卷芯调节装置及磁控溅射镀膜设备的制作方法

本申请涉及磁控溅射，具体而言，涉及一种卷芯调节装置及磁控溅射镀膜设备。

背景技术：

1、导电金属薄膜是一类具有多种良好性能的材料，现已广泛应用于电池中作为正极集流体或者负极集流体。

2、磁控溅射镀膜是导电金属薄膜成型的重要工艺环节，现有的磁控溅射设备包括设备机架、两端转动设置在设备机架上的气涨轴以及套设在气涨轴上的卷芯，导电金属薄膜卷缠绕固定在卷芯上。通常，现场工人在准备生产前，需要将前后两根辊(主辊、上辊)上的薄膜卷进行对齐(由于薄膜卷在卷芯上的位置是一致的，通常是将卷芯对齐)，以免薄膜在行进过程中发生偏离、褶皱。对齐过程中，通常都是工人合力抱着卷绕有薄膜的卷芯在气涨轴上进行移动调整位置，不仅劳动强度大，而且在调整过程中极容易对薄膜卷造成损坏。

技术实现思路

1、本申请的主要目的在于提供一种卷芯调节装置及磁控溅射镀膜设备，以解决现有技术中的对磁控溅射镀膜设备上的前后两根辊上的卷芯进行对齐时，人工劳动成本高、容易造成卷芯上的薄膜发生损坏的问题。

2、根据本申请的一个方面，提供了一种卷芯调节装置，包括：

3、安装架，所述安装架用于安装气涨轴；

4、滑动机构，所述滑动机构设置于所述安装架上，所述滑动机构包括驱动部件和滑动部件，所述驱动部件与所述滑动部件连接以驱动所述滑动部件沿平行于所述气涨轴轴线的方向往复运动；

5、夹持机构，所述夹持机构与所述滑动部件固定连接，并用于对套设在所述气涨轴上的所述卷芯进行夹持。

6、进一步地，所述安装架包括：

7、挂板，所述挂板包括两块，两块所述挂板间隔设置于所述安装架上，两块所述挂板之间具有安装空间，所述气涨轴位于所述安装空间内，且所述气涨轴的两端分别可拆卸地设置于所述挂板上。

8、进一步地，所述挂板上设置有挂槽，所述挂槽从所述挂板的边缘朝向所述挂板的内侧凹陷，所述气涨轴的端部可拆卸地挂设于所述挂槽。

9、进一步地，所述驱动部件包括：

10、驱动杆，所述驱动杆可转地安装在所述安装空间内并沿平行于所述气涨轴轴线的方向延伸，所述驱动杆的长度方向设置有螺纹段，所述滑动部件上设置有与螺纹段配合的螺纹孔；

11、驱动组件，所述驱动组件安装在所述挂板上并与所述驱动杆连接以带动所述驱动杆转动。

12、进一步地，所述驱动组件包括：

13、主动齿轮，所述主动齿轮可转动地安装在所述挂板上；

14、从动齿轮，所述从动齿轮固定套设在所述驱动杆上，并与所述主动齿轮啮合；

15、旋转手柄，所述旋转手柄设置于所述挂板上，用于驱动所述主动齿轮转动。

16、进一步地，所述滑动部件包括滑块，所述滑块上设置有所述螺纹孔，所述滑块通过所述螺纹孔套设在所述螺纹段上。

17、进一步地，所述夹持机构包括：

18、连接杆，所述连接杆与所述滑动部件固定连接，且所述连接杆沿平行于所述气涨轴轴线的方向延伸；

19、夹板，所述夹板包括两块，两块所述夹板分别固定设置于所述连接杆的两端，两块所述夹板的间距不小于所述卷芯的轴向长度。

20、进一步地，两块所述夹板之间的间距比所述卷芯的轴向长度大1cm至10cm。

21、进一步地，所述夹板上设置卡槽，所述卡槽从所述夹板的边缘朝向所述夹板的内部延伸，所述夹板通过所述卡槽可拆卸地挂设于所述气涨轴上。

22、另一方面，本申请还提供了一种磁控溅射镀膜设备，所述磁控溅射镀膜设备包括上述的卷芯调节装置。

23、相对于现有技术中采用工人合力抱着卷绕有导电金属薄膜的卷芯在气涨轴上进行移动的方式而言，本申请中只需要利用驱动部件驱动夹持机构带动卷芯沿气涨轴的轴线方向往复运动即可对卷芯的位置进行调节，结构简单，人工劳动成本低，且调节过程不容易造成对卷芯上的导电金属薄膜造成损坏。

技术特征：

1.一种卷芯调节装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的卷芯调节装置，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求2所述的卷芯调节装置，其特征在于，所述挂板(11)上设置有挂槽(111)，所述挂槽(111)从所述挂板(11)的边缘朝向所述挂板(11)的内侧凹陷，所述气涨轴(20)的端部可拆卸地挂设于所述挂槽(111)。

4.根据权利要求2所述的卷芯调节装置，其特征在于，所述驱动部件(31)包括：

5.根据权利要求4所述的卷芯调节装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

6.根据权利要求4所述的卷芯调节装置，其特征在于，所述滑动部件(32)包括滑块(321)，所述滑块(321)上设置有所述螺纹孔，所述滑块(321)通过所述螺纹孔套设在所述螺纹段(3141)上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的卷芯调节装置，其特征在于，所述夹持机构(40)包括：

8.根据权利要求7所述的卷芯调节装置，其特征在于，两块所述夹板(42)之间的间距比所述卷芯(50)的轴向长度大1cm至10cm。

9.根据权利要求7所述的卷芯调节装置，其特征在于，所述夹板(42)上设置卡槽(421)，所述卡槽(421)从所述夹板(42)的边缘朝向所述夹板(42)的内部延伸，所述夹板(42)通过所述卡槽(421)可拆卸地挂设于所述气涨轴(20)上。

10.一种磁控溅射镀膜设备，其特征在于，所述磁控溅射镀膜设备包括权利要求1至9中任一项所述的卷芯调节装置。

技术总结本申请公开了一种卷芯调节装置及磁控溅射镀膜设备。卷芯调节装置包括安装架、滑动机构以及夹持机构。所述安装架用于安装气涨轴；所述滑动机构设置于所述安装架上，所述滑动机构包括驱动部件和滑动部件，所述驱动部件与所述滑动部件连接以驱动所述滑动部件沿平行于所述气涨轴轴线的方向往复运动；所述夹持机构与所述滑动部件固定连接，并用于对套设在所述气涨轴上的卷芯进行夹持。本申请的卷芯调节装置及磁控溅射镀膜设备可以解决现有技术中的对磁控溅射镀膜设备上的前后两根辊上的卷芯进行对齐时，人工劳动成本高、容易造成卷芯上的薄膜发生损坏的问题。技术研发人员：臧世伟受保护的技术使用者：深圳金美新材料科技有限公司技术研发日：20231116技术公布日：2024/7/9