一种六氟化钨尾气的回收装置的制作方法

本发明涉及尾气回收，具体为一种六氟化钨尾气的回收装置。

背景技术：

1、六氟化钨是一种无色有刺激性的气体，在常温下呈现出刺鼻气味。它在制造半导体过程中作为气相沉积材料使用，主要用于制造微电子器件和薄膜。然而，在六氟化钨的生产和使用过程中，会产生六氟化钨尾气。

2、六氟化钨尾气主要包含六氟化钨和氢氟酸等物质。其中氢氟酸是一种强酸，具有刺激性和腐蚀性，对人体和环境有一定的危害，所以为了减少对环境的影响，需要通过一种尾气回收装置对六氟化钨尾气进行处理，以降低其人体和环境的危害。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供一种六氟化钨尾气的回收装置，当需要对六氟化钨尾气进行回收时，可以通过抽气机构将六氟化钨尾气抽入到箱体内部，并经由烘干机构烘干、经由过滤组件过滤、经由分流组件分流、经由气体监测机构实时监测气体污染度、经由循环机构和冷却机构将干净的六氟化钨尾气再次液化成液体，直至后期从排液管中排出进行二次使用，进而避免了对人体和环境的危害。

2、为实现上述的目的，本发明提供如下技术方案：一种六氟化钨尾气的回收装置，包括箱体，箱体的底面固定有两个对称设置的支撑腿，箱体外壁的上端固定连接有进气管，箱体内壁的上端固定连接抽气管，抽气管的内壁连接有抽气机构，抽气管的另一端固定连接有分隔管，分隔管的另一端连接有烘干机构，烘干机构的另一端连接有连接管，连接管的另一端固定连接有过滤箱，过滤箱的内壁连接有过滤组件，过滤箱的外壁连接有分流组件，分流组件的内部连接有气体监测机构，分流组件远离过滤箱的一端连接有冷却箱，冷却箱的内壁连接有循环机构和冷却组件，循环机构和冷却组件连通，冷却箱外壁的底面固定连接有排液管，排液管的内部设置有排液阀门，进气管、抽气管、分隔管、烘干机构、连接管、过滤箱、分流组件、冷却箱和排液管内部连通。

3、进一步地，抽气机构包括十字支架、抽气电机和抽风扇，十字支架的四端均与抽气管的内壁固定连接，抽气电机的外壁与十字支架的一侧固定连接，抽气电机的输出轴与抽风扇的中心轴固定连接。

4、进一步地，烘干机构包括加热管和加热丝，加热管的一端与抽气管的一端固定连接并连通，加热管的另一端与连接管的一端固定连接并连通，加热管的内壁开设有加热腔，加热丝的外壁与加热腔的内壁固定连接。

5、进一步地，过滤组件包括密封板和滤网，密封板的一侧与滤网的一侧固定连接，滤网的外壁与过滤箱的内壁连接。

6、进一步地，分流组件包括三通管和两个电磁阀，三通管的一端与过滤箱的外壁固定连接并连通，气体监测机构与此端的内部连接，两个电磁阀分别与三通管的另外两端连接，三通管远离过滤箱的其中一端与冷却箱固定连接并连通，三通管远离过滤箱的另一端固定连接并连通有另一个过滤箱，此过滤箱的外壁固定连接并连通有出气管，出气管的另一端与冷却箱固定连接并连通，且另一个过滤箱的内壁也连接有过滤组件。

7、进一步地，箱体外壁的两侧均贯穿开设有更换口，密封板远离滤网的一端贯穿更换口，并固定连接有把手，且密封板的侧壁与更换口的内壁滑动连接，箱体外壁的两侧均固定连接有两个卡头，同一侧的两个卡头分别位于更换口的两侧，且其中一个卡头的外壁套设并转动连接有卡条，卡条另一端的内壁与另一个卡头的外壁滑动连接。

8、进一步地，气体监测机构包括支撑块和气体监测传感器，支撑块的一端与三通管的内壁固定连接，气体监测传感器的外壁与支撑块的一侧固定连接，支撑块位于三通管远离两个电磁阀的一端。

9、进一步地，冷却箱的内壁固定连接有隔板和分区板，隔板的一侧与分区板的一端固定连接，且隔板和分区板的横截面呈t形，隔板上端的其中一侧贯穿开设有开口，其中冷却组件位于靠近开口的一侧，循环机构位于远离开口的一侧。

10、进一步地，循环机构包括底座、冷却泵、出液管和回液管，底座的底面与冷却箱内壁的底面固定连接，冷却泵的外壁与底座的上表面固定连接，冷却泵的输出端与出液管的一端固定连接并连通，出液管的另一端贯穿分区板，并与冷却组件的其中一端连通，回液管的一端与冷却组件的另一端连通，回液管的另一端贯穿分区板，且出液管和回液管均与分区板固定连接。

11、进一步地，冷却组件包括支撑框和若干冷凝板，支撑框的外壁与冷却箱的内壁、隔板的侧壁和分区板的侧壁均固定连接，若干冷凝板的侧壁均与支撑框的内壁固定连接，且在支撑框的内部等距分布，若干冷凝板的两侧分别贯穿开设有进液口和回液口，若干冷凝板的内壁均固定连接有若干错位设置的导流条，其中出液管远离冷却泵的一端与进液口连通，回液管远离冷却泵的一端与回液口连通。

12、与现有技术对比，本发明具备以下有益效果：

13、该种六氟化钨尾气的回收装置，通过在箱体的内部设置抽气机构、烘干机构、过滤组件、分流组件、气体监测机构、循环机构和冷却组件，当需要对六氟化钨尾气进行回收时，可以通过抽气机构将六氟化钨尾气抽入到箱体内部，并经由烘干机构烘干、经由过滤组件过滤、经由分流组件分流、经由气体监测机构实时监测气体污染度、经由循环机构和冷却机构将干净的六氟化钨尾气再次液化成液体，直至后期从排液管中排出进行二次使用，进而避免了对人体和环境的危害。

技术特征：

1.一种六氟化钨尾气的回收装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的底面固定有两个对称设置的支撑腿(2)，箱体(1)外壁的上端固定连接有进气管(3)，箱体(1)内壁的上端固定连接抽气管(10)，抽气管(10)的内壁连接有抽气机构，抽气管(10)的另一端固定连接有分隔管(11)，分隔管(11)的另一端连接有烘干机构，烘干机构的另一端连接有连接管(13)，连接管(13)的另一端固定连接有过滤箱(14)，过滤箱(14)的内壁连接有过滤组件，过滤箱(14)的外壁连接有分流组件，分流组件的内部连接有气体监测机构，分流组件远离过滤箱(14)的一端连接有冷却箱(18)，冷却箱(18)的内壁连接有循环机构和冷却组件，循环机构和冷却组件连通，冷却箱(18)外壁的底面固定连接有排液管(4)，排液管(4)的内部设置有排液阀门(5)，进气管(3)、抽气管(10)、分隔管(11)、烘干机构、连接管(13)、过滤箱(14)、分流组件、冷却箱(18)和排液管(4)内部连通。

2.根据权利要求1所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述抽气机构包括十字支架(28)、抽气电机(29)和抽风扇(30)，十字支架(28)的四端均与抽气管(10)的内壁固定连接，抽气电机(29)的外壁与十字支架(28)的一侧固定连接，抽气电机(29)的输出轴与抽风扇(30)的中心轴固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述烘干机构包括加热管(12)和加热丝(21)，加热管(12)的一端与抽气管(10)的一端固定连接并连通，加热管(12)的另一端与连接管(13)的一端固定连接并连通，加热管(12)的内壁开设有加热腔(20)，加热丝(21)的外壁与加热腔(20)的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述过滤组件包括密封板(8)和滤网(22)，密封板(8)的一侧与滤网(22)的一侧固定连接，滤网(22)的外壁与过滤箱(14)的内壁连接。

5.根据权利要求4所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述分流组件包括三通管(15)和两个电磁阀(16)，三通管(15)的一端与过滤箱(14)的外壁固定连接并连通，气体监测机构与此端的内部连接，两个电磁阀(16)分别与三通管(15)的另外两端连接，三通管(15)远离过滤箱(14)的其中一端与冷却箱(18)固定连接并连通，三通管(15)远离过滤箱(14)的另一端固定连接并连通有另一个过滤箱(14)，此过滤箱(14)的外壁固定连接并连通有出气管(17)，出气管(17)的另一端与冷却箱(18)固定连接并连通，且另一个过滤箱(14)的内壁也连接有过滤组件。

6.根据权利要求5所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述箱体(1)外壁的两侧均贯穿开设有更换口(19)，密封板(8)远离滤网(22)的一端贯穿更换口(19)，并固定连接有把手(9)，且密封板(8)的侧壁与更换口(19)的内壁滑动连接，箱体(1)外壁的两侧均固定连接有两个卡头(6)，同一侧的两个卡头(6)分别位于更换口(19)的两侧，且其中一个卡头(6)的外壁套设并转动连接有卡条(7)，卡条(7)另一端的内壁与另一个卡头(6)的外壁滑动连接。

7.根据权利要求5所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述气体监测机构包括支撑块(38)和气体监测传感器(39)，支撑块(38)的一端与三通管(15)的内壁固定连接，气体监测传感器(39)的外壁与支撑块(38)的一侧固定连接，支撑块(38)位于三通管(15)远离两个电磁阀(16)的一端。

8.根据权利要求1所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述冷却箱(18)的内壁固定连接有隔板(23)和分区板(25)，隔板(23)的一侧与分区板(25)的一端固定连接，且隔板(23)和分区板(25)的横截面呈t形，隔板(23)上端的其中一侧贯穿开设有开口(24)，其中冷却组件位于靠近开口(24)的一侧，循环机构位于远离开口(24)的一侧。

9.根据权利要求8所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述循环机构包括底座(31)、冷却泵(32)、出液管(33)和回液管(34)，底座(31)的底面与冷却箱(18)内壁的底面固定连接，冷却泵(32)的外壁与底座(31)的上表面固定连接，冷却泵(32)的输出端与出液管(33)的一端固定连接并连通，出液管(33)的另一端贯穿分区板(25)，并与冷却组件的其中一端连通，回液管(34)的一端与冷却组件的另一端连通，回液管(34)的另一端贯穿分区板(25)，且出液管(33)和回液管(34)均与分区板(25)固定连接。

10.根据权利要求9所述的一种六氟化钨尾气的回收装置，其特征在于：所述冷却组件包括支撑框(26)和若干冷凝板(27)，支撑框(26)的外壁与冷却箱(18)的内壁、隔板(23)的侧壁和分区板(25)的侧壁均固定连接，若干冷凝板(27)的侧壁均与支撑框(26)的内壁固定连接，且在支撑框(26)的内部等距分布，若干冷凝板(27)的两侧分别贯穿开设有进液口(36)和回液口(37)，若干冷凝板(27)的内壁均固定连接有若干错位设置的导流条(35)，其中出液管(33)远离冷却泵(32)的一端与进液口(36)连通，回液管(34)远离冷却泵(32)的一端与回液口(37)连通。

技术总结本发明涉及尾气回收技术领域，且公开了一种六氟化钨尾气的回收装置，包括箱体，箱体的底面固定有两个对称设置的支撑腿，箱体外壁的上端固定连接有进气管，箱体内壁的上端固定连接抽气管，抽气管的内壁连接有抽气机构，抽气管的另一端固定连接有分隔管，分隔管的另一端连接有烘干机构。该种六氟化钨尾气的回收装置，当需要对六氟化钨尾气进行回收时，可以通过抽气机构将六氟化钨尾气抽入到箱体内部，并经由烘干机构烘干、经由过滤组件过滤、经由分流组件分流、经由气体监测机构实时监测气体污染度、经由循环机构和冷却机构将干净的六氟化钨尾气再次液化成液体，直至后期从排液管中排出进行二次使用，进而避免了对人体和环境的危害。技术研发人员：赵厚哲,龚巍,杨建华受保护的技术使用者：江苏元佳新材料有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/18