一种用于硼扩散过程的碳化硅桨装置的制作方法

本发明属于推拉舟，尤其涉及一种用于硼扩散过程的碳化硅桨装置。

背景技术：

1、碳化硅桨，也可以称之为碳化硅悬臂桨、碳化硅悬臂梁，是一种经过1800℃左右高温烧结而成的一种应用于光伏及半导体行业的碳化硅陶瓷制品，其主要作用在于，碳化硅桨一端连接在驱动设备上，另一端对晶舟提供支撑力并通过驱动设备将晶舟送入硼扩散设备中。

2、随着光伏行业的发展，市场对太阳能光伏板的需求日益旺盛，对工厂的产能要求也越来越高，因此对其单台设备产能要求也日益增高，碳化硅桨作为扩散设备工艺腔体送料机构，其承载要求也相应被极大的提高。现有技术中的碳化硅桨装置可以参考公告号为cn211041827u的中国实用新型专利，该申请公开了一种反应烧结碳化硅悬臂桨，参考该申请的图2，该申请碳化硅桨分为固定区、过渡区以及承载区，所述固定区通过所述过渡区与所述承载区连接在一起，可见产品（或者置于晶舟中的产品）只能放置在承载区，并且构成过渡区以及承载区的材料较少，其强度不如固定区，这样在有限空间下承载了过多产品时，过渡区以及承载区的承载力是不符合要求的。

3、综上，目前需要一种能够在有限空间中具备高承载力的碳化硅桨及其配套的装置。

技术实现思路

1、本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种用于硼扩散过程的碳化硅桨装置。本技术的碳化硅桨整体使用一对具有矩形截面碳化硅杆构成，将晶舟置于两个碳化硅杆之间即可实现对晶舟的支撑效果，此外还设置了夹紧装置以保证了对碳化硅桨端部的固定作用，使得碳化硅桨在承载更多重量的晶舟时，也能够保持稳定。

2、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于硼扩散过程的碳化硅桨装置，包括：

3、推拉舟模组，所述推拉舟模组设置在动力单元上；

4、舟桨托架组件，设置于所述推拉舟模组一侧；

5、管型舟桨组件，设置于所述舟桨托架组件下侧，且设置在所述动力单元上；

6、所述管型舟桨组件包括矩形碳化硅杆，半架夹紧块，用于夹持所述矩形碳化硅杆的杆轴夹紧块，设置于所述半架夹紧块的卡槽，设置于所述卡槽内侧的齿槽，设置于所述半架夹紧块并用于提高所述杆轴夹紧块对所述矩形碳化硅杆夹持力的按压件，以及设置于所述半架夹紧块并用于维持所述杆轴夹紧块对所述矩形碳化硅杆夹持力的螺纹件；

7、所述按压件包括用于插入所述卡槽的拉杆，设置在所述拉杆侧面上并用于啮合所述齿槽的齿槽板，以及设置在所述拉杆并用于挤压所述杆轴夹紧块的挤压部。

8、其中，“设置”意味着部件a被放置或安装在部件b的特定位置或表面上，以确保二者之间的连接和功能。这可能涉及使用螺栓、螺母、焊接、粘接或其他连接方法，以使部件a与部件b紧密结合并能够共同工作。

9、其中，本技术描述部件之间的方向时，“下侧”和“上侧”通常是根据重力方向或者参照对象的常规使用或定位来定义的。下侧通常指物体或结构相对于重力方向的底部或者在常规使用中位于下面的部分，例如，桌子的下侧是指离地面最近的那一面，即桌腿接触地面的一面。上侧则是指相对于重力方向的顶部或者在常规使用中位于上面的部分，回到桌子的例子，桌面就是桌子的上侧，因为它是桌子上方且通常用来放置物品的平面。本技术中涉及的装置通常在有重力存在的场景中使用，所以不考虑无重力场景下对上侧以及下侧的定义。

10、其中，“夹持”是一个机械或物理术语，通常指用力将物体固定或保持在一个位置，以便进行加工、检查、运输或其他操作。夹持通常涉及两个或多个表面之间的接触，这些表面固定住物体，使其相对于一个或多个方向稳定。

11、进一步优选的技术方案在于：所述挤压部包括设置于所述杆轴夹紧块侧面的限位卡板，设置于所述拉杆内端并用于挤压所述限位卡板的立架，设置于所述立架和所述限位卡板之间的压板，设置于所述限位卡板与所述压板之间的夹紧弹簧，以及设置在所述限位卡板上且贯穿所述压板的贯穿轴。

12、其中，在一个工具、器械或任何由两端构成的物体中，“内端”是指主要用于与目标对象直接互动或插入的一端，它通常是执行主要功能的部分，如钥匙插入锁孔的端部，或者螺丝刀的尖端。相对地，“外端”是指方便用户操作、握持或提供力量的那一端，这一端设计用来使用户能够有效使用工具或物体的内端，如钥匙的把手部分，或者螺丝刀的手柄部分。

13、进一步优选的技术方案在于：所述螺纹件包括设置在所述半架夹紧块上的贯穿套，设置在所述贯穿套上的齿套，用于螺接并向内收紧所述齿套的锥纹螺帽，用于插入所述贯穿套和所述锥纹螺帽并与所述齿套内侧卡接的齿纹丝杆。

14、其中， “贯穿”通常是用来描述一个部件（部件b）通过另一个部件（部件a）的开口从一侧进入并从另一侧出来的情况。具体到所述场景，如果部件a的表面上有一个开口，而部件b可以从这个开口的一侧插入并从另一侧出现，那么部件b就是贯穿部件a的。即部件b完全穿过部件a的表面开口，部件a的开口连接了两个环境或空间，使得部件b可以从一端进入到另一端。

15、其中，本技术描述部件之间的方向时，“内侧”通常指一个对象、空间或结构的边界之内的区域。当提到一个物体的内侧时，我们通常指的是它的内部面或内部空间，例如，杯子的内侧是容纳液体的部分；房间的内侧是墙壁围起来的空间。相对的，“外侧”则指边界以外的区域。它通常用来描述包围或覆盖某物体外面的部分，或者是相对于某个定义的空间或边界的外围区域，例如，球的外侧是其表面；房间的外侧是墙壁的另一面，即房间以外的区域。

16、进一步优选的技术方案在于：所述齿纹丝杆内端设有用于螺接在所述限位卡板的螺纹孔的第二螺纹丝杆。

17、其中，“螺接”也被称为“螺纹连接”，它通过使用螺纹的啮合原理，即相互配合的内外螺纹，来实现两个或多个零件的固定连接。螺纹可以是外螺纹（如螺栓或螺钉的螺纹）或内螺纹（如螺母或孔内的螺纹）。外螺纹安装在较小直径的部分，而内螺纹位于较大直径的部分，并且螺纹连接具有可逆性，即可以通过旋转的反方向拆卸。

18、进一步优选的技术方案在于：所述桨支撑杆轴的中部贯穿式卡合连接有桨支撑架，所述桨支撑架的顶部与舟桨托架组件的底部之间为固定连接，所述桨支撑架的一侧设置有眼镜半架，所述半架夹紧块设置在所述眼镜半架底端。

19、进一步优选的技术方案在于：所述贯穿轴靠近所述立架一端设有限位头。

20、进一步优选的技术方案在于：所述拉杆的外端设有第一螺纹丝杆，所述第一螺纹丝杆螺接有连接头。

21、进一步优选的技术方案在于：所述杆轴夹紧块设有用于连接所述限位卡板的榫卯插板。

22、其中，“榫卯”是一种特殊的连接方式，这种连接方式不依赖钉子、螺丝或胶粘剂，而是通过精确的凿切和嵌合来形成结构上的互锁，在某些不要求完全紧固的场景中，榫卯能够做到快速的安装以及拆卸。

23、进一步优选的技术方案在于：所述矩形碳化硅杆设置两根，且两个所述矩形碳化硅杆之间设有碳化硅连接板。

24、进一步优选的技术方案在于：所述动力单元包括升降导向组件，所述升降导向组件通过传动杆连接有升降动力组件，所述升降动力组件的底部固定连接有动力模块。

25、综上所述，本发明具有如下有益效果：

26、第一，管型舟桨组件具有截面为矩形的碳化硅杆，能够支撑数量更多、重量更大的晶舟；

27、第二，矩形碳化硅杆外端设有以杆轴夹紧块为主的紧固结构，并通过按压件来提高杆轴夹紧块对所述矩形碳化硅杆夹持力，使得矩形碳化硅杆外端的固定效果更好，以配合矩形碳化硅杆内端能够承载更大的重量；

28、第三，管型舟桨组件还具有螺纹件，以维持杆轴夹紧块对矩形碳化硅杆的夹持力，以及按压件提高后对杆轴夹紧块对矩形碳化硅杆的夹持力，使得在长时间工作条件下，杆轴夹紧块仍然不产生松动现象。