一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩的制作方法

本技术适用于磁控溅射设备，尤其涉及一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩。

背景技术：

1、目前，在真空磁控溅射的工作过程中，电子受到电磁场的作用向阳极靠近，其运动轨迹为旋轮线，电子向阳极运动的过程中与ar原子发生了电离碰撞，生成的ar离子在电场力的作用下加速飞向阴极靶材，并以高能量轰击靶材，发生溅射效果；

2、而传统的屏蔽罩采用螺栓固定安装，安装与拆卸都非常不便，同时屏蔽罩的屏蔽距离为固定性，无法调节，从而保证精准的屏蔽效果，使用质量无法得到保证，为了解决上述中存在的问题，因此，我们提出一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩。

技术实现思路

1、本实用新型提出的一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，通过板槽内置有罩板，且罩板可形成升降驱动调节，在屏蔽过程中，罩板将对屏蔽距离形成调节效果，从而保证屏蔽的精准性，大大提高屏蔽的质量，解决了背景技术中提出的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，包括罩体，所述罩体的内部开设有板槽，所述板槽内置有罩板，所述罩体外壁底端的两侧均设置有拉把，所述罩体顶端左侧的中部嵌入有轴承，且轴承的转动壁与丝杆的外壁固定对接，所述丝杆的顶端设置有转把，所述板槽内部左侧的中部开设有滑槽，且滑槽内置有滑块，所述滑块的内部开设有螺纹槽，所述板槽内部右侧的两端均开设有块槽，且块槽内置有滑杆和稳固块，所述板槽内部底端的两侧均设置有锁块，所述锁块的内壁开设有凹槽，且凹槽的内部安装有弹簧。

4、优选的，所述罩板的左侧与滑块的外壁固定对接，所述罩板的右侧与稳固块的外壁固定对接。

5、优选的，所述丝杆的底端位于螺纹槽的内部，所述丝杆与螺纹槽的螺纹尺寸相适配，且构成转动机构。

6、优选的，所述滑杆的两端固定于块槽内部的两端，且滑杆贯穿于稳固块的内部，且构成滑动机构。

7、优选的，所述弹簧的一端固定于凹槽的内部，所述弹簧的另一端固定于罩体的内壁中。

8、优选的，所述锁块的外壁贯穿于板槽的内壁中，所述锁块的内壁贯穿于罩体的外壁中，且锁块的内壁与拉把的内壁固定对接。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1、本实用新型通过板槽内置有罩板，且罩板可形成升降驱动调节，在屏蔽过程中，罩板将对屏蔽距离形成调节效果，从而保证屏蔽的精准性，大大提高屏蔽的质量。

11、2、本实用新型通过锁块安装在弹性机构上，在对罩体进行安装过程中，将替代传统的螺栓安装方式，采用弹性夹持锁定效果带动罩体的快速安装和拆卸效果，提高使用的便捷效果。

技术特征：

1.一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，其特征在于，包括罩体(1)，所述罩体(1)的内部开设有板槽(2)，所述板槽(2)内置有罩板(3)，所述罩体(1)外壁底端的两侧均设置有拉把(4)，所述罩体(1)顶端左侧的中部嵌入有轴承(5)，且轴承(5)的转动壁与丝杆(6)的外壁固定对接，所述丝杆(6)的顶端设置有转把(7)，所述板槽(2)内部左侧的中部开设有滑槽(16)，且滑槽(16)内置有滑块(11)，所述滑块(11)的内部开设有螺纹槽(12)，所述板槽(2)内部右侧的两端均开设有块槽(8)，且块槽(8)内置有滑杆(10)和稳固块(9)，所述板槽(2)内部底端的两侧均设置有锁块(13)，所述锁块(13)的内壁开设有凹槽(14)，且凹槽(14)的内部安装有弹簧(15)。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，其特征在于，所述罩板(3)的左侧与滑块(11)的外壁固定对接，所述罩板(3)的右侧与稳固块(9)的外壁固定对接。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，其特征在于，所述丝杆(6)的底端位于螺纹槽(12)的内部，所述丝杆(6)与螺纹槽(12)的螺纹尺寸相适配，且构成转动机构。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，其特征在于，所述滑杆(10)的两端固定于块槽(8)内部的两端，且滑杆(10)贯穿于稳固块(9)的内部，且构成滑动机构。

5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，其特征在于，所述弹簧(15)的一端固定于凹槽(14)的内部，所述弹簧(15)的另一端固定于罩体(1)的内壁中。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，其特征在于，所述锁块(13)的外壁贯穿于板槽(2)的内壁中，所述锁块(13)的内壁贯穿于罩体(1)的外壁中，且锁块(13)的内壁与拉把(4)的内壁固定对接。

技术总结本技术适用于磁控溅射设备技术领域，公开了一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，其包括罩体，所述罩体的内部开设有板槽，所述板槽内置有罩板，所述罩体外壁底端的两侧均设置有拉把，所述罩体顶端左侧的中部嵌入有轴承，且轴承的转动壁与丝杆的外壁固定对接，所述丝杆的顶端设置有转把，所述板槽内部左侧的中部开设有滑槽，且滑槽内置有滑块，所述滑块的内部开设有螺纹槽，所述板槽内部右侧的两端均开设有块槽，且块槽内置有滑杆和稳固块，所述板槽内部底端的两侧均设置有锁块。本技术通过板槽内置有罩板，且罩板可形成升降驱动调节，在屏蔽过程中，罩板将对屏蔽距离形成调节效果，从而保证屏蔽的精准性，大大提高屏蔽的质量。技术研发人员：刘海华,尹英发,范伟华,黄裕坤受保护的技术使用者：广东森美纳米科技有限公司技术研发日：20230510技术公布日：2024/6/11