一种高保温性的单晶炉的制作方法

本技术涉及单晶炉设备，尤其涉及一种高保温性的单晶炉。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶生产中能耗成本占比较大，降低单晶炉功耗是降低生产成本的主要途径之一，热场保温是降低能耗中最有效的方式。现有单晶炉大多在保温筒外壁包覆石墨软毡，然而炉内辐射散热的直接受热面为保温筒的内壁，因此这样的结构增大了保温筒内外壁的温差，众所周知热传导的主要驱动势为温差，因此现有的保温方案仍然造成较大的能量损耗。

技术实现思路

1、为达到上述目的，本实用新型提供一种高保温性的单晶炉，包括自外而内依次设置的炉室、保温筒和隔温筒，所述隔温筒和所述保温筒之间具有第一间隙，所述保温筒和所述炉室之间具有第二间隙。

2、在一些可能实现的方式中，所述第一间隙的尺寸为a，a满足：25mm≤a≤35mm，所述第二间隙的尺寸为b，b满足：20mm≤b≤120mm。

3、在一些可能实现的方式中，所述隔温筒采用碳碳复合材料或石墨材料或陶瓷材料制成。

4、在一些可能实现的方式中，所述隔温筒自上而下分为第一隔挡件和第二隔挡件，所述第二隔挡件的上端设置有安装环槽和支撑面，所述第一隔挡件搭接在所述支撑面上，所述安装环槽设置在所述第二隔挡件的内壁，并且所述安装环槽内设置有降氧环。

5、在一些可能实现的方式中，所述支撑面上设置有定位凸块，所述第一隔挡件的下端面对应设置有定位凹槽。

6、在一些可能实现的方式中，所述保温筒分为自上而下依次设置的第一保温层和第二保温层，所述隔温筒可遮挡所述第一保温层和所述第二保温层的连接处。

7、在一些可能实现的方式中，所述保温筒的外表面还设置有保温软毡。

8、本实用新型的有益效果在于：本实用新型的单晶炉在保温筒内设置隔温筒，避免主加热器的热辐射直接作用到保温筒的内壁，并且隔温筒与保温筒之间具有第一间隙，降低隔温筒外壁与保温筒内壁之间的热传递，从而进一步降低保温筒内壁与外壁的温差，并且保温筒与炉室的内壁具有第二间隙，减少炉内的热量损失，降低能量损耗。

技术特征：

1.一种高保温性的单晶炉，其特征在于，包括自外而内依次设置的炉室、保温筒和隔温筒，所述隔温筒和所述保温筒之间具有第一间隙，所述保温筒和所述炉室之间具有第二间隙。

2.根据权利要求1所述的一种高保温性的单晶炉，其特征在于，所述第一间隙的尺寸为a，a满足：25mm≤a≤35mm，所述第二间隙的尺寸为b，b满足：20mm≤b≤120mm。

3.根据权利要求1所述的一种高保温性的单晶炉，其特征在于，所述隔温筒采用碳碳复合材料或石墨材料或陶瓷材料制成。

4.根据权利要求3所述的一种高保温性的单晶炉，其特征在于，所述隔温筒自上而下分为第一隔挡件和第二隔挡件，所述第二隔挡件的上端设置有安装环槽和支撑面，所述第一隔挡件搭接在所述支撑面上，所述安装环槽设置在所述第二隔挡件的内壁，降氧环可设置于所述安装环槽内。

5.根据权利要求4所述的一种高保温性的单晶炉，其特征在于，所述支撑面上设置有定位凸块，所述第一隔挡件的下端面对应设置有定位凹槽。

6.根据权利要求1所述的一种高保温性的单晶炉，其特征在于，所述保温筒分为自上而下依次设置的第一保温层和第二保温层，所述隔温筒可遮挡所述第一保温层和所述第二保温层的连接处。

7.根据权利要求1所述的一种高保温性的单晶炉，其特征在于，所述保温筒的外表面还设置有保温软毡。

技术总结本技术涉及单晶炉设备技术领域，尤其涉及一种高保温性的单晶炉，本技术的单晶炉在保温筒内设置隔温筒，避免主加热器的热辐射直接作用到保温筒的内壁，并且隔温筒与保温筒之间具有第一间隙，降低隔温筒外壁与保温筒内壁之间的热传递，从而进一步降低保温筒内壁与外壁的温差，并且保温筒与炉室的内壁具有第二间隙，减少炉内的热量损失，降低能量损耗。技术研发人员：邹永全,马建强,高彬彬,马腾飞受保护的技术使用者：青海高景太阳能科技有限公司技术研发日：20231113技术公布日：2024/6/13