反射镜组件及其制作方法和激光雷达与流程

本申请涉及激光雷达，具体而言，涉及反射镜组件及其制作方法和激光雷达。

背景技术：

1、在激光雷达的发射装置中，可能使用到反射镜来改变发射器发出光束的方向。现有的反射镜是固定在基板(比如电路板)上，固定的方式通常有两种：通过环氧树脂胶粘结；通过设置框架来包围反射镜以固定其相对于框架的位置，然后将框架安装于基板上。然而这些固定方式中，反射镜的稳定性差，容易发生脱落或移位，导致激光雷达的可靠性较低。

2、鉴于此，特提出本申请。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供反射镜组件及其制作方法和激光雷达。

2、本申请是这样实现的：

3、第一方面，本申请提供一种反射镜组件，应用于激光雷达，包括：

4、基板，基板上设置有金属连接部；

5、设置于基板的反射镜，所述反射镜包括反射镜主体、反射层和金属缓冲层，所述反射镜主体具有相互呈夹角的第一表面和第二表面，所述反射层铺设于所述第一表面并形成所述反射镜的反射面，所述金属缓冲层铺设于所述第二表面，所述金属缓冲层通过钎焊工艺连接于金属连接部。

6、在可选的实施方式中，金属缓冲层包括层叠设置的焊接层和金属中介层，焊接层与金属连接部的材质相同，焊接层通过钎焊工艺连接于金属连接部，金属中介层的一侧连接于反射镜主体的第二表面，金属中介层的另一侧连接于焊接层，金属中介层与焊接层之间以及金属中介层与反射镜主体之间的结合力均大于反射镜主体与焊接层的结合力。

7、在可选的实施方式中，焊接层和金属中介层的材质为铜。

8、在可选的实施方式中，金属中介层包括依次层叠设置的铝层、钛层、镍层以及钒层，其中，铝层连接于反射镜主体的第二表面，钒层连接于焊接层。

9、在可选的实施方式中，铝层、钛层、镍层、钒层以及焊接层各自的厚度为1～50nm。

10、在可选的实施方式中，反射层的材质为银。

11、在可选的实施方式中，反射层的厚度为1～50nm。

12、第二方面，本申请提供一种反射镜组件的制作方法，包括：

13、获取基板，基板上设置有金属连接部；

14、获取反射镜，反射镜包括反射镜主体、反射层和金属缓冲层，反射镜主体具有相互呈夹角的第一表面和第二表面，反射层铺设于第一表面并形成反射镜的反射面，金属缓冲层铺设于第二表面；

15、通过钎焊工艺将反射镜上的金属缓冲层连接于金属连接部。

16、在可选的实施方式中，获取反射镜的步骤，包括：

17、获取反射镜主体；

18、在第一表面上沉积反射层，以形成反射镜的反射面；

19、在第二表面上依次沉积金属中介层和焊接层，以得到金属缓冲层；

20、其中，焊接层用于连接金属连接部，金属中介层与焊接层之间的结合力以及金属中介层与反射镜主体之间的结合力均大于反射镜主体与焊接层之间的结合力。

21、在可选的实施方式中，反射层、金属中介层和焊接层均通过金属升华或等离子溅射的方式沉积。

22、在可选的实施方式中，在第二表面上依次沉积金属中介层和焊接层的步骤，具体包括：

23、在第二表面上依次沉积铝层、钛层、镍层和钒层，以得到金属中介层；

24、在钒层上沉积焊接层。

25、在可选的实施方式中，金属连接部的材质为铜。

26、在可选的实施方式中，通过钎焊工艺将反射镜连接于金属连接部的步骤，包括：

27、在金属连接部上放置铟片，将反射镜具有金属缓冲层的一侧放置于铟片上；

28、将承载有反射镜的基板放入真空回流设备中进行回流焊接。

29、在可选的实施方式中，回流焊接的最高温度为180～190℃。

30、第三方面，本申请提供一种激光雷达，包括发射器以及前述实施方式中任一项的反射镜组件或者制作方法制得的反射镜组件，反射镜组件的反射镜用于反射发射器发出的光束。

31、本申请具有以下有益效果：

32、本申请实施例提供的反射镜组件包括基板和设置于基板的反射镜。基板上设置有金属连接部，反射镜上的金属缓冲层通过钎焊工艺连接于金属连接部。本申请实施例提供的制作方法用于制作上述的反射镜组件。本申请中，反射镜通过钎焊连接于基板上的金属连接部，相较于使用环氧树脂进行粘接，其结合强度更强，稳定性更好。并且相较于环氧树脂，在高温下依然能够维持较佳的结合强度，不易因老化而脱落。相较于使用框架来固定反射镜，使用钎焊的方式不会面临框架因热膨胀系数不同导致对反射镜约束不足的问题。因此本申请实施例提供的反射镜组件以及本申请实施例提供的制作方法所制得的反射镜具有结构稳固的特点。

33、本申请实施例提供的激光雷达包括上述的反射镜组件或者上述制作方法制得的反射镜组件，因此具有较佳的可靠性。

技术特征：

1.一种反射镜组件，应用于激光雷达，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的反射镜组件，其特征在于，所述金属缓冲层包括层叠设置的焊接层和金属中介层，所述焊接层与所述金属连接部的材质相同，所述焊接层通过钎焊工艺连接于所述金属连接部，所述金属中介层的一侧连接于所述反射镜主体的所述第二表面，所述金属中介层的另一侧连接于所述焊接层，所述金属中介层与所述焊接层之间以及所述金属中介层与所述反射镜主体之间的结合力均大于所述反射镜主体与所述焊接层之间的结合力。

3.根据权利要求2所述的反射镜组件，其特征在于，所述焊接层和所述金属中介层的材质为铜。

4.根据权利要求3所述的反射镜组件，其特征在于，所述金属中介层包括依次层叠设置的铝层、钛层、镍层以及钒层，其中，所述铝层连接于所述反射镜主体的所述第二表面，所述钒层连接于所述焊接层。

5.一种反射镜组件的制作方法，其特征在于，包括：

6.根据权利要求5所述的反射镜组件的制作方法，其特征在于，所述获取反射镜的步骤，包括：

7.根据权利要求6所述的反射镜组件的制作方法，其特征在于，所述反射层、所述金属中介层和所述焊接层均通过金属升华或等离子溅射的方式沉积。

8.根据权利要求6所述的反射镜组件的制作方法，其特征在于，所述在所述第二表面上依次沉积金属中介层和焊接层的步骤，具体包括：

9.根据权利要求5-8中任一项所述的反射镜组件的制作方法，其特征在于，所述通过钎焊工艺将所述金属缓冲层连接于所述金属连接部的步骤，包括：

10.一种激光雷达，其特征在于，包括发射器以及权利要求1-4中任一项所述的反射镜组件或者权利要求5-9中任一项所述的制作方法制得的反射镜组件，所述反射镜组件的所述反射镜用于反射所述发射器发出的光束。

技术总结本申请公开了一种反射镜组件及其制作方法和激光雷达，涉及激光雷达技术领域。反射镜组件包括基板和设置于基板的反射镜。基板上设置有金属连接部，反射镜上的金属缓冲层通过钎焊工艺连接于金属连接部。本申请实施例提供的制作方法用于制作上述的反射镜组件。本申请中，反射镜通过钎焊连接于基板上的金属连接部，其结合强度更强，不容易因振动、冲击、老化或热胀冷缩等因素而脱落或移位，稳定性更好。本申请实施例提供的激光雷达包括上述的反射镜组件或者上述制作方法制得的反射镜组件，因此具有较佳的可靠性。技术研发人员：赖远庭受保护的技术使用者：广州导远电子科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/5