可翻转遮覆盖板的高压清洗装置的制作方法

本技术涉及清洗设备，具体为可翻转遮覆盖板的高压清洗装置。

背景技术：

1、在半导体制程中，必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生，以维持半导体制程设备的效能，并可延长设备的使用寿命，以物理气相沉积制程为例，物理气相沉积制程主要是在一基板上沉积一层薄膜。首先利用一直流电源分别电性耦接至一背板及一遮覆板，遮覆板在长期的使用过程中需要进行清洗。

2、对遮覆板的清洗的过程包括很多个步骤，其中包括高压清洗，在清洗的过程中必须使用大量的酸性或碱性之化学溶液，以溶解金属镀膜，使其与遮覆板及母材分离，在高压冲洗过程中也不例外，因此会造成大量的清洗液的浪费，且在高压清洗的过程中需要对遮覆板进行翻面，而现有技术中的高压清洗设备缺乏对清洗液进行回收再利用的组件，同时也无法将遮覆板进行翻面，因此在使用时较为不便。鉴于此，我们提出可翻转遮覆盖板的高压清洗装置。

技术实现思路

1、为了弥补以上不足，本实用新型提供了可翻转遮覆盖板的高压清洗装置。

2、本实用新型的技术方案是：

3、可翻转遮覆盖板的高压清洗装置，包括安装板以及固定在安装板上的清洗箱，所述安装板底部固定安装有用于回收清洗箱内清洗液的过滤箱，所述过滤箱内固定安装有若干个平行设置的过滤网，且若干个过滤网从上往下网孔孔径逐渐减小，所述安装板左右两侧内壁上均转动安装有一个用于对遮覆盖板进行夹持的夹具，所述清洗箱左侧外壁上安装有用于驱动位于左侧的夹具转动的翻转电机，所述清洗箱底部安装有一个可前后移动的导水板，所述导水板上安装有若干个等距分布的高压喷头。

4、作为优选的技术方案，所述过滤箱通过上升管与导水板顶部左侧的软管连通，所述上升管上安装有水泵一，过滤箱顶部安装有与清洗箱底部连通的连接管。

5、作为优选的技术方案，所述安装板底部对称固定有两个用于将其支撑的支撑板，所述清洗箱顶部设有箱盖。

6、作为优选的技术方案，所述安装板位于清洗箱右侧固定安装有一个用于存放干净清洗液的存放箱，所述存放箱通过输送管与导水板顶部右侧的软管连通，所述输送管上安装有水泵二，所述存放箱顶部设有密封盖。

7、作为优选的技术方案，所述导水板左右两端均固定连接有一个驱动板，所述清洗箱内壁靠近底部处对称转动连接有两个分别与两个驱动板螺纹连接的驱动丝杆，所述清洗箱外壁上对称安装有两个分别用于驱动两个驱动丝杆转动的驱动电机。

8、作为优选的技术方案，所述夹具包括l形安装架，所述l形安装架上转动连接有一个调节丝杆，调节丝杆上螺纹连接有一个左侧外壁与l形安装架紧密贴合的活动板，所述l形安装架侧壁中心处固定连接有一个转轴，所述转轴与清洗箱转动连接，且位于左侧的所述转轴与翻转电机的输出轴同轴固定。

9、作为优选的技术方案，所述活动板与l形安装架贴合的一侧外壁上一体成型有一个限位滑块，所述l形安装架内壁上开设有与限位滑块滑动连接的限位槽。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、本实用新型通过设置的过滤箱可以对清洗箱内的喷淋后的清洗液进行过滤后再利用，可以有效节省清洗液的使用量，同时设置可以由翻转电机驱动翻转的夹具，可以将夹持在夹具上的遮覆盖板进行翻面操作，提高了在清洗时的便利性。

12、2、本实用新型通过设置可以前后移动的导水板，可以便于对遮覆盖板的表面进行清洗。

技术特征：

1.可翻转遮覆盖板的高压清洗装置，包括安装板(1)以及固定在安装板(1)上的清洗箱(3)，其特征在于：所述安装板(1)底部固定安装有用于回收清洗箱(3)内清洗液的过滤箱(5)，所述过滤箱(5)内固定安装有若干个平行设置的过滤网(53)，且若干个过滤网(53)从上往下网孔孔径逐渐减小，所述安装板(1)左右两侧内壁上均转动安装有一个用于对遮覆盖板进行夹持的夹具(31)，所述清洗箱(3)左侧外壁上安装有用于驱动位于左侧的夹具(31)转动的翻转电机(4)，所述清洗箱(3)底部安装有一个可前后移动的导水板(32)，所述导水板(32)上安装有若干个等距分布的高压喷头(33)。

2.如权利要求1所述的可翻转遮覆盖板的高压清洗装置，其特征在于：所述过滤箱(5)通过上升管(51)与导水板(32)顶部左侧的软管(36)连通，所述上升管(51)上安装有水泵一(52)，所述过滤箱(5)顶部安装有与清洗箱(3)底部连通的连接管(54)。

3.如权利要求2所述的可翻转遮覆盖板的高压清洗装置，其特征在于：所述安装板(1)底部对称固定有两个用于将其支撑的支撑板(2)，所述清洗箱(3)顶部设有箱盖(30)。

4.如权利要求3所述的可翻转遮覆盖板的高压清洗装置，其特征在于：所述安装板(1)位于清洗箱(3)右侧固定安装有一个用于存放干净清洗液的存放箱(6)，所述存放箱(6)通过输送管(61)与导水板(32)顶部右侧的软管(36)连通，所述输送管(61)上安装有水泵二(62)，所述存放箱(6)顶部设有密封盖(60)。

5.如权利要求4所述的可翻转遮覆盖板的高压清洗装置，其特征在于：所述导水板(32)左右两端均固定连接有一个驱动板(34)，所述清洗箱(3)内壁靠近底部处对称转动连接有两个分别与两个驱动板(34)螺纹连接的驱动丝杆(35)，所述清洗箱(3)外壁上对称安装有两个分别用于驱动两个驱动丝杆(35)转动的驱动电机(7)。

6.如权利要求5所述的可翻转遮覆盖板的高压清洗装置，其特征在于：所述夹具(31)包括l形安装架(310)，所述l形安装架(310)上转动连接有一个调节丝杆(314)，调节丝杆(314)上螺纹连接有一个左侧外壁与l形安装架(310)紧密贴合的活动板(311)，所述l形安装架(310)侧壁中心处固定连接有一个转轴(316)，所述转轴(316)与清洗箱(3)转动连接，且位于左侧的所述转轴(316)与翻转电机(4)的输出轴同轴固定。

7.如权利要求6所述的可翻转遮覆盖板的高压清洗装置，其特征在于：所述活动板(311)与l形安装架(310)贴合的一侧外壁上一体成型有一个限位滑块(313)，所述l形安装架(310)内壁上开设有与限位滑块(313)滑动连接的限位槽(312)。

技术总结本技术涉及清洗设备技术领域，具体为可翻转遮覆盖板的高压清洗装置，包括安装板以及固定在安装板上的清洗箱，所述安装板底部固定安装有用于回收清洗箱内清洗液的过滤箱，所述过滤箱内固定安装有若干个平行设置的过滤网，且若干个过滤网从上往下网孔孔径逐渐减小，所述安装板左右两侧内壁上均转动安装有一个用于对遮覆盖板进行夹持的夹具；本技术通过设置的过滤箱可以对清洗箱内的喷淋后的清洗液进行过滤后再利用，可以有效节省清洗液的使用量，同时设置可以由翻转电机驱动翻转的夹具，可以将夹持在夹具上的遮覆盖板进行翻面操作，提高了在清洗时的便利性。技术研发人员：苏洲戎受保护的技术使用者：东莞市世平光电科技有限公司技术研发日：20231116技术公布日：2024/7/23