一种炉腔红外测温仪视窗安装结构的制作方法

本技术涉及的是一种炉腔红外测温仪视窗安装结构，具体涉及一种单晶炉炉腔红外测温仪视窗石英的封闭式安装结构，属于单晶炉。

背景技术：

1、现有技术单晶炉中，红外测温仪直接检测点一般为加热器或者坩埚等，长时间运行后，炉腔内部热场粉尘等会对视窗石英产生污染，需要时常进行保养，维护不方便且成本较高，影响生产正常进行。

技术实现思路

1、本实用新型提出的是一种炉腔红外测温仪视窗安装结构，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，减少热场粉尘对视窗石英的污染，降低保养频率。

2、本实用新型的技术解决方案：一种炉腔红外测温仪视窗安装结构，其结构包括炉腔，炉腔上装有石墨管，石墨管外端设有石墨套，视窗石英连接石墨套外端，视窗石英安装在安装架一端，安装架一端外侧固定连接炉腔外侧面，安装架另一端设红外测温仪。采用石墨管端部作为固定检测点，可减少红外检测直径，增强红外检测精度，减少炉腔内热场粉尘对视窗石英的污染。

3、优选的，视窗石英与炉腔外侧面之间设有密封圈。可保证密封性。

4、本实用新型的优点：结构设计合理，采用石墨管端部作为固定检测点，可有效增强红外检测精度，减少炉腔内热场粉尘对视窗石英的污染，减少保养频次，降低维护成本，提高生产连续性。

技术特征：

1.一种炉腔红外测温仪视窗安装结构，其结构包括炉腔（1），炉腔（1）上装有石墨管（2），其特征在于，所述的石墨管（2）外端设有石墨套（3），视窗石英（4）连接石墨套（3）外端，视窗石英（4）安装在安装架（5）一端，安装架（5）一端外侧固定连接炉腔（1）外侧面，安装架（5）另一端设红外测温仪（6）。

2.如权利要求1所述的一种炉腔红外测温仪视窗安装结构，其特征在于，所述的视窗石英（4）与炉腔（1）外侧面之间设有密封圈（7）。

技术总结本技术是一种炉腔红外测温仪视窗安装结构，其结构包括炉腔，炉腔上装有石墨管，石墨管外端设有石墨套，视窗石英连接石墨套外端，视窗石英安装在安装架一端，安装架一端外侧固定连接炉腔外侧面，安装架另一端设红外测温仪。采用石墨管端部作为固定检测点，可减少红外检测直径，增强红外检测精度，减少炉腔内热场粉尘对视窗石英的污染。本技术的优点：结构设计合理，采用石墨管端部作为固定检测点，可有效增强红外检测精度，减少炉腔内热场粉尘对视窗石英的污染，减少保养频次，降低维护成本，提高生产连续性。技术研发人员：胡动力,余涛,赵海殿受保护的技术使用者：连科半导体有限公司技术研发日：20231109技术公布日：2024/6/11