一种SE-TOPCon电池的丝网印刷方法与流程

本发明涉及光伏电池制备，尤其涉及一种se-topcon电池的丝网印刷方法。

背景技术：

1、近年来，选择性发射极(se)技术与隧穿氧化层钝化接触技术相结合形成的se-topcon电池成为晶体硅光伏电池的主流产品，se-topcon电池中的p++区就是通过se技术，利用激光高能脉冲熔融硅片表面，形成se激光线，使psg中的磷原子掺杂到熔融区域中，实现重掺杂。当丝网印刷的金属栅线与se激光线接触时，既能减少正面电极与电池硅片的接触电阻，又可降低电池硅片表面复合率，从而提高se-topcon电池的短路电流和开路电压，进而se-topcon电池的转换效率提升。

2、然而，目前se-topcon电池在进行丝网印刷时，常由于丝网印刷网版与p++区之间的定位不精准等原因，出现se-topcon电池p++区的正面se激光线与丝网印刷网版的金属栅线存在偏移的情况，使得se激光线外露或者搭边，金属栅线与se激光线覆盖度较低，从而导致se-topcon电池出现烧结后el图像偏暗，短路电流、开路电压、填充因子和转换效率偏低等问题。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本发明提供一种降低丝网印刷偏差的se-topcon电池的丝网印刷方法。本发明的技术方案如下：

2、一种se-topcon电池的丝网印刷方法，包括以下步骤：

3、s1，对n型电池硅片的正面和背面进行制绒处理和硼扩处理；s2，对完成硼扩处理的n型电池硅片正面进行se激光重掺杂处理，得到多根se激光线、四个矩形标识和四个定位图形，形成p++区；s3，将丝网印刷网版的图形与所述p++区的多根所述se激光线、四个所述矩形标识和四个所述定位图形进行比对定位，并根据比对定位结果进行丝网印刷，得到正面电极和背面电极。

4、可选地，所述s1在对n型电池硅片的正面和背面进行制绒处理时，包括：去除所述n型电池硅片表面的有机物脏污、金属杂质及线切割过程产生的机械损伤层后，通过制绒工艺在所述n型电池硅片的正面和背面形成起伏不平的绒面。

5、可选地，所述s1在进行硼扩处理时，包括：在完成制绒处理的n型电池硅片的正面和背面扩散p型元素，以在所述n型电池硅片的正面形成p+层，在所述n型电池硅片的背面形成n+层。

6、可选地，所述s2在对完成硼扩处理的n型电池硅片正面进行se激光重掺杂处理，得到多根se激光线、四个矩形标识和四个定位图形，形成p++区时，包括以下步骤：

7、s21，设置激光设备的激光波长、功率和扫描速度，并以设置的激光波长、功率和扫描速度在完成硼扩处理的n型电池硅片正面刻蚀多根se激光线；s22，在靠近n型电池硅片两侧的两根所述se激光线的上下两端分别进行多次激光雕刻，形成四个矩形标识；s23，在四个所述矩形标识内侧分别刻蚀四个十字型的定位图形，形成p++区。

8、可选地，所述s3在将丝网印刷网版的图形与所述p++区的多根所述se激光线、四个所述矩形标识和四个所述定位图形进行比对定位之前，还包括：对形成p++区的n型电池硅片正面进行氧化处理，以在所述p++区上形成氧化硅层；对完成氧化处理的n型电池硅片的背面进行去bsg-碱抛光处理，以去除n型电池硅片边缘及背面的bsg，同时保留n型电池硅片正面的bsg，去除n型电池硅片正面和背面的损伤层、腐蚀绒面层和抛光绒面层，使n型电池硅片表面形成镜面效果；对完成去bsg-碱抛光处理的n型电池硅片背面进行ep-poly处理，以在n型电池硅片背面制备隧穿氧化层、氧化硅薄膜层和原位掺杂非晶硅层；对完成ep-poly处理的n型电池硅片进行退火处理，使所述原位掺杂非晶硅层在n型电池硅片的背面转为n型多晶硅薄膜层；对完成退火处理的n型电池硅片进行rca处理，具体为通过氢氟酸溶液、氢氧化钠溶液以及辅助添加剂对所述n型电池硅片正面和边缘进行刻蚀，去除所述n型电池硅片正面的氧化硅、bsg及背面psg；对完成rca处理的n型电池硅片的正面进行ald处理，以在所述p+层上形成一层氧化铝薄膜层；对完成ald处理的n型电池硅片的正面和背面分别沉积一层氮化硅薄膜层。

9、可选地，所述s3在将丝网印刷网版的图形与所述p++区的多根所述se激光线、四个所述矩形标识和四个所述定位图形进行比对定位时，包括：丝网印刷网版首先抓取所述p++区的四个所述定位图形进行初步定位，再观察丝网印刷网版的图形与所述p++区的四个矩形标识和多根se激光线的覆盖度进行精确定位。

10、可选地，所述s3在根据比对定位结果进行丝网印刷，得到正面电极和背面电极时，包括：当确认所述丝网印刷网版的图形与所述p++区的四个矩形标识和多根se激光线覆盖后，在所述n型电池硅片正面上料来印刷多根金属栅线以形成正面电极，在所述n型电池硅片背面上料来印刷多根金属栅线以形成背面电极。

11、可选地，所述s3之后还包括：对完成丝网印刷的n型电池硅片进行通过烧结炉烧结的金属化处理，形成欧姆接触。

12、上述所有可选地技术方案均可任意组合，本发明不对一一组合后的结构进行详细说明。

13、借由上述方案，本发明的有益效果如下：

14、通过对完成硼扩处理的n型电池硅片正面进行se激光重掺杂处理得到多根se激光线、四个矩形标识和四个定位图形，形成p++区，使得当进行丝网印刷时，丝网印刷网版先通过抓取p++区的四个定位图形进行初步定位后，工作人员再通过观察丝网印刷网版的图形在四个矩形标识和多根se激光线上的覆盖程度，使丝网印刷网版可以在p++区进行精确定位，减小丝网印刷时丝网印刷网版的图形与多根se激光线的位置偏差，提高丝网印刷的网版图形与多根se激光线的覆盖度，从而可以提高se-topcon电池的短路电流、开路电压、填充因子和光电转换效率，并解决了se-topcon电池出现烧结后el图像偏暗的问题。

15、上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

技术特征：

1.一种se-topcon电池的丝网印刷方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种se-topcon电池的丝网印刷方法，其特征在于，所述s1在对n型电池硅片的正面和背面进行制绒处理时，包括：

3.根据权利要求1所述的一种se-topcon电池的丝网印刷方法，其特征在于，所述s1在进行硼扩处理时，包括：

4.根据权利要求1所述的一种se-topcon电池的丝网印刷方法，其特征在于，所述s2在对完成硼扩处理的n型电池硅片正面进行se激光重掺杂处理，得到多根se激光线(2)、四个矩形标识(3)和四个定位图形(4)，形成p++区(1)时，包括：

5.根据权利要求1所述的一种se-topcon电池的丝网印刷方法，其特征在于，所述s3在将丝网印刷网版的图形与所述p++区(1)的多根所述se激光线(2)、四个所述矩形标识(3)和四个所述定位图形(4)进行比对定位之前，还包括：

6.根据权利要求1所述的一种se-topcon电池的丝网印刷方法，其特征在于，所述s3在将丝网印刷网版的图形与所述p++区(1)的多根所述se激光线(2)、四个所述矩形标识(3)和四个所述定位图形(4)进行比对定位时，包括：

7.根据权利要求6所述的一种se-topcon电池的丝网印刷方法，其特征在于，所述s3在根据比对定位结果进行丝网印刷，得到正面电极和背面电极时，包括：

8.根据权利要求7所述的一种se-topcon电池的丝网印刷方法，其特征在于，所述s3之后还包括：

技术总结本发明涉及一种SE‑TOPCon电池的丝网印刷方法，属于光伏电池制备技术领域。包括：对N型电池硅片的正面和背面进行制绒处理和硼扩处理；对完成硼扩处理的N型电池硅片正面进行SE激光重掺杂处理，得到多根SE激光线、矩形标识和定位图形；将丝网印刷网版的图形与多根SE激光线、矩形标识和定位图形进行比对定位，根据比对定位结果进行丝网印刷。通过如此设置，当丝网印刷时，丝网印刷网版可先抓取定位图形进行初步定位，再通过观察丝网印刷网版的图形在矩形标识和多根SE激光线上的覆盖度，使网版在N型电池硅片进行精确定位，减小网版的图形与多根SE激光线的位置偏差，提高SE‑TOPCon电池的光电转化效率。技术研发人员：崔宁,徐国栋,田甲,李达,郭海志,王健,李巧伟,张军,张洁,贾慧君,张永前受保护的技术使用者：晋能光伏技术有限责任公司技术研发日：技术公布日：2024/4/7