一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构的制作方法

本技术属于真空镀膜机设备，具体涉及一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构。

背景技术：

1、随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在镀制薄膜时，环形坩埚和穴位坩埚都是客户常用的样式。环形坩埚优点在于可以放置材料更多，可以直接放置预制成型的环状材料等，但是环形坩埚由于是一个整环，所以只能放置一种材料，且工作时为连续转动的；穴位坩埚的优点在于一个坩埚盘内有多个材料放置处，可以放多种不同材料，且有的材料由于材料特性，只适合放在小穴位内蒸镀效果才更佳，穴位坩埚工作是点位式的，一个穴位的材料蒸镀完后需要切换到下一个穴位再蒸镀。但是当用户想在环形坩埚端实现穴位坩埚的功能时，按照传统结构，需要将整个环形坩埚拆卸后更换为穴位坩埚，这种操作比较耗时且麻烦，并且拆装完之后还有可能造成真空泄露的风险。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：提供一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构，解决传统的环形坩埚和穴位坩埚互换时操作繁琐、耗时较长的问题。

2、本实用新型采用的技术方案如下：

3、一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构，包括坩埚驱动机构，所述坩埚驱动机构上安装有环形坩埚组件，所述环形坩埚组件上开设有若干凹槽，还设置有穴位坩埚盘，所述穴位坩埚盘上设置有与凹槽相适配的凸起，所述坩埚驱动机构电信号连接有坩埚plc控制器，所述坩埚plc控制器电信号连接有控制电脑。

4、进一步地，所述坩埚驱动结构包括电机，电机的输出端传动连接有减速器，所述减速器的输出端传动连接有齿轮，所述齿轮上表面连接有驱动轴，所述环形坩埚组件安装于驱动轴上。

5、进一步地，所述齿轮下表面连接有编码器。

6、进一步地，所述凹槽设置有两个。

7、综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

8、1、本实用新型中，用户正常使用环形坩埚功能时，由控制电脑设定坩埚plc控制器启动环形坩埚控制程序来控制环形坩埚组件运作，当用户想在环形坩埚上实现穴位坩埚的功能时，只需要将穴位坩埚盘安装到环形坩埚组件上，将凸起和凹槽结合，用户在控制电脑上将坩埚plc控制器切换为穴位坩埚控制程序，此时环形坩埚运作方式即可调整为穴位坩埚所需运作模式，当想要从穴位坩埚方式变回为环形坩埚方式，只需要将穴位坩埚盘拿掉，将控制程序切换回来即可，整个过程快速简单，操作方便，且不存在任何泄露风险，有效解决了传统的环形坩埚和穴位坩埚互换时操作繁琐、耗时较长的问题。

技术特征：

1.一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构，其特征在于，包括坩埚驱动机构，所述坩埚驱动机构上安装有环形坩埚组件（1），所述环形坩埚组件（1）上开设有若干凹槽（2），还设置有穴位坩埚盘（3），所述穴位坩埚盘（3）上设置有与凹槽（2）相适配的凸起（4），所述坩埚驱动机构电信号连接有坩埚plc控制器（6），所述坩埚plc控制器（6）电信号连接有控制电脑（7）。

2.按照权利要求1所述的一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构，其特征在于，所述坩埚驱动结构包括电机（8），电机（8）的输出端传动连接有减速器（9），所述减速器（9）的输出端传动连接有齿轮（10），所述齿轮（10）上表面连接有驱动轴，所述环形坩埚组件（1）安装于驱动轴上。

3.按照权利要求2所述的一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构，其特征在于，所述齿轮（10）下表面连接有编码器（11）。

4.按照权利要求1所述的一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构，其特征在于，所述凹槽（2）设置有两个。

技术总结本技术公开了一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于提供一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构，解决传统的环形坩埚和穴位坩埚互换时操作繁琐、耗时较长的问题。其包括坩埚驱动机构，所述坩埚驱动机构上安装有环形坩埚组件，所述环形坩埚组件上开设有若干凹槽，还设置有穴位坩埚盘，所述穴位坩埚盘上设置有与凹槽相适配的凸起，所述坩埚驱动机构电信号连接有坩埚PLC控制器，所述坩埚PLC控制器电信号连接有控制电脑。本技术适用于一种环形坩埚穴位坩埚快速互换结构。技术研发人员：黄子建,何武林,薛海受保护的技术使用者：成都天一国泰真空设备有限公司技术研发日：20240430技术公布日：2024/6/11