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一种磁控溅射制备锂离子电池复合隔膜的方法
本发明属于锂离子电池的隔膜材料领域,具体涉及一种在高分子微孔隔膜表面镀无机材料,再通过多巴胺在隔膜表面自聚合而制得复合隔膜的方法。背景技术:1、传统化石能源的大量使用不仅导致环境污染,还加剧了全球能源......
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磁控溅射真空镀膜设备的制作方法
本发明属于化学冶金中连续镀覆的真空设备,具体涉及一种磁控溅射真空镀膜设备。背景技术:1、磁控溅射设备是一种常用的镀膜设备,其工作原理是利用磁场的作用,使靶材表面的原子或分子在电场作用下脱离靶材,并沉积......
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磁控溅射设备的制作方法
本申请涉及磁控溅射,特别是涉及一种磁控溅射设备。背景技术:1、传统的磁控溅射通常采用圆柱靶或平面靶作为阴极进行溅射薄膜沉积,其工作过程为:在真空腔体中充入惰性气体,电源馈入阴极提供电场使电子发生定向运......
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一种磁控溅射头装置的制作方法
本申请涉及磁控溅射,具体而言,涉及一种磁控溅射头装置。背景技术:1、现有技术中,磁控溅射结构中的磁场结构是整个部件的关键所在,目前的磁场结构形成的磁场分布方式,导致靶材被消蚀成一个深沟,如图5所示,造......
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一种超薄磁控溅射紫外膜及其制备方法与流程
本发明涉及隔热膜,具体涉及用于在汽车车身上或建筑物体表面降温隔热的超薄磁控溅射紫外膜及其制备方法。背景技术:1、常规贴在汽车玻璃以及建筑物玻璃上的贴膜,通常简称为窗膜,用以提供隔热、防紫外线的功能。目......
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一种磁控溅射技术制备复合防护涂层的方法
本发明涉及防护涂层,特别是涉及一种磁控溅射技术制备复合防护涂层的方法。背景技术:1、模具是我国制造业的基础装备,但是由于实际生产应用过程中,工模具的服役环境比较苛刻,需要面临高温高压、腐蚀介质侵蚀、高......
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一种在铁镍合金复合材料基底上磁控溅射金属钌的方法与流程
本发明属于表面工程和材料科学,具体而言,涉及一种在铁镍合金复合材料基底上进行磁控溅射金属钌的方法,尤其涉及一种磁控溅射固定钌层厚度的可控制备方法。背景技术:1、铁镍合金和钌在现代工业及科研领域中发挥着......
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一种多功能磁控溅射镀膜机的制作方法
本技术涉及镀膜,具体为一种多功能磁控溅射镀膜机。背景技术:1、多功能玻璃磁控溅射镀膜机是一种对多功能玻璃通过磁控溅射的方式进行镀膜的装置,而磁控溅射是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点,......
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卷芯调节装置及磁控溅射镀膜设备的制作方法
本申请涉及磁控溅射,具体而言,涉及一种卷芯调节装置及磁控溅射镀膜设备。背景技术:1、导电金属薄膜是一类具有多种良好性能的材料,现已广泛应用于电池中作为正极集流体或者负极集流体。2、磁控溅射镀膜是导电金......
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一种磁控溅射旋转阴极结构的制作方法
本发明属于真空溅射,具体涉及一种磁控溅射旋转阴极结构。背景技术:1、磁控溅射阴极是真空溅射设备中最重要的核心部件之一,其性能表现显著影响所沉积薄膜的质量和效率。实际使用过程中,磁控溅射生成的薄膜厚度的......
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一种用于反应磁控溅射的反应气体控制系统及调试方法与流程
本发明属于半导体制造,具体涉及一种用于反应磁控溅射的反应气体控制系统及调试方法。背景技术:1、反应磁控溅射是一种改进的磁控溅射技术,它在传统磁控溅射的基础上引入了反应气体。在溅射过程中添加反应气体可以......
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一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片的制作方法
本技术涉及镀膜设备组件,具体为一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片。背景技术:1、卷绕磁控溅射镀膜机,适用于在pet和无纺布上镀制金属膜(铜,铝等)功能性薄膜;主要应用于:柔性线路板、薄膜电容......
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一种基于闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备梯度Ti-DLC复合自润滑薄膜的方法
本发明涉及类金刚石薄膜制备,具体涉及一种基于闭合场非平衡磁控溅射离子沉积梯度ti-dlc复合自润滑薄膜及其制备方法。背景技术:1、钢铁材料在高速重载、剧烈摩擦和严重腐蚀等服役条件经常会出现磨损和断裂,......
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磁控溅射镀膜固定装置的制作方法
本技术涉及磁控溅射镀膜,特别涉及磁控溅射镀膜固定装置。背景技术:1、磁控溅射镀膜是一种常见的表面涂层技术,用于在各种材料上形成薄膜,它通过将固体材料置于真空室中,然后利用带有磁场的电子束激活靶材表面的......
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一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩的制作方法
本技术适用于磁控溅射设备,尤其涉及一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩。背景技术:1、目前,在真空磁控溅射的工作过程中,电子受到电磁场的作用向阳极靠近,其运动轨迹为旋轮线,电子向阳极运动的过程中与ar原子发生了......
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一种柔性卷绕磁控溅射镀膜机冷鼓压辊机构、镀膜机的制作方法
本技术涉及柔性卷绕磁控溅射镀膜技术,具体涉及一种柔性卷绕磁控溅射镀膜机冷鼓压辊机构、磁控溅射镀膜机。背景技术:1、柔性卷绕磁控溅射镀膜机作为pet膜的生产设备,必然涉及pet膜卷绕系统技术。目前的pe......