一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材的制作方法

本技术涉及溅射靶材，具体为一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材。

背景技术：

1、目前在工业镀膜生产中，磁控溅射技术已成为主要的技术之一，相关的磁控溅射镀膜设备也发展迅速，磁控溅射靶作为镀膜系统核心部件，直接关系镀膜效果的好坏，对于整套镀膜设备的开发起到了至关重要的作用，因此需使用到相应的磁控溅射靶。

2、市面上的便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，大多数机台内支撑座在对靶材固定的过程中，由于靶材的规格不同，在翻转镀膜时，靶材在没有限位的作用下进行翻转时位置滑动，会导致靶材滑落，影响靶材镀膜的效率，为此我们提出一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，具备在支撑座两侧以及镀膜箱内均设置有限位结构，而限位结构能够灵活对不同规格的靶材进行限位，进而靶材在镀膜翻转时减少滑落的现象，从而增强机台实用性等优点，解决了机台有待改进的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，包括底座，所述底座顶部左右两侧均固定连接有支撑座，所述支撑座两侧均设置有限位结构。

3、所述限位结构包括螺纹杆，所述螺纹杆与支撑座螺纹连接，所述螺纹杆远离支撑座的一侧固定连接有把手，所述螺纹杆朝向底座中部的一侧固定连接有夹板，所述夹板顶部与底部均固定连接有滑块。

4、进一步，所述滑块一侧滑动连接有镀膜箱，所述镀膜箱顶部螺栓固定有顶盖。

5、进一步，所述顶盖上部中部设置有真空机，所述镀膜箱内部放置有靶材。

6、进一步，所述支撑座朝向镀膜箱相反的一侧均固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离支撑座的一侧固定连接有固定板。

7、进一步，所述固定板朝向支撑座的一侧铰接有电动伸缩杆。

8、进一步，所述电动伸缩杆输出端方向为朝向镀膜箱的一侧，所述电动伸缩杆输出端贯穿滑块。

9、进一步，所述电动伸缩杆输出端铰接有限位块，所述限位块与滑块铰接，所述限位块接近滑块的一侧固定连接有复位弹簧，所述限位块接近靶材的一侧固定连接有夹块。

10、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

11、该便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，具备在支撑座两侧以及镀膜箱内均设置有限位结构，而限位结构能够灵活对不同规格的靶材进行限位，进而靶材在镀膜翻转时减少滑落的现象，从而增强机台实用性等优点。

技术特征：

1.一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部左右两侧均固定连接有支撑座(2)，所述支撑座(2)两侧均设置有限位结构；

2.根据权利要求1所述的一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，其特征在于：所述滑块(11)一侧滑动连接有镀膜箱(5)，所述镀膜箱(5)顶部螺栓固定有顶盖(3)。

3.根据权利要求2所述的一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，其特征在于：所述顶盖(3)上部中部设置有真空机(4)，所述镀膜箱(5)内部放置有靶材(16)。

4.根据权利要求2所述的一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，其特征在于：所述支撑座(2)朝向镀膜箱(5)相反的一侧均固定连接有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)远离支撑座(2)的一侧固定连接有固定板(8)。

5.根据权利要求4所述的一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，其特征在于：所述固定板(8)朝向支撑座(2)的一侧铰接有电动伸缩杆(10)。

6.根据权利要求5所述的一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，其特征在于：所述电动伸缩杆(10)输出端方向为朝向镀膜箱(5)的一侧，所述电动伸缩杆(10)输出端贯穿滑块(11)。

7.根据权利要求6所述的一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，其特征在于：所述电动伸缩杆(10)输出端铰接有限位块(14)，所述限位块(14)与滑块(11)铰接，所述限位块(14)接近滑块(11)的一侧固定连接有复位弹簧(13)，所述限位块(14)接近靶材(16)的一侧固定连接有夹块(15)。

技术总结本技术涉及一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，包括底座，所述底座顶部左右两侧均固定连接有支撑座，所述支撑座两侧均设置有限位结构；所述限位结构包括螺纹杆，所述螺纹杆与支撑座螺纹连接，所述螺纹杆远离支撑座的一侧固定连接有把手，所述螺纹杆朝向底座中部的一侧固定连接有夹板，所述夹板顶部与底部均固定连接有滑块；所述电动伸缩杆输出端铰接有限位块，所述限位块接近滑块的一侧固定连接有复位弹簧。该便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，具备在支撑座两侧以及镀膜箱内均设置有限位结构，而限位结构能够灵活对不同规格的靶材进行限位，进而靶材在镀膜翻转时减少滑落的现象，从而增强机台实用性等优点。技术研发人员：陈茂健,陈林玉受保护的技术使用者：江苏嘉茂材料科技有限公司技术研发日：20231129技术公布日：2024/7/9