一种激光直接成像设备图形对位提取基准点的方法与流程

本公开属于激光直接成像的，尤其涉及一种激光直接成像设备图形对位提取基准点的方法。

背景技术：

1、数字直接成像设备在曝光中，其工作过程为：载入cam(computer aidedmanufacturing，计算机辅助制造)资料，获取cam资料的位置尺寸信息，根据数字直接成像设备的曝光坐标系曝光区域定义及各种系统参数计算cam坐标系和曝光坐标系的映射关系，曝光系统根据各个镜头在曝光坐标系中的位置关系等参数，将处理好的cam资料图形按照各个镜头所属部分分发给各个镜头所关联的dlp引擎。

2、在上述获取cam资料的位置尺寸信息过程中需要对位，现有技术中其对位过程为：在曝光基板正面cam资料图形的同时，点亮对应的内层靶标光源并在基板的背面打上标记图形；在基板翻面之后开始曝光基板背面cam资料图形时，通过内层靶标打上的标记图形以确认计算当前cam资料图形在基板背面的位置，并且从第一个拼版开始，一一与拼版上的基准点对位，如图2所示，该种方式对位时间长。

技术实现思路

1、为了解决了上述技术问题，本公开提出了一种激光直接成像设备图形对位提取基准点的方法，具体技术方案如下：

2、一种激光直接成像设备图形对位提取基准点的方法，包括以下步骤：

3、选择m个拼版并阵列设置，录入拼版方向相邻拼版的间距，确定其中一个拼版上的第一基准点，计算出所述第一基准点在cam坐标系的位置信息和所述第一基准点的尺寸信息；

4、根据拼版方向相邻拼版的间距，确定与拼版数目相同的基准点；

5、选择待提取的基准点数n，所述m>n，被选择的n个待提取的基准点由首尾拼版的基准点和n-2个中间基准点组成；

6、通过对位相机处理提取的n个基准点，并保存n个基准点对应的基准信息；

7、然后相邻最近的被选择提取的基准点的基准信息处理未被选择的基准点，并保存未被选择提取的基准点对应的基准信息，对位完成后进行曝光。

8、在其中一个实施例中，两个相邻的被选择提取的基准点之间未被选择的基准点数与其他相邻的被提取的基准点之间未被选择的基准点数之差小于设定值。

9、在其中一个实施例中，两个相邻的被选择提取的基准点之间未被选择的基准点数与其他相邻的被提取的基准点之间未被选择的基准点数相同。

10、在其中一个实施例中，所述基准信息包括基准点坐标、角度和涨缩值中的一个或多个。

11、在其中一个实施例中，所述选择m个拼版并阵列设置之前，还包括：

12、所述cam资料没有基准点被标记，根据cam资料对应的原始资料上基准点的位置关系做转换，抽象出所述第一基准点。

13、本公开的优点在于：

14、(1)本公开通过选择首尾拼版的基准点和n-2个中间基准点，并且被选择待提取的基准点数n小于拼版数，因此该方案不需要借助复杂的工具，就能够在原有的对位方式上进行优化，从而大大降低了对位的时间，也减少了对位的成本，并且该方法对位灵活，可以提取任意的基准点数量，另外该方法是选择一个基准点后跳过若干个基准点再选择基准点来进行对位，在同一误差情况下，依序进行基准点对位来说，不会在靠后的基准点中产生累计误差，从而能够提高对位的精度。

15、(2)本公开中两个相邻的被选择提取的基准点之间未被选择的基准点数与其他相邻的被提取的基准点之间未被选择的基准点数之差小于设定值，使得尽量平均的分配被选择待提取的基准点的位置。两个相邻的被选择提取的基准点之间未被选择的基准点数与其他相邻的被提取的基准点之间未被选择的基准点数相同，该选择方式的效果最佳。

16、(3)所述cam资料没有基准点被标记，根据cam资料对应的原始资料上基准点的位置关系做转换，抽象出所述第一基准点，表示该方法可以作用于cam资料没有基准点被标记的情况。

技术特征：

1.一种激光直接成像设备图形对位提取基准点的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种激光直接成像设备图形对位提取基准点的方法，其特征在于，两个相邻的被选择提取的基准点之间未被选择的基准点数与其他相邻的被提取的基准点之间未被选择的基准点数之差小于设定值。

3.根据权利要求1所述的一种激光直接成像设备图形对位提取基准点的方法，其特征在于，两个相邻的被选择提取的基准点之间未被选择的基准点数与其他相邻的被提取的基准点之间未被选择的基准点数相同。

4.根据权利要求1所述的一种激光直接成像设备图形对位提取基准点的方法，其特征在于，所述基准信息包括基准点坐标、角度和涨缩值中的一个或多个。

5.根据权利要求1所述的一种激光直接成像设备图形对位提取基准点的方法，其特征在于，所述选择m个拼版并阵列设置之前，还包括：

技术总结一种激光直接成像设备图形对位提取基准点的方法，包括以下步骤：选择M个拼版并阵列设置，录入拼版方向相邻拼版的间距，确定其中一个拼版上的第一基准点，计算出所述第一基准点在CAM坐标系的位置信息和所述第一基准点的尺寸信息；根据拼版方向相邻拼版的间距，确定与拼版数目相同的基准点；选择待提取的基准点数N，所述M>N，被选择的N个待提取的基准点由首尾拼版的基准点和N‑2个中间基准点组成；通过对位相机处理提取的N个基准点，并保存N个基准点对应的基准信息；然后相邻最近的被选择提取的基准点的基准信息处理未被选择的基准点，并保存未被选择提取的基准点对应的基准信息，对位完成后进行曝光。该公开的优点在于：可以大大减少对位时长。技术研发人员：刘宸,韩非,陈修涛,董辉受保护的技术使用者：合肥众群光电科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/13