一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片的制作方法

本技术涉及镀膜设备组件，具体为一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片。

背景技术：

1、卷绕磁控溅射镀膜机，适用于在pet和无纺布上镀制金属膜(铜，铝等)功能性薄膜；主要应用于：柔性线路板、薄膜电容、ito透明导电膜、薄膜太阳能电池、汽车/火车/轮船等贴膜、柔性太阳能电池fpd平板显示、柔性显示器件等。

2、专利(cn115928032a)公开了一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括：壳本体、放卷机构、收卷机构、镀膜辊结构、屏蔽隔离装置、溅射阴极结构以及抽气结构。该新型设备能实现在超薄膜材上一次完成多层膜系正反两面的镀膜，解决了起皱、针孔、掉渣等质量缺陷，比传统镀膜机上完成双面镀要采用正反面先后镀的方式，生产周期短，生产效率高、成品率高。

3、上述专利文献中的磁控溅射卷绕镀膜设备中同样需要配备视窗，用于观察溅射镀膜的设备内部情况，同时需要对视窗使用挡片进行遮挡，避免溅射加工时对视窗进行镀膜；但目前视窗挡片主要是单片模式，挡片移走后使用视窗进行观察时，视窗还是会直接面对溅射粒子，长时间使用后还是会对视窗造成遮挡，影响视窗的正常使用。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片，包括安装筒，所述安装筒与设备壳体固定连接，所述设备壳体于安装筒一侧设有视窗，所述安装筒内侧水平设有转动连接的支撑轴，所述安装筒一端外壁于设备壳体内部设有弧形透明挡片，所述弧形透明挡片与视窗平齐，所述支撑轴外壁于设备壳体内部设有第一挡板，所述第一挡板外壁于弧形透明挡片外侧设有第二挡板，所述第二挡板为u型结构，所述弧形透明挡片设于u型结构的第二挡板内侧，所述第二挡板的u型结构内壁两侧均设有海绵片。

3、进一步的，所述第二挡板为弧形结构，且所述第二挡板的弧形结构与弧形透明挡片的弧形结构相互平行，所述弧形透明挡片的弧形结构与设备壳体的弧形结构相互平行。

4、进一步的，所述支撑轴一端于设备壳体外侧设有旋转盘，所述安装筒内壁设有与支撑轴外侧套设有轴承。

5、进一步的，所述安装筒内壁于支撑轴外侧套设有环形弹性夹片。

6、进一步的，所述第一挡板为半圆形结构，所述第一挡板的外径大于安装筒的横截面内径。

7、进一步的，所述第二挡板和弧形透明挡片均为圆形结构，所述第二挡板和弧形透明挡片的外径大于视窗的外接圆外径，且第一挡板和第二挡板连接组成葫芦状结构。

8、与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

9、1、本实用新型通过设置支撑轴、弧形透明挡片、第一挡板、第二挡板、海绵片，需要使用视窗进行观察卷绕磁控溅射设备内部溅射加工情况时，旋转安装筒上的支撑轴一定角度，支撑轴带动第一挡板和第二挡板进行旋转相应的角度，第一挡板和第二挡板从弧形透明挡片外侧移开，u型结构的第二挡板不再对弧形透明挡片进行遮挡，此时工作人员可通过视窗并透过弧形透明挡片直接观察卷绕磁控溅射设备内部溅射加工情况，此时弧形透明挡片仍可对视窗进行遮挡处理，避免视窗直接面对溅射粒子，可以有效避免对设备内部情况观察时溅射粒子溅射在视窗表面，保证视窗在使用时的安全性，保证视窗的正常使用；观察完毕后，再次旋转支撑轴进行复位处理，支撑轴带动第一挡板和第二挡板进行旋转复位，u型结构的第二挡板重新挡在弧形透明挡片两侧，可有效对弧形透明挡片进行防护遮挡处理，可有效避免溅射粒子对弧形透明挡片进行保护处理。

10、2、本实用新型中，第二挡板运动时，海绵片随着第二挡板进行同步运动，海绵片对弧形透明挡片表面两侧进行清洁处理，可有效对溅射到弧形透明挡片的溅射粒子进行清洁工作，保证后续弧形透明挡片的表面清洁度，便于后续视窗使用的清晰度，第一挡板始终对安装筒进行遮挡保护处理，可有效避免溅射粒子对安装筒内部轴承和支撑轴之间，可有效加强对支撑轴的安全性和稳定性，保证设备的正常使用。

技术特征：

1.一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片，包括安装筒(1)，其特征在于：所述安装筒(1)与设备壳体(2)固定连接，所述设备壳体(2)于安装筒(1)一侧设有视窗(3)，所述安装筒(1)内侧水平设有转动连接的支撑轴(4)，所述安装筒(1)一端外壁于设备壳体(2)内部设有弧形透明挡片(5)，所述弧形透明挡片(5)与视窗(3)平齐，所述支撑轴(4)外壁于设备壳体(2)内部设有第一挡板(6)，所述第一挡板(6)外壁于弧形透明挡片(5)外侧设有第二挡板(7)，所述第二挡板(7)为u型结构，所述弧形透明挡片(5)设于u型结构的第二挡板(7)内侧，所述第二挡板(7)的u型结构内壁两侧均设有海绵片(11)。

2.根据权利要求1所述的一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片，其特征在于：所述第二挡板(7)为弧形结构，且所述第二挡板(7)的弧形结构与弧形透明挡片(5)的弧形结构相互平行，所述弧形透明挡片(5)的弧形结构与设备壳体(2)的弧形结构相互平行。

3.根据权利要求1所述的一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片，其特征在于：所述支撑轴(4)一端于设备壳体(2)外侧设有旋转盘(8)，所述安装筒(1)内壁设有与支撑轴(4)外侧套设有轴承(9)。

4.根据权利要求1所述的一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片，其特征在于：所述安装筒(1)内壁于支撑轴(4)外侧套设有环形弹性夹片(10)。

5.根据权利要求1所述的一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片，其特征在于：所述第一挡板(6)为半圆形结构，所述第一挡板(6)的外径大于安装筒(1)的横截面内径。

6.根据权利要求5所述的一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片，其特征在于：所述第二挡板(7)和弧形透明挡片(5)均为圆形结构，所述第二挡板(7)和弧形透明挡片(5)的外径大于视窗(3)的外接圆外径，且第一挡板(6)和第二挡板(7)连接组成葫芦状结构。

技术总结本技术公开了一种卷绕磁控溅射设备视窗用双遮挡位弧形挡板片，涉及镀膜设备组件技术领域，包括支撑轴、弧形透明挡片、第一挡板、第二挡板、海绵片。本技术中第一挡板和第二挡板从弧形透明挡片外侧移开，U型结构的第二挡板不再对弧形透明挡片进行遮挡，此时弧形透明挡片仍可对视窗进行遮挡处理，避免视窗直接面对溅射粒子，保证视窗在使用时的安全性，保证视窗的正常使用；观察完毕后，再次旋转支撑轴进行复位处理，U型结构的第二挡板重新挡在弧形透明挡片两侧，可有效避免溅射粒子对弧形透明挡片进行保护处理；海绵片对弧形透明挡片表面两侧进行清洁处理，便于后续视窗使用的清晰度。技术研发人员：陈伟,张微微,李学法,张国平受保护的技术使用者：江阴纳力新材料科技有限公司技术研发日：20231122技术公布日：2024/6/13