一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统的制作方法

本技术涉及单晶炉，具体涉及一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统。

背景技术：

1、为了提升单晶硅产量，大尺寸热场应运而生，但大尺寸热场带来了单晶炉内高氧的问题，单晶炉内高氧不仅会引起晶棒氧反切比例上升、晶棒有效单产下降及拉晶成本上升，还会导致硅片电池上出现黑心和同心圆，降低电池片效率和半衰期，为了进一步提升晶棒有效单产，提高单晶硅片的品质，降氧问题迫在眉睫。单晶炉内高氧的问题主要是由于单晶炉坩埚受热引起的，因此需要一种单晶炉隔热降氧装置来减少坩埚受到的热辐射，达到降氧目的。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统，能够减少坩埚受到的热辐射，达到降氧目的，进而提升晶棒有效单产和单晶硅片的品质。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

3、第一方面，一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，包括设置在套设于坩埚外的环形加热板的上方的隔热降氧支撑环，所述隔热降氧支撑环的底面上开设有环形的隔热降氧槽，所述隔热降氧槽在水平面上的投影包含所述环形加热板在水平面上的投影。

4、进一步的，设定隔热降氧支撑环的轴线所处的平面为隔热降氧支撑环的中心面，所述隔热降氧槽在隔热降氧支撑环的中心面上的截面为三角形。

5、进一步的，所述隔热降氧支撑环的底面上开设有与套设在环形加热板外的下保温桶的顶部可拆卸连接的第一环形安装槽，所述第一环形安装槽环绕在隔热降氧槽的外围。

6、进一步的，所述隔热降氧支撑环的顶面上开设有与套设在坩埚外的上保温桶的底部可拆卸连接的第二环形安装槽。

7、进一步的，所述隔热降氧支撑环的材料为耐热材料。

8、第二方面，一种单晶炉用隔热降氧支撑系统，包括坩埚、套设在坩埚外的环形加热板、套设在环形加热板外的下保温桶和套设在坩埚外且位于下保温桶上方的上保温桶，还包括上述方案中任意一项所述的单晶炉用隔热降氧支撑工装，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的隔热降氧支撑环位于环形加热板的上方，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的隔热降氧槽在水平面上的投影包含所述环形加热板在水平面上的投影，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的第一环形安装槽与下保温桶的顶部可拆卸连接，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的第二环形安装槽与上保温桶的底部可拆卸连接。

9、本实用新型具有的有益效果：

10、1、本实用新型中，在环形加热板工作时，会向隔热降氧支撑环的底面上开设的隔热降氧槽进行热辐射，而由于隔热降氧槽在隔热降氧支撑环的中心面上的截面为三角形，可有效强制引导对流，减少坩埚受到的热辐射，达到降氧目的，进而提升晶棒有效单产和单晶硅片的品质。

11、2、本实用新型中，隔热降氧支撑环的底面上开设有第一环形安装槽，隔热降氧支撑环通过第一环形安装槽安装在下保温桶的顶部。

12、3、本实用新型中，隔热降氧支撑环的顶面上开设有第二环形安装槽，上保温桶的底部可拆卸安装在第二环形安装槽内。

技术特征：

1.一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，包括设置在套设于坩埚(8)外的环形加热板(7)的上方的隔热降氧支撑环(1)，所述隔热降氧支撑环(1)的底面上开设有环形的隔热降氧槽(3)，所述隔热降氧槽(3)在水平面上的投影包含所述环形加热板(7)在水平面上的投影。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，设定隔热降氧支撑环(1)的轴线所处的平面为隔热降氧支撑环(1)的中心面，所述隔热降氧槽(3)在隔热降氧支撑环(1)的中心面上的截面为三角形。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，所述隔热降氧支撑环(1)的底面上开设有与套设在环形加热板(7)外的下保温桶(6)的顶部可拆卸连接的第一环形安装槽(4)，所述第一环形安装槽(4)环绕在隔热降氧槽(3)的外围。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，所述隔热降氧支撑环(1)的顶面上开设有与套设在坩埚(8)外的上保温桶(5)的底部可拆卸连接的第二环形安装槽(2)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，所述隔热降氧支撑环(1)的材料为耐热材料。

6.一种单晶炉用隔热降氧支撑系统，包括坩埚(8)、套设在坩埚(8)外的环形加热板(7)、套设在环形加热板(7)外的下保温桶(6)和套设在坩埚(8)外且位于下保温桶(6)上方的上保温桶(5)，其特征在于，还包括权利要求1-5中任意一项所述的单晶炉用隔热降氧支撑工装，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的隔热降氧支撑环(1)位于环形加热板(7)的上方，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的隔热降氧槽(3)在水平面上的投影包含所述环形加热板(7)在水平面上的投影，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的第一环形安装槽(4)与下保温桶(6)的顶部可拆卸连接，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的第二环形安装槽(2)与上保温桶(5)的底部可拆卸连接。

技术总结本技术涉及单晶炉技术领域，公开了一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统，其中一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，包括设置在套设于坩埚外的环形加热板的上方的隔热降氧支撑环，隔热降氧支撑环的底面上开设有环形的隔热降氧槽，隔热降氧槽在水平面上的投影包含环形加热板在水平面上的投影，还公开了一种单晶炉用隔热降氧支撑系统，包括坩埚、环形加热板、下保温桶和上保温桶，还包括单晶炉用隔热降氧支撑工装。本技术能够减少坩埚受到的热辐射，达到降氧目的，进而提升晶棒有效单产和单晶硅片的品质。技术研发人员：贾智君,李飞剑,赖嘉伦,严梓月,王杭受保护的技术使用者：乐山市京运通半导体材料有限公司技术研发日：20231107技术公布日：2024/5/27