一种适应加热器受热变形的电极位置调整机构的制作方法

本技术涉及的是一种适应加热器受热变形的电极位置调整机构，具体涉及一种单晶炉中可适应加热器受热变形进行电极位置调整的机构，属于单晶炉。

背景技术：

1、在现有技术单晶炉中，电阻加热器在工作时，存在因发热变形而造成加热器或连接件受力断裂以及连接松动的问题，且会导致加热器径向变形，影响加热均匀性。

技术实现思路

1、本实用新型提出的是一种适应加热器受热变形的电极位置调整机构，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现加热器位置自由可调，提高加热均匀性。

2、本实用新型的技术解决方案：一种适应加热器受热变形的电极位置调整机构，其结构包括水平位置可调地相对安装在炉盖上两侧的两个水冷电极，两个水冷电极对称设置在加热器两侧，两水冷电极分别连接加热器两极，两侧水冷电极机构分别安装在炉盖顶面上的a水平位置调整机构和b水平位置调整机构上。一侧水冷电极通过a水平位置调整机构的调节位置并固定，初次安装时可置于理论位置；另一侧水冷电极通过b水平位置调整机构调节位置并固定，测试后可以测得加热器径向变形量；二次安装时便可根据第一次测得的值调整水冷电极位置并固定。

3、优选的，所述的a水平位置调整机构和b水平位置调整机构都包括一对直线导轨，水冷电极滑动连接在直线导轨上，直线导轨由炉盖圆心向外侧延伸。

4、优选的，所述的a水平位置调整机构还包括调整固定块和螺柱，调整固定块固定在对应一对直线导轨之间的炉盖顶面上，调整固定块上的螺孔内螺纹连接螺柱，螺柱与直线导轨平行且端部连接对应的水冷电极侧面。水冷电极可通过螺柱调节位置并固定，

5、优选的，所述的b水平位置调整机构还包括微分头支架和微分头，微分头支架固定在对应一对直线导轨之间的炉盖顶面上，微分头支架上连接微分头，微分头与直线导轨平行且端部连接对应的水冷电极侧面。水冷电极通过微分头调节位置并固定。

6、优选的，所述的水冷电极中部与焊接波纹管密封连接、底部与炉盖密封连接。

7、本实用新型的优点：结构设计合理，可有效防止电阻加热器在工作时，因发热变形而造成加热器或连接件受力断裂或连接松动，还可通过两侧水平位置调整机构自由调节加热器中心，使其能够保持和被加热物体同心，有效提高加热均匀性。

技术特征：

1.一种适应加热器受热变形的电极位置调整机构，其特征在于，包括水平位置可调地相对安装在炉盖（1）上两侧的两个水冷电极（2），两个水冷电极（2）对称设置在加热器两侧，两水冷电极（2）分别连接加热器两极，两侧水冷电极机构分别安装在炉盖（1）顶面上的a水平位置调整机构和b水平位置调整机构上。

2.如权利要求1所述的一种适应加热器受热变形的电极位置调整机构，其特征在于，所述的a水平位置调整机构和b水平位置调整机构都包括一对直线导轨（4），水冷电极（2）滑动连接在直线导轨（4）上，直线导轨（4）由炉盖（1）圆心向外侧延伸。

3.如权利要求2所述的一种适应加热器受热变形的电极位置调整机构，其特征在于，所述的a水平位置调整机构还包括调整固定块（5）和螺柱（6），调整固定块（5）固定在对应一对直线导轨（4）之间的炉盖（1）顶面上，调整固定块（5）上的螺孔内螺纹连接螺柱（6），螺柱（6）与直线导轨（4）平行且端部连接对应的水冷电极（2）侧面。

4.如权利要求3所述的一种适应加热器受热变形的电极位置调整机构，其特征在于，所述的b水平位置调整机构还包括微分头支架（7）和微分头（8），微分头支架（7）固定在对应一对直线导轨（4）之间的炉盖（1）顶面上，微分头支架（7）上连接微分头（8），微分头（8）与直线导轨（4）平行且端部连接对应的水冷电极（2）侧面。

5.如权利要求1-4任一项所述的一种适应加热器受热变形的电极位置调整机构，其特征在于，所述的水冷电极（2）中部与焊接波纹管（3）密封连接、底部与炉盖（1）密封连接。

技术总结本技术是适应加热器受热变形的电极位置调整机构，其结构包括水平位置可调地相对对称安装在炉盖上两侧的两个水冷电极，两水冷电极分别连接加热器两极，两侧水冷电极机构分别安装在炉盖顶面上的A、B水平位置调整机构上。一侧水冷电极通过A水平位置调整机构的调节位置并固定，初次安装时可置于理论位置；另一侧水冷电极通过B水平位置调整机构调节位置并固定，测试后可以测得加热器径向变形量；二次安装时便可根据第一次测得的值调整水冷电极位置并固定。可有效防止电阻加热器在工作时，因发热变形而造成加热器或连接件受力断裂或连接松动，还可通过两侧水平位置调整机构自由调节加热器中心，使其保持和被加热物体同心，提高加热均匀性。技术研发人员：王人松,胡动力,马文龙,李井顺,贾新旺受保护的技术使用者：连科半导体有限公司技术研发日：20231109技术公布日：2024/6/11