一种PVD载板的表面处理装置的制作方法

本技术涉及pvd载板清洁，具体为一种pvd载板的表面处理装置。

背景技术：

1、物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。

2、pvd载板是pvd设备的重要部件，其主要作用是将需要制备薄膜的物质放置于载板上，再经过传动系统传送至溅射腔室，通过溅射系统在物质表面上镀上一层薄膜，同时也会在载板的其余地方镀上一层薄膜，随着载板的使用次数越多，镀上的膜层就越厚，当达到一定的厚度，就需要对载板进行清洁、保养。

3、现有技术通过化学溶液对载板进行清洗，溶液浓度高容易腐蚀板体，反之会导致对膜层的俯视效果差而无法彻底清理，且清洁的效率比较低。因此，我们提出一种pvd载板的表面处理装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种pvd载板的表面处理装置，通过设置可以转动的转杆置于清洁箱的上方，可以带动四个放置框转动，进而能够依次的放置pvd载板置于放置框中，并最终使其转动浸入清洁箱的化学溶液中，通过溶液的腐蚀、超声清洗以及对其晃动的作用下，将镀膜层清理去除，清洁的效果更好且效率更好，解决了背景技术中所提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种pvd载板的表面处理装置，包括清洁箱和振动板，所述振动板横向的固定在清洁箱的内部下方，振动板的底部表面均匀的安装有多个超声波换能器；所述清洁箱上方的前端和后端均竖向固定有侧板，前后端侧板之间纵向可转动的安装有转杆，转杆前端的侧板表面安装有步进电机，步进电机与转杆传动连接；所述转杆外侧设置有四个放置框，放置框与转杆的表面之间通过多个连杆连接固定。

3、通过采用上述技术方案，先将化学溶液加入至清洁箱的内部，使放置框被周期的带动转动，进而可以将pvd载板放入至放置框中，并被带动转动浸入至化学溶液中，利用化学溶液的腐蚀和超声波清洗作用，使镀膜与pvd载板分离，并使pvd载板被带动小幅度晃动，可以将其冲刷清洁干净。

4、可选的，所述振动板上方的清洁箱侧边横向连接有排液管，排液管与清洁箱的内部连通。

5、通过采用上述技术方案，在清洁工作完毕后，剩余的化学溶液可以从排液管排出。

6、可选的，所述排液管的末端连接有螺盖，螺盖通过螺纹旋接在排液管的末端。

7、通过采用上述技术方案，在清洁的过程中，将螺盖拧上，可以实现对排液管的密封。

8、可选的，所述放置框的表面纵向均匀的开设有多个开口，开口贯穿放置框的内部和外部。

9、通过采用上述技术方案，通过开口的设置，使化学溶液可以通过开口进入至放置框而与pvd载板作用。

10、可选的，所述开口之间的放置框内表面贴合固定有橡胶块，橡胶块设置有多个并均匀分布在放置框内表面。

11、通过采用上述技术方案，可以避免pvd载板与放置框内表面直接作用而产生磨损。

12、与现有技术相比，本申请技术方案的有益效果如下：

13、1.本申请技术方案通过设置可以转动的转杆置于清洁箱的上方，可以带动四个放置框转动，进而能够依次的放置pvd载板置于放置框中，并最终使其转动浸入清洁箱的化学溶液中，通过溶液的腐蚀、超声清洗以及对其晃动的作用下，将镀膜层清理去除，清洁的效果更好且效率更好。

14、2.本申请技术方案通过在放置框的内表面均匀的贴合固定有多个橡胶块，使pvd载板置于放置框中时，与橡胶块接触而避免直接解除放置框内壁，减少对pvd载板的磨损。

技术特征：

1.一种pvd载板的表面处理装置，包括清洁箱(1)和振动板(2)，其特征在于：所述振动板(2)横向的固定在清洁箱(1)的内部下方，振动板(2)的底部表面均匀的安装有多个超声波换能器(21)；

2.根据权利要求1所述的一种pvd载板的表面处理装置，其特征在于：所述振动板(2)上方的清洁箱(1)侧边横向连接有排液管(5)，排液管(5)与清洁箱(1)的内部连通。

3.根据权利要求2所述的一种pvd载板的表面处理装置，其特征在于：所述排液管(5)的末端连接有螺盖(51)，螺盖(51)通过螺纹旋接在排液管(5)的末端。

4.根据权利要求1所述的一种pvd载板的表面处理装置，其特征在于：所述放置框(4)的表面纵向均匀的开设有多个开口(42)，开口(42)贯穿放置框(4)的内部和外部。

5.根据权利要求4所述的一种pvd载板的表面处理装置，其特征在于：所述开口(42)之间的放置框(4)内表面贴合固定有橡胶块(41)，橡胶块(41)设置有多个并均匀分布在放置框(4)内表面。

技术总结本技术涉及PVD载板清洁技术领域，公开了一种PVD载板的表面处理装置，包括清洁箱和振动板，振动板横向的固定在清洁箱的内部下方，振动板的底部表面均匀的安装有多个超声波换能器，清洁箱上方的前端和后端均竖向固定有侧板，前后端侧板之间纵向可转动的安装有转杆，转杆外侧设置有四个放置框，放置框与转杆的表面之间通过多个连杆连接固定。本技术技术方案通过设置可以转动的转杆置于清洁箱的上方，可以带动四个放置框转动，进而能够依次的放置PVD载板置于放置框中，并最终使其转动浸入清洁箱的化学溶液中，通过溶液的腐蚀、超声清洗以及对其晃动的作用下，将镀膜层清理去除，清洁的效果更好且效率更好。技术研发人员：许宏受保护的技术使用者：辽宁合创涂层科技有限公司技术研发日：20230818技术公布日：2024/7/9