一种磷化铟晶片化蜡装置的制作方法
- 国知局
- 2024-06-20 13:03:11
本技术涉及磷化铟制备领域,尤其涉及一种磷化铟晶片化蜡装置。
背景技术:
1、磷化铟晶片是极具价值的半导体材料,具有电子迁移率高和电光转化率高的优点,适合制作高频微波器件和电路,具有强的抗辐射能力,作为太阳能电池材料,广泛应用在固体发光、光纤通信、移动通信、医疗成像、导航、卫星等领域。磷化铟晶片的减薄工序中需要用到蜡,所以化蜡也是工序中的一个重要步骤,化蜡即是将较大的呈凝固状的蜡块放置在加热工具上,融化成液态使用。
2、由于蜡块体积较大,直接放置于加热工具内进行加热只能从外向内进行融化,导致热度传导不均匀,化蜡所需时间较长,效率得不到提高。
技术实现思路
1、本实用新型公开一种磷化铟晶片化蜡装置,旨在解决由于蜡块体积较大,直接放置于加热工具内进行加热只能从外向内进行融化,导致热度传导不均匀,化蜡所需时间较长,效率得不到提高的技术问题。
2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
3、一种磷化铟晶片化蜡装置,包括外箱体,所述外箱体的内壁活动贴合有两个压板,且每个压板的同一侧外壁分别固定连接有第一限位滑块,所述第一限位滑块的一侧外壁固定连接有电动滑块,且电动滑块活动连接有液压滑轨,所述外箱体的一侧内壁交错设置有两个方形滑槽,且两个液压滑轨分别固定于每个方形滑槽的外侧,两个所述第一限位滑块分别活动卡接于两个方形滑槽内,两个所述压板的相对一侧外壁分别等密度固定连接有多个导热插架,且两个压板上的导热插架呈交错设置,每个所述压板内分别设置有第二加热器,且两个压板的下方同时设置有主撑架。
4、通过设置有压板和导热插架,通过两个液压滑轨带动两个电动滑块移动,带动两个压板同时向内移动,接触到蜡块表面后,基于第二加热器同时对压板和导热插架供热,随着压板的持续按压,使导热插架缓速插入到蜡块中,从而实现蜡块内多点同步加热,优化蜡块的融化效率。
5、在一个优选的方案中,两个所述压板的相对一侧内壁同时固定连接有套管,所述外箱体的一侧外壁固定连接有覆盖壳,且两组液压滑轨同时位于覆盖壳内,所述主撑架的相向两侧分别设置有斜面导向槽,且斜面导向槽的外壁固定连接有多个立柱,多个所述立柱的顶端高度与主撑架的顶端持平,且主撑架的顶端外壁固定连接有多个连接刺针。
6、通过设置有斜面导向槽、连接刺针和立柱,蜡块放置于主撑架上时,通过连接刺针刺入蜡块底端,可避免夹持熔融过程中蜡块的移位,同时通过斜面导向槽的设置,可保障蜡油不在主撑架上堆积,立柱的设置可在避免蜡油堆积的同时为蜡块底端提供足够的支撑力。
7、在一个优选的方案中,所述外箱体的一侧内壁通过合页连接有封门,且封门的一侧内壁固定连接有支板,所述支板上贯穿设置有滑槽,且滑槽内活动连接有第二限位滑块,所述第二限位滑块的顶端外壁固定连接有支座,且支座的一侧外壁固定连接有多个内支杆,每个所述内支杆外活动套接有外套管,每个所述外套管的同一端同时固定连接于外箱体的一侧内壁,所述主撑架的底端外壁同时固定连接有第一滑块和第二滑块,且第一滑块和第二滑块分别位于主撑架底部的两端,所述第二滑块活动套接于多个内支杆外,且第一滑块活动套接于多个外套管外,所述外箱体的底端内壁设置有第一加热器。
8、通过设置有滑槽、内支杆和外套管,打开封门时,随着第二限位滑块在滑槽内移动,使内支杆和外套管随之拉开,此时可保障稳定支撑的同时向外移动主撑架,便于蜡块的安装。
9、由上可知,一种磷化铟晶片化蜡装置,包括外箱体,所述外箱体的内壁活动贴合有两个压板,且每个压板的同一侧外壁分别固定连接有第一限位滑块,所述第一限位滑块的一侧外壁固定连接有电动滑块,且电动滑块活动连接有液压滑轨,所述外箱体的一侧内壁交错设置有两个方形滑槽,且两个液压滑轨分别固定于每个方形滑槽的外侧,两个所述第一限位滑块分别活动卡接于两个方形滑槽内,两个所述压板的相对一侧外壁分别等密度固定连接有多个导热插架,且两个压板上的导热插架呈交错设置,每个所述压板内分别设置有第二加热器,且两个压板的下方同时设置有主撑架。本实用新型提供的磷化铟晶片化蜡装置具有实现蜡块内多点同步加热,优化蜡块的融化效率的技术效果。
技术特征:1.一种磷化铟晶片化蜡装置,包括外箱体(1),其特征在于,所述外箱体(1)的内壁设置有两个压板(5),且每个压板(5)的同一侧外壁分别连接有第一限位滑块(9),所述第一限位滑块(9)的一侧外壁连接有电动滑块(10),且电动滑块(10)活动连接有液压滑轨(8),所述外箱体(1)的一侧内壁交错设置有两个方形滑槽(4),且两个液压滑轨(8)分别固定于每个方形滑槽(4)的外侧,两个所述第一限位滑块(9)分别活动卡接于两个方形滑槽(4)内,两个所述压板(5)的相对一侧外壁分别设置有多个导热插架(6),且两个压板(5)上的导热插架(6)呈交错设置,每个所述压板(5)内分别设置有第二加热器(24),且两个压板(5)的下方同时设置有主撑架(13)。
2.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶片化蜡装置,其特征在于,两个所述压板(5)的相对一侧内壁同时连接有套管(7),所述外箱体(1)的一侧外壁连接有覆盖壳(2),且两组液压滑轨(8)同时位于覆盖壳(2)内。
3.根据权利要求2所述的一种磷化铟晶片化蜡装置,其特征在于,所述主撑架(13)的相向两侧分别设置有斜面导向槽(12),且斜面导向槽(12)的外壁连接有多个立柱(14),多个所述立柱(14)的顶端高度与主撑架(13)的顶端持平,且主撑架(13)的顶端外壁连接有多个连接刺针(15)。
4.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶片化蜡装置,其特征在于,所述外箱体(1)的一侧内壁通过合页连接有封门(3),且封门(3)的一侧内壁连接有支板(19),所述支板(19)上贯穿设置有滑槽(20),且滑槽(20)内活动连接有第二限位滑块(18)。
5.根据权利要求4所述的一种磷化铟晶片化蜡装置,其特征在于,所述第二限位滑块(18)的顶端外壁连接有支座(17),且支座(17)的一侧外壁连接有多个内支杆(22),每个所述内支杆(22)外活动套接有外套管(23)。
6.根据权利要求5所述的一种磷化铟晶片化蜡装置,其特征在于,每个所述外套管(23)的同一端同时连接于外箱体(1)的一侧内壁,所述主撑架(13)的底端外壁同时连接有第一滑块(11)和第二滑块(16),且第一滑块(11)和第二滑块(16)分别位于主撑架(13)底部的两端。
7.根据权利要求6所述的一种磷化铟晶片化蜡装置,其特征在于,所述第二滑块(16)活动套接于多个内支杆(22)外,且第一滑块(11)活动套接于多个外套管(23)外,所述外箱体(1)的底端内壁设置有第一加热器(21)。
技术总结本技术公开了一种磷化铟晶片化蜡装置包括外箱体,所述外箱体的内壁活动贴合有两个压板,且每个压板的同一侧外壁分别固定连接有第一限位滑块,所述第一限位滑块的一侧外壁固定连接有电动滑块,且电动滑块活动连接有液压滑轨,所述外箱体的一侧内壁交错设置有两个方形滑槽,且两个液压滑轨分别固定于每个方形滑槽的外侧,两个所述第一限位滑块分别活动卡接于两个方形滑槽内,两个所述压板的相对一侧外壁分别等密度固定连接有多个导热插架,且两个压板上的导热插架呈交错设置,每个所述压板内分别设置有第二加热器,本技术公开的磷化铟晶片化蜡装置具有实现蜡块内多点同步加热,优化蜡块的融化效率的效果。技术研发人员:李国庆受保护的技术使用者:北京上鼎嘉成科技有限公司技术研发日:20231107技术公布日:2024/5/29本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240619/7431.html
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