一种废气处理装置的制作方法

本技术涉及废气处理设备，具体而言，涉及一种废气处理装置。

背景技术：

1、随着我国泛半导体行业(半导体、面板、太阳能、led)高速发展，其产生的工艺废气(含氟、氯、硅、氮、氢等元素为代表的温室气体，以及剧毒性、易燃性有害气体)治理效果直接影响产能利用率、产品良率，以及员工职业健康、生产环境。针对前述废气的就地处理，目前通过等离子体火炬进行燃烧水洗的一体机处理工艺已经大规模应用。

2、经发明人研究发现，现有的一些废气处理装置为了维持反应室外壳低温，会设置专门的冷却水管，以对反应室外壳进行降温，但与反应室外壳进行换热后的水中的热能难以进行利用。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种废气处理装置，其能够有效利用与反应室外壳换热后的热能。

2、本实用新型的实施例是这样实现的：

3、第一方面，本实用新型提供一种废气处理装置，包括：

4、反应室；

5、冷却套管，冷却套管套设于反应室，冷却套管的内侧壁与反应室的外侧壁共同限定出冷却腔；

6、洗涤组件，洗涤组件包括相连通的包括水箱及洗涤塔，反应室及洗涤塔均设置于水箱上，洗涤塔远离水箱的一侧具有出气口；

7、换热组件，换热组件包括引风机、冷气管及热气管，冷气管的两端分别与引风机及冷却腔连通，热气管的两端分别与冷却腔及出气口连通。

8、通过上述设置，与反应室换热后的高温空气通过热气管可以在出气口与处理后的净化气混合，以提高净化气的温度，使得净化气与高温空气混合后进行脱白，实现了反应室换热后的热能利用。

9、在可选的实施方式中，废气处理装置还包括进气管，进气管与热气管连接，进气管具有进气端及出气端，出气端与反应室连通，进气端用于与废气源连通，进气管内的气体能与热气管内的气体进行热交换。

10、通过上述设置，位于热气管内的高温空气会对进气管进行换热，使得进气管内的废气升温，避免进气管内部的废气出现由于低温导致的结晶的情况，也避免了额外的电加热装置的设置，节约了成本。

11、在可选的实施方式中，进气管至少部分位于热气管内，进气管的两端分别穿设热气管；

12、或热气管至少部分位于进气管内，热气管的两端分别穿设进气管；

13、或热气管的外侧壁与进气管的外侧壁相抵接；

14、或热气管与进气管通过热交换器换热。

15、通过上述设置，当进气管的至少部分位于热气管内，进气管的两端分别穿设热气管时，废气在进气管内流动时，由于部分进气管位于热气管内，会被热气管内的热气包裹，能够较为高效的与进气管内的废气进行热交换，避免进气管内的废气出现低温结晶的情况；

16、当热气管至少部分位于进气管内时，此时热气管穿设进气管，废气在进气管内流动时，能够接触热气管的管壁，以与位于热气管内的气体进行热交换，以避免进气管内的废气出现低温结晶的情况；

17、当热气管的外侧壁与进气管的外侧壁相抵接时，热气管内的热气与进气管内的废气会通过热气管的管壁与进气管的管壁进行热交换，以避免进气管内的废气出现低温结晶的情况；

18、当热气管与进气管通过热交换器换热，热气管内的热量能够通过热交换器传递至进气管，进而避免进气管内的废气出现低温结晶的情况。

19、在可选的实施方式中，热气管包括第一热气管、换热管及第二热气管，换热管具有相对的第一端及第二端，进气管至少部分位于换热管内，出气端穿设第一端与反应室连通，进气端穿设第二端，第一热气管的两端分别与换热管及冷却腔连通，第二热气管的两端分别与换热管及出气口连通。

20、通过上述设置，进气管的部分位于换热管内，使得废气通过进气管时能够与换热管内的热气进行热交换，从而避免进气管内的废气出现低温结晶的情况，也避免了额外的电加热装置的设置，节约了成本。

21、在可选的实施方式中，废气处理装置还包括循环组件，循环组件包括水泵及第一出液管，水泵的进口与水箱连通，第一出液管的一端与水泵的出口连通，第一出液管的另一端设置有第一喷淋件，第一喷淋件位于洗涤塔内。

22、通过上述设置，通过水泵将水箱内的液体沿第一出液管流动并通过第一喷淋件在洗涤塔内喷淋，以实现对废气的洗涤净化处理，进行除尘脱酸。

23、在可选的实施方式中，废气处理装置还包括补水件，补水件的一端设置有第二喷淋件，第二喷淋件位于洗涤塔内，第一喷淋件相对第二喷淋件远离出气口，第一喷淋件与第二喷淋件之间设置有填料层。

24、通过上述设置，第二喷淋件为喷淋的水未含杂质，依次通过上述设置能够保证烟气洗涤的洁净度。并且通过填料层的设置能够提高气液接触面积进一步的出去烟气中的酸性气体及颗粒物。

25、在可选的实施方式中，第一喷淋件远离出气口的一侧设置有填料层。

26、通过上述设置，第一喷淋件的上下两侧均设置有填料层，能够提高气液接触面积，高效的去除烟气中的酸性气体及颗粒物。

27、在可选的实施方式中，反应室靠近水箱的一端具有溢流部，反应室的气体能通过溢流部进入水箱，循环组件还包括第三出液管，第三出液管的一端与第一出液管和/或水泵连通，第三出液管的另一端与溢流部连接，用于冲洗溢流部内壁。

28、通过上述设置，液体能够通过第三出液管向溢流部内壁喷淋，以实现对溢流部的降温，并且液体还能够从溢流部侧壁流下，直至回流进水箱内，在回流的过程中，还能够对位于溢流部内壁的颗粒物进行冲洗，避免燃烧产生的颗粒物堆积在溢流部壁面上。

29、在可选的实施方式中，循环组件还包括第四出液管，第四出液管的一端与第一出液管和/或水泵连通，另一端设置有位于水箱内的第三喷淋件。

30、通过上述设置，降低进入水箱的废气温度，防止水箱高温变形，同时进行初步脱酸除尘。

31、在可选的实施方式中，洗涤塔靠近出气口的一端设置有除雾器，热气管靠近洗涤塔的一端位于除雾器靠近出气口的一侧。

32、通过上述设置，热气管内的高温气体可以去除净化气中的明水。

技术特征：

1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于：

4.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的废气处理装置，其特征在于：

7.根据权利要求5所述的废气处理装置，其特征在于：

8.根据权利要求5所述的废气处理装置，其特征在于：

9.根据权利要求5所述的废气处理装置，其特征在于：

10.根据权利要求5所述的废气处理装置，其特征在于：

技术总结本技术实施例提供了一种废气处理装置，涉及废气处理设备技术领域。废气处理装置包括反应室、冷却套管、洗涤组件及换热组件。冷却套管套设于反应室，冷却套管内侧壁与反应室外侧壁共同限定出冷却腔。洗涤组件包括相连通的水箱及洗涤塔，洗涤塔远离水箱的一侧具有出气口。换热组件包括引风机、冷气管及热气管，冷气管的两端分别与引风机及冷却腔连通，热气管的两端分别与冷却腔及出气口连通。通过上述设置，与反应室换热后的空气通过热气管可以在出气口与净化处理后的净化气混合，以提高净化气的温度，使得净化气在高温空气混合后进行脱白，实现了反应室换热后的热能利用。技术研发人员：张伟明,陈毅受保护的技术使用者：上海盛剑半导体科技有限公司技术研发日：20230728技术公布日：2024/3/17