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一种单晶太阳能电池蚀刻设备的制作方法

  • 国知局
  • 2024-07-17 13:32:04

本技术属于太阳能硅片加工,特别是涉及一种单晶太阳能电池蚀刻设备。

背景技术:

1、太阳能电池中的硅片在加工时,会使用蚀刻设备对其进行处理,先对硅片进行水膜覆盖,从而稳定刻蚀槽反应;随后去除硅片边缘部分的pn结,使上下表面互相绝缘;待蚀刻结束后,通过ri nse1冲洗已经脱附的杂质及硅片表面残留的酸液;再通过碱槽来中和刻蚀后残留酸液,并对多孔硅表面进行冲洗;随后通过rinse2冲洗已经脱附的杂质及硅片表面残留的碱液;并去除硅片表面残留碱液以及表面的二氧化硅,形成疏水性;之后通过rinse3冲洗已经脱附的磷硅玻璃层psg及表面残留的酸液,最后通过烘干槽烘干硅片表面。

2、其中蚀刻设备中烘干槽在对硅片烘干操作时,一般会先使用吸水海绵对硅片进行吸水操作,再使用热风循环干燥机对硅片进行烘干,其中吸水海绵在多次使用后,吸水海绵会吸附较多的水分,从而影响对硅片的吸水操作,继而影响后续的烘干操作,为此需要设计一种单晶太阳能电池蚀刻设备,其烘干槽中的吸水海绵可以自动挤水,从而提高其对硅片的吸水效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种单晶太阳能电池蚀刻设备,以解决上述背景技术中提到的技术问题。

2、本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种单晶太阳能电池蚀刻设备,其包括安装在蚀刻设备本体右侧的烘干槽本体:所述蚀刻设备本体的内腔安装有输送装置,所述输送装置穿过烘干槽本体的内腔并延伸至蚀刻设备本体的外侧,所述烘干槽本体的内腔通过转动轴转动连接有两个吸水海绵本体,两个吸水海绵本体分别位于输送装置的顶部和底部,所述硅片本体放置在输送装置的顶部,两个吸水海绵本体的表面分别与硅片本体的顶部和底部接触,所述吸水海绵本体固定粘接在转动轴的表面,所述转动轴的前后两侧均焊接有六个固定杆,所述固定杆位于吸水海绵本体的前后两侧,所述固定杆的内腔滑动连接有延伸至外侧的滑动杆,前后两侧对应的六个滑动杆之间焊接有挤水杆,所述滑动杆远离吸水海绵本体的一侧焊接有滑动柱,所述固定杆相背的一侧均设置有齿轮一,所述齿轮一转动连接在转动轴的表面,所述齿轮一的表面开设有供滑动柱滑动的弧形滑槽,前后两侧的两个齿轮一之间均通过双面齿牙皮带传动连接,所述烘干槽本体内腔的前后两侧均转动连接有齿轮二,所述齿轮二和双面齿牙皮带啮合,两个吸水海绵本体的右侧均安装有热风循环干燥机,所述热风循环干燥机靠近输送装置的一侧均安装有出气管。

3、优选的,所述滑动杆的两侧均焊接有滑条。

4、优选的,所述固定杆的内腔开设有供滑条滑动的滑槽。

5、优选的,所述吸水海绵本体的表面开设有和挤水杆配合使用的凹槽。

6、优选的,所述滑动柱穿过弧形滑槽的内腔并焊接有防脱片。

7、优选的,所述烘干槽本体内腔的底部安装有电机,所述电机的输出轴固定连接有转动杆,两个齿轮二均焊接在转动杆的表面。

8、1、本实用新型的有益效果是:本实用新型通过齿轮二转动带动齿轮一转动,从而使滑动柱在齿轮一中弧形滑槽的内腔滑动,继而带动滑动杆相对滑动,继而带动挤水杆相对滑动对吸水海绵本体进行挤压,将吸水海绵本体吸附的水分挤出来,即可达到对吸水海绵本体进行自动挤水从而提高吸水海绵本体对硅片本体吸水效率的目的。

9、2、本实用新型通过防脱片的设置,当硅片本体转动带动滑动柱在弧形滑槽的内腔滑动时,可以避免滑动柱从弧形滑槽的内腔脱落。

10、3、本实用新型通过凹槽的设置,当输送装置带动硅片本体中两个吸水海绵本体之间穿过时,会带动吸水海绵本体转动,此时挤水杆位于凹槽的内腔,可以避免挤水杆和硅片本体的表面接触,从而避免挤水杆将硅片本体刮花。

技术特征:

1.一种单晶太阳能电池蚀刻设备,该设备对硅片本体(21)进行加工,其特征在于,包括安装在蚀刻设备本体(1)右侧的烘干槽本体(2):所述蚀刻设备本体(1)的内腔安装有输送装置(3),所述输送装置(3)穿过烘干槽本体(2)的内腔并延伸至蚀刻设备本体(1)的外侧,所述烘干槽本体(2)的内腔通过转动轴(5)转动连接有两个吸水海绵本体(4),两个吸水海绵本体(4)分别位于输送装置(3)的顶部和底部,所述硅片本体(21)放置在输送装置(3)的顶部,两个吸水海绵本体(4)的表面分别与硅片本体(21)的顶部和底部接触,所述吸水海绵本体(4)固定粘接在转动轴(5)的表面,所述转动轴(5)的前后两侧均焊接有六个固定杆(6),所述固定杆(6)位于吸水海绵本体(4)的前后两侧,所述固定杆(6)的内腔滑动连接有延伸至外侧的滑动杆(7),前后两侧对应的六个滑动杆(7)之间焊接有挤水杆(14),所述滑动杆(7)远离吸水海绵本体(4)的一侧焊接有滑动柱(10),所述固定杆(6)相背的一侧均设置有齿轮一(12),所述齿轮一(12)转动连接在转动轴(5)的表面,所述齿轮一(12)的表面开设有供滑动柱(10)滑动的弧形滑槽(13),前后两侧的两个齿轮一(12)之间均通过双面齿牙皮带(16)传动连接,所述烘干槽本体(2)内腔的前后两侧均转动连接有齿轮二(17),所述齿轮二(17)和双面齿牙皮带(16)啮合,两个吸水海绵本体(4)的右侧均安装有热风循环干燥机(19),所述热风循环干燥机(19)靠近输送装置(3)的一侧均安装有出气管(20)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶太阳能电池蚀刻设备,其特征在于,所述滑动杆(7)的两侧均焊接有滑条(8)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶太阳能电池蚀刻设备,其特征在于,所述固定杆(6)的内腔开设有供滑条(8)滑动的滑槽(9)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶太阳能电池蚀刻设备,其特征在于,所述吸水海绵本体(4)的表面开设有和挤水杆(14)配合使用的凹槽(15)。

5.根据权利要求4所述的一种单晶太阳能电池蚀刻设备,其特征在于,所述滑动柱(10)穿过弧形滑槽(13)的内腔并焊接有防脱片(11)。

6.根据权利要求5所述的一种单晶太阳能电池蚀刻设备,其特征在于,所述烘干槽本体(2)内腔的底部安装有电机(18),所述电机(18)的输出轴固定连接有转动杆,两个齿轮二(17)均焊接在转动杆的表面。

技术总结本技术公开了一种单晶太阳能电池蚀刻设备,包括安装在蚀刻设备本体右侧的烘干槽本体:所述蚀刻设备本体的内腔安装有输送装置,所述输送装置穿过烘干槽本体的内腔并延伸至蚀刻设备本体的外侧,所述烘干槽本体的内腔通过转动轴转动连接有两个吸水海绵本体,两个吸水海绵本体分别位于输送装置的顶部和底部。本技术通过齿轮二转动带动齿轮一转动,从而使滑动柱在齿轮一中弧形滑槽的内腔滑动,继而带动滑动杆相对滑动,继而带动挤水杆相对滑动对吸水海绵本体进行挤压,将吸水海绵本体吸附的水分挤出来,即可达到对吸水海绵本体进行自动挤水从而提高吸水海绵本体对硅片本体吸水效率的目的。技术研发人员:于鹏飞,周泽民,孔令文受保护的技术使用者:威海隆光太阳能科技有限公司技术研发日:20231129技术公布日:2024/7/9

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