一种单晶炉多电极同步升降机构的制作方法

本技术涉及的是一种单晶炉多电极同步升降机构，属于单晶炉。

背景技术：

1、在单晶炉中，需要控制炉腔内与多个电极连接的加热器上升以进行加热，加热器为多个电极。

2、现有技术单晶炉内控制加热器升降的结构，在升降时存在晃动，稳定性不足，会对单晶炉内部热场产生不利影响，影响生产稳定性。

技术实现思路

1、本实用新型提出的是一种单晶炉多电极同步升降机构，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，提高电机升降稳定性。

2、本实用新型的技术解决方案：一种单晶炉多电极同步升降机构，其结构包括安装在炉底盘底面上的电极导向机构、升降驱动机构和升降导向机构，升降驱动机构连接电极导向机构和升降导向机构，电极导向机构共两个以上，每个电极导向机构包括一根电极，所有电极与炉底盘上方的加热器连接，升降导向机构包括滑动板、线轴承和导向轴，所有电极靠近底端处连接同一滑动板，滑动板上装有两个以上直线轴承，每个直线轴承升降连接一导向轴，导向轴顶端固定在炉底盘底面上，所有导向轴底端固定在底部固定板上。电极的升降由滑动板带动，滑动板升降式沿多个导向轴通过直线轴承滑动，可保证稳定性避免晃动。

3、优选的，所述的升降驱动机构包括安装在炉底盘底面上的伺服电机减速机和减速机，伺服电机减速机输出端连接转向器，转向器通过连接轴及联轴器连接减速机，伺服电机减速机的输出端和减速机的输出端分别通过一丝杆连接底部固定板两侧，两丝杆分别通过一螺母连接滑动板两侧。伺服电机减速机、转向器、连接轴及联轴器和减速机之间同步连接，配合两套丝杆螺母，可直接驱动滑动板两侧升降，实现两侧同步升降，提高受力均匀性，进一步避免晃动。

4、优选的，所述的电极导向机构还包括包裹在电极外侧的导向套和包裹在导向套外侧的波纹管，波纹管顶端固定在炉底盘底面上。电极升降时波纹管可实现内部真空密封。

5、优选的，所述的导向套顶端设有隔热陶瓷。隔热陶瓷可避免导向套承受高温。

6、本实用新型的优点：结构设计合理，通过多个电极带动炉腔内加热器同步升降，只需一个电机即可带动多电极在重载环境下平稳升降，无晃动，可有效避免电极晃动对设备内部热场产生的不利影响。

技术特征：

1.一种单晶炉多电极同步升降机构，其特征在于，包括安装在炉底盘（1）底面上的电极导向机构、升降驱动机构和升降导向机构，升降驱动机构连接电极导向机构和升降导向机构，电极导向机构共两个以上，每个电极导向机构包括一根电极（2），所有电极（2）与炉底盘（1）上方的加热器连接，升降导向机构包括滑动板（3）、线轴承（4）和导向轴（5），所有电极（2）靠近底端处连接同一滑动板（3），滑动板（3）上装有两个以上直线轴承（4），每个直线轴承（4）升降连接一导向轴（5），导向轴（5）顶端固定在炉底盘（1）底面上，所有导向轴（5）底端固定在底部固定板（6）上。

2.如权利要求1所述的一种单晶炉多电极同步升降机构，其特征在于，所述的升降驱动机构包括安装在炉底盘（1）底面上的伺服电机减速机（7）和减速机（8），伺服电机减速机（7）输出端连接转向器（9），转向器（9）通过连接轴及联轴器（10）连接减速机（8），伺服电机减速机（7）的输出端和减速机（8）的输出端分别通过一丝杆（11）连接底部固定板（6）两侧，两丝杆（11）分别通过一螺母连接滑动板（3）两侧。

3.如权利要求1所述的一种单晶炉多电极同步升降机构，其特征在于，所述的电极导向机构还包括包裹在电极（2）外侧的导向套（12）和包裹在导向套（12）外侧的波纹管（13），波纹管（13）顶端固定在炉底盘（1）底面上。

4.如权利要求3所述的一种单晶炉多电极同步升降机构，其特征在于，所述的导向套（12）顶端设有隔热陶瓷（14）。

技术总结本技术是一种单晶炉多电极同步升降机构，其结构包括安装在炉底盘底面上的电极导向机构、升降驱动机构和升降导向机构，升降驱动机构连接电极导向机构和升降导向机构，电极导向机构共两个以上，每个电极导向机构包括一根电极，所有电极与炉底盘上方的加热器连接，升降导向机构包括滑动板、线轴承和导向轴，所有电极靠近底端处连接同一滑动板，滑动板上装有两个以上直线轴承，每个直线轴承升降连接一导向轴，导向轴顶端固定在炉底盘底面上，所有导向轴底端固定在底部固定板上。电极的升降由滑动板带动，滑动板升降式沿多个导向轴通过直线轴承滑动，可保证稳定性避免晃动。技术研发人员：石海洋,胡动力,叶峰,李扬,王人松受保护的技术使用者：连科半导体有限公司技术研发日：20231109技术公布日：2024/6/11