一种多功能磁控溅射镀膜机的制作方法

本技术涉及镀膜，具体为一种多功能磁控溅射镀膜机。

背景技术：

1、多功能玻璃磁控溅射镀膜机是一种对多功能玻璃通过磁控溅射的方式进行镀膜的装置，而磁控溅射是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向欲被溅射的物质支撑的靶电极，并将靶子溅射出来使其沿着一定的方向运动带衬底并最终在衬底上沉积成膜的方法。

2、现有技术中，公开号为“cn216192675u”的公开了一种玻璃双面镀膜磁控溅射镀膜机，通过在镀膜腔体的上下两侧开设滑槽，当需要镀膜的玻璃安装至两个滑轨的中间时，四个限位板受到弹簧的弹力后，会将玻璃夹紧固定，此时玻璃将镀膜腔体分割成两个部分，即可实现玻璃两面同时进行镀膜工作，相比于单面镀膜设备，镀膜效率更高，且均匀分布在镀膜腔体两侧的镀膜仪能均匀地对玻璃进行镀膜，使得镀膜厚度及均匀性可控，且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高，产出的产品良品率更高，解决了现有的镀膜机在镀膜时由于真空环境的限制，只能进行单面镀膜，镀膜效率较低的问题。

3、但现有技术仍存在较大不足，如：

4、在对工件进行镀膜时需要将工件放入到镀膜机内，通过镀膜机自带的夹持组件对镀膜机进行夹持固定，然后通过镀膜机对工件进行镀膜，在上述描述的方案中，人员在对玻璃进行镀膜时，需要人员手动将密封门打开，不但需要将玻璃抬起并且将玻璃推入到镀膜机内，而且镀膜完毕后还需要手动将放在镀膜机内的玻璃抽出，并且当玻璃与滑槽出现极大的摩擦时，人员不容易抽出，此过程人员的劳动量极大。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种多功能磁控溅射镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种多功能磁控溅射镀膜机，包括镀膜腔体和密封门，所述镀膜腔体的外侧面转动安装有安装环，所述安装环上固定安装有液压缸，所述液压缸的输出轴上固定安装有夹持组件，通过所述夹持组件便于将工件夹持固定；

4、所述密封门上固定安装驱动电机，所述驱动电机的输出轴上固定安装有转动环，所述转动环上固定安装有连接轴，所述连接轴远离转动环的一端安装在夹持组件上，通过所述驱动电机便于带动所述工件转动；

5、所述镀膜腔体的内壁上设置有摆动组件，所述摆动组件上设置有镀膜仪。

6、优选的，所述夹持组件包括支架杆，所述支架杆上螺纹安装有螺纹杆，所述支架杆之间滑动安装有夹持板，所述夹持板上转动安装有转动块，所述螺纹杆穿过支架杆的底端与转动块固定安装，通过所述螺纹杆的转动便于带动夹持板移动。

7、优选地，所述螺纹杆的顶端固定安装有转杆，通过所述转杆便于手动转动螺纹杆。

8、优选的，所述摆动组件由旋转组件与联动组件组成，所述旋转组件包括两个内齿环，所述内齿环上固定安装有限位块，所述限位块通过弧形槽滑动安装在镀膜腔体的内壁上，所述限位块上固定安装有弹性绳，所述弹性绳远离限位块的一端安装在弧形槽内，两个所述内齿环之间固定安装有多个弧形板，所述镀膜仪安装在弧形板上。

9、优选的，所述联动组件包括主动齿轮与转轴，所述主动齿轮安装在液压缸的输出轴上，所述转轴转动安装在镀膜腔体的内壁上，所述转轴上固定安装有从动齿轮和半齿轮，所述半齿轮的位置处于从动齿轮的内侧；

10、所述主动齿轮与从动齿轮啮合，所述半齿轮与内齿环啮合，通过所述驱动电机的驱动，使所述内齿环上的镀膜仪处于摆动的状态。

11、优选地，所述镀膜腔体的外侧面设置有真空管，通过所述真空管便于与真空泵连通。

12、优选地，所述镀膜腔体上固定安装有用于支撑镀膜腔体的支撑块。

13、优选的，所述密封门上固定安装有u型板，所述u型板上转动安装有移动轮。

14、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

15、1.通过夹持组件的设置，通过所述液压缸带动夹持组件向外侧移动，夹持组件在移动时会连同密封门打开，当夹持组件全部处于在外界时，通过夹持组件将需要镀膜的工件固定在夹持组件中两个夹持板之间，然后再利用液压缸将夹持的工件移动到镀膜腔体内，再通过驱动电机的驱动，带动夹持组件中的工件旋转，此过程不但使工件镀膜的效果更佳，而且无需人工手动将密封门打开，极大地降低人员的劳动量；

16、2.通过摆动组件的设置，在液压缸恢复到原先的位置时，驱动电机会通过联动组件带动旋转组件转动，旋转组件在转动一定角度后会通过弹性绳恢复到原先的位置，实现镀膜仪摆动的状态，当镀膜仪在摆动时会进一步提高工件镀膜的效果。

技术特征：

1.一种多功能磁控溅射镀膜机，包括镀膜腔体(1)和密封门(2)，其特征在于：所述镀膜腔体(1)的外侧面转动安装有安装环(3)，所述安装环(3)上固定安装有液压缸(4)，所述液压缸(4)的输出轴上固定安装有夹持组件，通过所述夹持组件便于将工件夹持固定；

2.根据权利要求1所述的一种多功能磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述夹持组件包括支架杆(9)，所述支架杆(9)上螺纹安装有螺纹杆(10)，所述支架杆(9)之间滑动安装有夹持板(11)，所述夹持板(11)上转动安装有转动块(12)，所述螺纹杆(10)穿过支架杆(9)的底端与转动块(12)固定安装，通过所述螺纹杆(10)的转动便于带动夹持板(11)移动。

3.根据权利要求2所述的一种多功能磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述螺纹杆(10)的顶端固定安装有转杆(13)，通过所述转杆(13)便于手动转动螺纹杆(10)。

4.根据权利要求1所述的一种多功能磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述摆动组件由旋转组件与联动组件组成，所述旋转组件包括两个内齿环(14)，所述内齿环(14)上固定安装有限位块(15)，所述限位块(15)通过弧形槽(16)滑动安装在镀膜腔体(1)的内壁上，所述限位块(15)上固定安装有弹性绳(17)，所述弹性绳(17)远离限位块(15)的一端安装在弧形槽(16)内，两个所述内齿环(14)之间固定安装有多个弧形板(18)，所述镀膜仪(8)安装在弧形板(18)上。

5.根据权利要求4所述的一种多功能磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述联动组件包括主动齿轮(19)与转轴(20)，所述主动齿轮(19)安装在液压缸(4)的输出轴上，所述转轴(20)转动安装在镀膜腔体(1)的内壁上，所述转轴(20)上固定安装有从动齿轮(21)和半齿轮(22)，所述半齿轮(22)的位置处于从动齿轮(21)的内侧；

6.根据权利要求1所述的一种多功能磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述镀膜腔体(1)的外侧面设置有真空管(23)，通过所述真空管(23)便于与真空泵连通。

7.根据权利要求1所述的一种多功能磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述镀膜腔体(1)上固定安装有用于支撑镀膜腔体(1)的支撑块(24)。

8.根据权利要求1所述的一种多功能磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述密封门(2)上固定安装有u型板(25)，所述u型板(25)上转动安装有移动轮(26)。

技术总结本技术公开了一种多功能磁控溅射镀膜机，包括镀膜腔体和密封门，所述镀膜腔体的外侧面转动安装有安装环，所述安装环上固定安装有液压缸，所述液压缸的输出轴上固定安装有夹持组件，通过所述夹持组件便于将工件夹持固定，所述密封门上固定安装驱动电机。本技术在使用的过程中，通过所述液压缸带动夹持组件向外侧移动，夹持组件在移动时会连同密封门打开，通过夹持组件将需要镀膜的工件固定在夹持组件中两个夹持板之间，然后通过液压缸将夹持的工件移动到镀膜腔体内，通过驱动电机的驱动，带动夹持组件中的工件旋转，此过程不但使工件镀膜的效果更佳，而且无需人工手动将密封门打开，极大地降低人员的劳动量。技术研发人员：周焱文,段云飞,安茶利,聂天伟,周乐,张澳,石教亮受保护的技术使用者：武汉普迪真空科技有限公司技术研发日：20231122技术公布日：2024/7/9