一种废气处理系统及方法与流程

本公开涉及废气处理，具体是一种废气处理系统及方法。

背景技术：

1、在半导体器件的制程中会产生废气，需要对这些废气进行处理以避免废气污染环境以及造成安全隐患，然而，在废气处理过程中会存在回燃风险，一旦发生回燃会损坏输气管路和相关设备，造成经济损失，引发安全事故。

技术实现思路

1、为克服相关技术中存在的问题，本公开提供一种废气处理系统及方法。

2、根据本公开实施例的第一方面，提供一种废气处理系统，用于对含有可燃气体的废气进行处理，所述废气处理系统包括：

3、废气处理装置，用于对废气进行燃烧处理；

4、泵送装置，用于将废气泵送至所述废气处理装置；

5、防回火装置，设置于所述泵送装置与所述废气处理装置之间；

6、第一输气通路，用于将所述泵送装置经所述防回火装置与所述废气处理装置连通；

7、第二输气通路，用于将所述泵送装置与所述废气处理装置连通；

8、第一切换装置，配置为用于使得所述第一输气通路和所述第二输气通路择一导通。

9、本公开的一些实施例中，所述防回火装置的内腔中设置有火焰隔离部，所述火焰隔离部将所述内腔分为第一空间和第二空间，所述火焰隔离部配置为对所述第一空间和所述第二空间进行火焰隔离，并使得气体沿由所述第一空间向所述第二空间的方向单向导通；

10、所述第一输气通路包括：

11、第一输气管路，所述第一输气管路一端与所述泵送装置相连，所述第一输气管路另一端与所述第一空间连通；

12、第二输气管路，所述第二输气管路一端与所述废气处理装置相连，所述第二输气管路另一端与所述第二空间连通。

13、本公开的一些实施例中，所述防回火装置的内腔中容置有隔离液体，所述隔离液体为不可燃液体，且所述废气难溶于所述隔离液体，所述内腔在所述隔离液体的液面以下的空间构成所述第一空间，所述内腔在所述隔离液体的液面以上的空间构成所述第二空间。

14、本公开的一些实施例中，所述废气处理系统还包括：

15、火焰侦测装置，所述火焰侦测装置用于侦测所述防回火装置和/或所述防回火装置与所述废气处理装置之间的连接管路内产生的火焰。

16、本公开的一些实施例中，所述火焰侦测装置设置于所述第二空间内。

17、本公开的一些实施例中，所述第二输气通路包括第三输气管路，所述第三输气管路的一端与所述泵送装置相连，所述第三输气管路的另一端与所述废气处理装置相连；

18、所述第一切换装置配置为用于将所述泵送装置在所述第三输气管路以及所述第一输气管路之间切换连通，以及用于将所述废气处理装置在所述第三输气管路以及所述第二输气管路之间切换连通。

19、本公开的一些实施例中，所述废气处理系统还包括：

20、厂务酸排管路，所述厂务酸排管路用于排放所述废气处理装置处理后的废气；

21、第四输气管路，所述第四输气管路的一端与所述第三输气管路相连，所述第四输气管路的另一端与所述厂务酸排管路相连；

22、第二切换装置，所述第二切换装置配置为用于将所述第三输气管路在所述第四输气管路以及所述废气处理装置之间切换连通。

23、本公开的一些实施例中，所述废气处理系统还包括：

24、第五输气管路，所述第五输气管路的一端与所述第一输气管路相连，所述第五输气管路的另一端与所述厂务酸排管路相连；

25、第三切换装置，所述第二切换装置配置为用于将所述第一输气管路在所述第五输气管路以及所述防回火装置之间切换连通。

26、本公开的一些实施例中，所述废气处理系统还包括：

27、第一控制装置，所述第一控制装置与所述第一切换装置、所述第二切换装置以及所述第三切换装置相连；

28、所述第一控制装置配置为根据所述废气处理系统的工作模式对所述第一切换装置进行控制，所述工作模式包括自动模式和手动模式；

29、所述第一控制装置还配置为根据所述废气处理装置的所述工作模式和工作状态对所述第二切换装置进行控制，所述工作状态包括正常状态和故障状态；

30、所述第一控制装置还配置为至少根据所述废气处理系统的所述工作模式和所述废气处理装置的所述工作状态对所述第三切换装置进行控制。

31、本公开的一些实施例中，所述废气处理系统还包括：

32、灭火装置，用以熄灭所述防回火装置与所述废气处理装置之间的连接管路中的火焰。

33、本公开的一些实施例中，所述泵送装置通过吹扫气体将废气输送至所述废气处理装置，所述废气处理系统还包括：

34、第二控制装置，所述第二控制装置用于控制所述废气和所述吹扫气体的流量。

35、本公开的一些实施例中，所述泵送装置用于将原位水汽生成制程工艺排出的废气泵送至所述废气处理装置。

36、根据本公开实施例的第二方面，提供一种废气处理方法，用于对含有可燃气体的废气进行处理，所述废气处理方法包括：

37、确定所述废气处理系统的工作模式，所述工作模式包括自动模式和手动模式，其中，在所述自动模式下，自动监测并控制所述废气的气体流量，在所述手动模式下，手动控制所述废气的气体流量；

38、当所述工作模式为自动模式时，将废气直接输送至废气处理装置进行燃烧处理；

39、当所述工作模式为手动模式时，将废气经防回火装置输送至所述废气处理装置进行燃烧处理。

40、本公开的一些实施例中，所述废气处理方法还包括：

41、确定所述废气处理装置的工作状态，所述工作状态包括正常状态和故障状态，其中，所述废气处理装置在所述正常状态下能够正常进行废气处理，在所述故障状态下无法进行废气处理；

42、当所述工作状态为正常状态时，将废气直接输送至废气处理装置进行燃烧处理；

43、当所述工作状态为故障状态时，将废气输送至厂务酸排管路。

44、本公开的一些实施例中，所述废气处理方法还包括：

45、确定所述防回火装置与所述废气处理装置之间的连接管路上是否存在火焰；

46、当存在火焰时，控制灭火装置开启，以熄灭所述防回火装置与所述废气处理装置之间的连接管路中的火焰；和/或，将废气输送至厂务酸排管路。

47、本公开的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：通过第一切换装置控制废气由第一输气通路经过防回火装置后流入废气处理装置进行燃烧处理，使得废气处理系统在有回燃风险时，通过防回火装置阻碍回燃的发展和扩散，降低了废气回燃造成经济损失和引发安全事故的风险。通过第一切换装置控制废气由第二输气通路流入废气处理装置进行燃烧处理，使得废气处理系统在没有回燃风险时，废气无需经过防回火装置直接进入废气处理装置，提升了废气输送效率，简化了废气处理的流程。

48、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。