剂的情况下，如果碱土金属元素、铜等多价金属离子溶出到糊剂中，则聚合物的酸性官能团在糊剂的阶段已经形成多价金属离子和盐，因此聚合物在碱性显影液中的溶解性降低。进而，溶出到糊剂中的多价金属离子与聚合性单体、低聚物发生暗反应，也会引起增稠(凝胶化)。在专利文献2的导电性糊剂中，由于无法防止在碱性显影液中的不溶化以及与聚合性单体的暗反应，因此不能兼顾凝胶化的防止与光刻性。

4、本发明为了解决上述的问题，目的在于提供一种防止因多价金属离子而产生的增稠以及碱性显影液中的不溶化的感光性糊剂。本发明的目的还在于提供一种具备使用该感光性糊剂而形成绝缘层的工序的电子部件的制造方法。本发明的目的还在于具备使用该感光性糊剂而形成导体层的工序的电子部件的制造方法。

5、本发明的感光性糊剂的特征在于含有包含成为多价金属离子的元素的无机粉末、碱溶性聚合物、感光性单体和光聚合引发剂，将上述包含成为多价金属离子的元素的无机粉末以1重量％分散在纯水中而成的分散液、从分散时起经过10分钟时的导电率为170ms/m以下。

6、本发明的电子部件的制造方法具备使用绝缘糊剂形成绝缘层的工序、在上述绝缘层上使用导体糊剂形成导体层的工序。

7、在本发明的第1电子部件的制造方法中，其特征在于，上述绝缘糊剂为本发明的感光性糊剂。

8、在本发明的第2电子部件的制造方法中，其特征在于，上述导体糊剂为本发明的感光性糊剂。

9、根据本发明，能够提供防止因多价金属离子而产生的增稠以及碱性显影液中的不溶化的感光性糊剂。

技术特征：

1.一种感光性糊剂，其特征在于，含有包含成为多价金属离子的元素的无机粉末、碱溶性聚合物、感光性单体和光聚合引发剂，

2.根据权利要求1所述的感光性糊剂，其中，在所述包含成为多价金属离子的元素的无机粉末的表面，成为多价金属离子的元素的含有率小于2.0原子％。

3.根据权利要求1或2所述的感光性糊剂，其中，所述包含成为多价金属离子的元素的无机粉末的表面的至少一部分以陶瓷被膜覆盖。

4.根据权利要求3所述的感光性糊剂，其中，所述陶瓷被膜的主成分为sio2。

5.根据权利要求3或4所述的感光性糊剂，其中，所述陶瓷被膜的折射率n1与所述碱溶性聚合物、所述感光性单体和所述光聚合引发剂的混合物的折射率n2的差为|n1－n2|≤0.3。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性糊剂，其中，所述包含成为多价金属离子的元素的无机粉末是以金属氧化物晶体为主成分的绝缘体或以sio2为主成分的非晶质的绝缘体。

7.根据权利要求6所述的感光性糊剂，其中，所述成为多价金属离子的元素为选自碱土金属、镧系元素、ni、cu、pd、al、ti、zr、zn、ga、pb、nb、fe、co和v中的至少一种元素。

8.根据权利要求6或7所述的感光性糊剂，其中，所述包含成为多价金属离子的元素的无机粉末为具有结晶点的玻璃粉末。

9.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性糊剂，其中，所述包含成为多价金属离子的元素的无机粉末为金属。

10.根据权利要求9所述的感光性糊剂，其中，所述金属为贱金属。

11.根据权利要求9或10所述的感光性糊剂，其中，所述金属包含选自碱土金属、镧系元素、ni、cu、pd、al、ti、zr、zn、ga、pb、nb、fe、co和v中的至少一种元素。

12.根据权利要求9～11中任一项所述的感光性糊剂，其中，所述金属包含cu元素或ni元素。

13.一种电子部件的制造方法，其特征在于，具备以下的工序：

14.根据权利要求13所述的电子部件的制造方法，其中，所述导体糊剂是权利要求9～12中任一项所述的感光性糊剂。

15.一种电子部件的制造方法，其特征在于，具备以下的工序：

技术总结本发明提供一种感光性糊剂，其含有包含成为多价金属离子的元素的无机粉末、碱溶性聚合物、感光性单体和光聚合引发剂，将上述包含成为多价金属离子的元素的无机粉末以1重量％分散在纯水中而成的分散液的、从分散时起经过10分钟时的导电率为170mS/m以下。技术研发人员：佐野力也受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/5/16