一种玻璃粉浆丝网印刷装置的制作方法

本发明涉及丝网印刷，具体为一种玻璃粉浆丝网印刷装置。

背景技术：

1、在芯片制造过程中会把玻璃粉浆摊布于芯片或者是晶圆上，从而起到对芯片和晶圆的保护作用，涂覆玻璃粉浆一般用人工手动刀刮法把玻璃粉浆摊布于芯片上，这样摊涂的玻璃浆均匀性不一致，玻璃粉的利用率也较低，所以可采用丝网印刷方式进行涂覆，但通过丝网印刷时粉浆会受到倾斜的下压力和一个单方向的引导力，下压力用于使粉浆透过丝网，引导力进行方向限制，但丝网的覆盖面是远大于芯片的，当刮板倾斜的划过丝网时，处于下方的芯片会对正上方的粉浆起到承载的作用，此时粉浆就会透过丝网覆盖在芯片上表面，但芯片侧壁的圆周面是不对丝网上的粉浆进行承载的，就会容易使粉浆透过丝网附着在芯片的侧壁的圆周面上弄脏芯片，影响后续芯片的加工。

2、基于此，本发明设计了一种玻璃粉浆丝网印刷装置，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种玻璃粉浆丝网印刷装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种玻璃粉浆丝网印刷装置，包括放置板，所述放置板用于放置晶圆或芯片，所述放置板左右两侧均设置有承接板，两个所述承接板上均开容纳槽，两个所述容纳槽在合并时能够成为一个与晶圆或芯片重合的图形，两个所述承接板下方均设置有驱动组，所述驱动组用于在丝网印刷之前驱动两个承接板从两侧将放置板给限制在两个容纳槽内部、以及在印刷完成后驱动两个承接板与放置板分离，所述放置板上开设有两个缺口。

3、作为本发明的进一步方案，所述驱动组包括支撑板，所述支撑板位于放置板一侧，所述支撑板的前后端均转动连接有支杆，两个所述支杆共同设置在承接板的底端，两个所述支杆用于对承接板进行支撑，两个所述支杆的转动轴上均套接有第一扭簧，两个所述支杆均固定连接有齿轮，两个所述齿轮下方均设置有齿条杆，两个所述齿条杆分别能够与两个所述齿轮啮合，两个所述支撑板之间设置有抬升组，所述抬升组位于所述放置板的正下方，所述抬升组用于驱动齿轮与齿条杆啮合。

4、作为本发明的进一步方案，四个所述支杆分别滑动连接在两个承接板底部，四个所述支杆与承接板内壁之间均固定连接有第一弹簧，四个所述支杆侧壁均开设有竖直的滑槽，所述滑槽内部均滑动连接有驱动片，所述驱动片顶端均转动连接有驱动杆，四个所述驱动杆的顶端分别与两个承接板的前后侧壁转动连接；

5、四个所述齿条杆内部均滑动连接有竖杆，所述抬升组能带动四个所述竖杆和齿条杆同步上升，四个所述竖杆内部与齿条杆内壁之间均固定连接有第二弹簧，所述竖杆用于顶起驱动片，四个所述齿条杆侧壁均固定连接有延长边，所述延长边能够在齿条杆与齿轮啮合到极限位置时与支撑板的底部接触进而使齿条杆无法继续上升。

6、作为本发明的进一步方案，所述抬升组包括h型杆和底座，四个所述竖杆分别固定连接在所述h型杆的四个端部，所述h型杆位于底座的正上方，所述底座与h型杆之间固定连接有两个第一气缸，所述h型杆外部滑动连接有t型杆，所述t型杆底端处于两个所述支撑板的正下方且t型杆底端的长度大于两个支撑板之间的距离，所述h型杆与t型杆之间固定连接有第三弹簧，所述t型杆顶端与放置板底部固定连接。

7、作为本发明的进一步方案，所述放置板下方设置有支撑环，所述支撑环上开设有与放置板相匹配的凹槽，所述放置板位于凹槽内部，所述支撑环中部开设有通孔，所述t型杆穿过所述通孔，所述支撑环底部固定连接有若干个第二气缸，所述第二气缸的伸缩端均固定连接有挡片，所述挡片的内侧壁均转动连接有若干个滚轮，所述支撑环固定连接在两个所述支撑板之间。

8、作为本发明的进一步方案，所述支撑板顶端固定连接有两个引导板，所述引导板的中间位置由竖直状态向一侧倾斜，两个所述引导板倾斜部位的内部均开设有引导槽，两个所述引导槽中共同滑动连接有刮板，所述刮板的底部与引导槽的底部之间均固定连接有第四弹簧，两个所述引导板侧壁上均固定连接有电机，两个所述引导板侧壁均转动连接有绕线轮，所述电机的输出端上君固定连接有拉绳，两个所述拉绳的另一端均绕过绕线轮与刮板固定连接；

9、两个所述引导板一侧均设置有挡板，所述挡板的端部均开设有倾斜面，所述挡板用于对刮板进行阻挡，两个所述挡板的底端均转动连接在支撑板上，两个所述挡板的转动轴上均套接有第二扭簧，两个所述挡板之间设置有挤压板，所述挤压板的前后端分别滑动连接在两个所述引导板内部，两个所述引导板内壁与挤压板之间均固定连接有第五弹簧。

10、作为本发明的进一步方案，所述刮板底部均固定连接有抵制杆，所述承接板侧壁开设有槽边。

11、作为本发明的进一步方案，两个所述容纳槽内壁均设置有支撑边。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、1.通过两个承接板从晶圆或芯片的下方和周围进行支撑和限，使丝网印刷时处于晶圆或芯片外部的粉浆在透过丝网时受到承接板的阻拦，而不会将粉浆挤压到晶圆的侧壁上，并且承接板的顶端与晶圆或芯片的顶端处于同一水平高度，且承接板的存在扩大了与丝网的接触面，而不会在刮刀移动的过程中被挤压的粉浆透过丝网时改变处于晶圆或芯片周围的丝网的张力，避免丝网的网眼出现移动，提高印刷的效果。

14、2.设置的缺口在取下晶圆或芯片时可以从缺口从下方将晶圆或者芯片从下方上顶下，从而取下，而不是从放置板上扣下晶圆，进而避免手指会触碰晶圆或者芯片的表面，避免影响印刷的结果。

15、3.在承接板向中间转动时，通过刮板能够将承接板顶部残留的粉浆给清理下去，进而避免粉浆长时间得不到清理而凝固在刮板表面而影响承接板表面的平整度，进而避免影响丝网的印刷效率。

技术特征：

1.一种玻璃粉浆丝网印刷装置，包括放置板(1)，所述放置板(1)用于放置晶圆或芯片，其特征在于：所述放置板(1)左右两侧均设置有承接板(2)，两个所述承接板(2)上均开容纳槽(3)，两个所述容纳槽(3)在合并时能够成为一个与晶圆或芯片重合的图形，两个所述承接板(2)下方均设置有驱动组，所述驱动组用于在丝网印刷之前驱动两个承接板(2)从两侧将放置板(1)给限制在两个容纳槽(3)内部、以及在印刷完成后驱动两个承接板(2)与放置板(1)分离，所述放置板(1)上开设有两个缺口(4)。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃粉浆丝网印刷装置，其特征在于：所述驱动组包括支撑板(5)，所述支撑板(5)位于放置板(1)一侧，所述支撑板(5)的前后端均转动连接有支杆(6)，两个所述支杆(6)共同设置在承接板(2)的底端，两个所述支杆(6)用于对承接板(2)进行支撑，两个所述支杆(6)的转动轴上均套接有第一扭簧(7)，两个所述支杆(6)均固定连接有齿轮(8)，两个所述齿轮(8)下方均设置有齿条杆(9)，两个所述齿条杆(9)分别能够与两个所述齿轮(8)啮合，两个所述支撑板(5)之间设置有抬升组，所述抬升组位于所述放置板(1)的正下方，所述抬升组用于驱动齿轮(8)与齿条杆(9)啮合。

3.根据权利要求2所述的一种玻璃粉浆丝网印刷装置，其特征在于：四个所述支杆(6)分别滑动连接在两个承接板(2)底部，四个所述支杆(6)与承接板(2)内壁之间均固定连接有第一弹簧(10)，四个所述支杆(6)侧壁均开设有竖直的滑槽(11)，所述滑槽(11)内部均滑动连接有驱动片(12)，所述驱动片(12)顶端均转动连接有驱动杆(13)，四个所述驱动杆(13)的顶端分别与两个承接板(2)的前后侧壁转动连接；

4.根据权利要求3所述的一种玻璃粉浆丝网印刷装置，其特征在于：所述抬升组包括h型杆(16)和底座(17)，四个所述竖杆(14)分别固定连接在所述h型杆(16)的四个端部，所述h型杆(16)位于底座(17)的正上方，所述底座(17)与h型杆(16)之间固定连接有两个第一气缸(18)，所述h型杆(16)外部滑动连接有t型杆(19)，所述t型杆(19)底端处于两个所述支撑板(5)的正下方且t型杆(19)底端的长度大于两个支撑板(5)之间的距离，所述h型杆(16)与t型杆(19)之间固定连接有第三弹簧(20)，所述t型杆(19)顶端与放置板(1)底部固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种玻璃粉浆丝网印刷装置，其特征在于：所述放置板(1)下方设置有支撑环(21)，所述支撑环(21)上开设有与放置板(1)相匹配的凹槽，所述放置板(1)位于凹槽内部，所述支撑环(21)中部开设有通孔，所述t型杆(19)穿过所述通孔，所述支撑环(21)底部固定连接有若干个第二气缸(22)，所述第二气缸(22)的伸缩端均固定连接有挡片(23)，所述挡片(23)的内侧壁均转动连接有若干个滚轮(24)，所述支撑环(21)固定连接在两个所述支撑板(5)之间。

6.根据权利要求2所述的一种玻璃粉浆丝网印刷装置，其特征在于：所述支撑板(5)顶端固定连接有两个引导板(25)，所述引导板(25)的中间位置由竖直状态向一侧倾斜，两个所述引导板(25)倾斜部位的内部均开设有引导槽，两个所述引导槽中共同滑动连接有刮板(26)，所述刮板(26)的底部与引导槽的底部之间均固定连接有第四弹簧(27)，两个所述引导板(25)侧壁上均固定连接有电机(28)，两个所述引导板(25)侧壁均转动连接有绕线轮(29)，所述电机(28)的输出端上君固定连接有拉绳(30)，两个所述拉绳(30)的另一端均绕过绕线轮(29)与刮板(26)固定连接；

7.根据权利要求6所述的一种玻璃粉浆丝网印刷装置，其特征在于：所述刮板(26)底部均固定连接有抵制杆(36)，所述承接板(2)侧壁开设有槽边(37)。

8.根据权利要求1所述的一种玻璃粉浆丝网印刷装置，其特征在于：两个所述容纳槽(3)内壁均设置有支撑边(38)。

技术总结本发明公开了丝网印刷技术领域的一种玻璃粉浆丝网印刷装置，包括放置板，所述放置板用于放置晶圆或芯片，所述放置板左右两侧均设置有承接板，两个所述承接板上均开容纳槽，两个所述容纳槽在合并时能够成为一个与晶圆或芯片重合的图形，通过两个承接板从晶圆或芯片的下方和周围进行支撑和限，使丝网印刷时处于晶圆或芯片外部的粉浆在透过丝网时受到承接板的阻拦，而不会将粉浆挤压到晶圆的侧壁上，并且承接板的顶端与晶圆或芯片的顶端处于同一水平高度，且承接板的存在扩大了与丝网的接触面，而不会在刮刀移动的过程中被挤压的粉浆透过丝网时改变处于晶圆或芯片周围的丝网的张力，避免丝网的网眼出现移动，提高印刷的效果。技术研发人员：李德鹏,徐海涛,程文娟,张光展,王民,李中亮受保护的技术使用者：青岛金汇源电子有限公司技术研发日：技术公布日：2024/4/17