一种箔材用扫描电镜样品台的制作方法

本技术属于扫描电镜试验仪器，特别涉及一种箔材用扫描电镜样品台。

背景技术：

1、高品质箔材对生产工艺要求极高，其成品率对企业利润有至关重要的影响。而影响箔材成品率的因素有很多，如箔材坯料中的夹杂、生产过程中金属或者非金属颗粒的压入，擦划伤，表面腐蚀，表面白条等。现在的极薄箔材生产通常是叠轧，箔材分亮面和暗面，而缺陷在亮面和暗面处的形貌不一样。为了追溯这些缺陷产生的原因，工程技术人员常使用扫描电镜对箔材亮面、暗面缺陷处的形貌进行观察，再配合能谱仪进行定性成分分析，来找出导致箔材失效的原因，进而改进。通常的做法是将失效箔材的缺陷处圈出，然后使用导电胶将箔材固定在扫描电镜样品台上，观察亮面处的缺陷，然后再将箔材从导电胶上撕下，再反过来粘，观察暗面处的缺陷，最后完成分析后再将箔材从样品台的导电胶上撕下来。然而失效的箔材是脆弱的，为了观察箔材亮面、暗面处的缺陷，重复地撕扯箔材，不仅会造成箔材褶皱，还极可能会破坏失效箔材的缺陷，给分析带来误导。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的问题，本申请提供了一种箔材用扫描电镜样品台，具体包括以下内容：

2、一种箔材用扫描电镜样品台，包括第一预制孔板、第二预制孔板、转动连接装置、锁紧装置、以及支撑螺杆，所述第一预制孔板、第二预制孔板相对设置且一侧通过转动连接装置转动连接；所述第一预制孔板上设置第一螺纹盲孔、以及一个或多个第一样品孔；所述第二预制孔板上与第一螺纹盲孔相对的位置上设置有第二螺纹盲孔、与第一样品孔相对的位置上均设置有第二样品孔；所述支撑螺杆穿过第一螺纹盲孔和/或第二螺纹盲孔设置于第一预制孔板或第二预制孔板外侧；所述锁紧装置可拆卸地设置于与转动连接装置相对侧的第一预制孔板和第二预制孔板的边缘。

3、优选的，所述第一螺纹盲孔、第二螺纹盲孔分别设置于第一预制孔板、第二预制孔板的中心。

4、优选的，所述支撑螺杆包括第一端和第二端，支撑螺杆的第一端带有与第一螺纹盲孔和第二螺纹盲孔相匹配的外螺纹，支撑螺杆的第二端为光滑杆，支撑螺杆的第一端穿过第一螺纹盲孔和/或第二螺纹盲孔、第二端设置于第一预制孔板或第二预制孔板外侧。

5、优选的，所述转动连接装置为合页。

6、优选的，所述第一预制孔板、第二预制孔板绕合页转动的角度为0°-180°。

7、优选的，所述锁紧装置为锁紧夹。

8、本实用新型的有益效果：

9、本实用新型提供了一种箔材用扫描电镜样品台，第一预制孔板和第二预制孔板相对设置且一侧通过转动连接装置连接，可绕转动连接装置转动其中一块预制孔板实现开合调节。利用本实用新型公开的装置，可实现将失效箔材缺陷置于预制孔板的某样品孔的中心位置，然后闭合第一预制孔板和第二预制孔板，再将锁紧装置在转动装置相对侧的两预制孔板边缘锁紧，在第一预制孔板或第二预制孔板一侧装上支撑螺杆，可先分析一面的缺陷，然后将锁紧的预制孔板翻过来，将支撑螺杆装到另一预制孔板上，分析另一面的缺陷，可实现在不使用导电胶锁紧样品的同时，快速切换箔材的两个面进行分析。本实用新型公开的箔材用扫描电镜样品台，可在预制孔板上开多个形状的预制孔，可进行失效箔材的批量分析，结构简单可靠，可重复使用。

技术特征：

1.一种箔材用扫描电镜样品台，其特征在于，包括第一预制孔板、第二预制孔板、转动连接装置、锁紧装置、以及支撑螺杆，所述第一预制孔板、第二预制孔板相对设置且一侧通过转动连接装置转动连接；所述第一预制孔板上设置第一螺纹盲孔、以及一个或多个第一样品孔；所述第二预制孔板上与第一螺纹盲孔相对的位置上设置有第二螺纹盲孔、与第一样品孔相对的位置上均设置有第二样品孔；所述支撑螺杆穿过第一螺纹盲孔和/或第二螺纹盲孔设置于第一预制孔板或第二预制孔板外侧；所述锁紧装置可拆卸地设置于与转动连接装置相对侧的第一预制孔板和第二预制孔板的边缘。

2.根据权利要求1所述的一种箔材用扫描电镜样品台，其特征在于，所述第一螺纹盲孔、第二螺纹盲孔分别设置于第一预制孔板、第二预制孔板的中心。

3.根据权利要求1所述的一种箔材用扫描电镜样品台，其特征在于，所述支撑螺杆包括第一端和第二端，支撑螺杆的第一端带有与第一螺纹盲孔和第二螺纹盲孔相匹配的外螺纹，支撑螺杆的第二端为光滑杆，支撑螺杆的第一端穿过第一螺纹盲孔和/或第二螺纹盲孔、第二端设置于第一预制孔板或第二预制孔板外侧。

4.根据权利要求1-3任一项所述的箔材用扫描电镜样品台，其特征在于，所述转动连接装置为合页。

5.根据权利要求4所述的一种箔材用扫描电镜样品台，其特征在于，所述第一预制孔板、第二预制孔板绕合页转动的角度为0°-180°。

6.根据权利要求1-3任一项所述的箔材用扫描电镜样品台，其特征在于，所述锁紧装置为锁紧夹。

技术总结本技术提供了一种箔材用扫描电镜样品台，包括第一预制孔板、第二预制孔板、转动连接装置、锁紧装置、以及支撑螺杆。利用本装置，可实现将失效箔材缺陷置于预制孔板的某样品孔的中心位置，然后闭合第一预制孔板和第二预制孔板，再将锁紧装置在转动装置相对侧的两预制孔板边缘锁紧，在第一预制孔板或第二预制孔板一侧装上支撑螺杆，可先分析一面的缺陷，然后将锁紧的预制孔板翻过来，将支撑螺杆装到另一预制孔板上，分析另一面的缺陷，可实现在不使用导电胶锁紧样品的同时，快速切换箔材的两个面进行分析。本技术公开的箔材用扫描电镜样品台，可在预制孔板上开多个形状的预制孔，可进行失效箔材的批量分析，结构简单可靠，可重复使用。技术研发人员：杨书瑜,韩逸,陈雨楠,钱维锋,朱冉冉,邱怡,陈伟,李秀磊受保护的技术使用者：中铝材料应用研究院有限公司技术研发日：20230814技术公布日：2024/7/9