一种水冷散热装置的制作方法

本发明涉及散热设备，具体为一种水冷散热装置。

背景技术：

1、pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition)设备是指等离子体增强化学的气相沉积设备，是太阳能光伏生产过程中常用的设备，其生产过程中腔体内的温度非常高，当生产过程中打开腔体阀门时，会有喷射出高温气体，高温气体的温度可达500℃，而大量高温气体会烧灼周围器件，因此需要在生产设备的炉口安装散热装置，使得散发的气体经过散热装置能快速降温，用以保护其他器件。但是现有技术中的散热装置其散热效果差，使得即使安装散热装置，也无法对喷射出来的高温气体进行快速有效的降温，仍会对周围器件造成损伤。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中的散热装置散热效果差，无法快速有效地对喷射出来的高温气体进行有效地散热而导致对周围器件造成损伤的问题，本发明提供一种水冷散热装置，其通过多个冷却水道和散热件相互配合，能够快速有效地对高温气体进行散热，大大提高其散热效果。

2、为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种水冷散热装置，包括管道一、冷却管道以及散热件，所述管道一内设有隔板，所述隔板适于将所述管道一隔成进水区和出水区，所述进水区适于通入冷却水，所述出水区适于对冷却后的水排出；所述冷却管道的数量为多个，多个所述冷却管道从上至下依次排列，各个所述冷却管道的一端分别连通所述管道一，各个所述冷却管道的另一端相互连通，所述进水区的冷却水得以进入所述冷却管道，所述冷却管道内冷却后的水通过所述出水区排出；相邻两个所述冷却管道之间设有间隙，所述散热件安装于所述间隙内，所述散热件用于吸收外界热量，所述冷却管道内的冷却水得以对所述散热件吸收的热量进行散热。

3、作为上述方案的进一步改进，所述水冷散热装置还包括管道二，所述管道二设置于所述冷却管道远离所述管道一的一侧，各个所述冷却管道远离所述管道一的一端通过所述管道二相互连通，所述管道一、多个所述冷却管道以及所述管道二形成冷却回路。

4、作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道包括多个冷却管道一和多个冷却管道二，多个所述冷却管道二均设置于多个所述冷却管道一的一侧，各个所述冷却管道一上分别设有进水口一以及出水口一，多个所述进水口一分别连通所述进水区，多个所述出水口一分别连通所述管道二，所述冷却管道一适于将所述进水区的冷却水输送至所述管道二内，各个所述冷却管道二上分别设有进水口二以及出水口二，多个所述进水口二分别连通所述管道二，多个所述出水口二分别连通所述出水区，所述冷区管道二适于将所述管道二的水输送至所述出水区。

5、作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道一的数量和所述冷却管道二的数量相同。

6、作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道为矩形结构。

7、作为上述方案的进一步改进，所述管道一上设有进水管和出水管，所述进水管连通所述进水区，所述出水管连通所述出水区，所述进水管和所述出水管的管径均小于所述管道一的管径。

8、作为上述方案的进一步改进，所述散热件由多个散热片依次连接形成。

9、作为上述方案的进一步改进，所述散热片呈“几”字形结构。

10、作为上述方案的进一步改进，所述水冷散热装置还包括两个支撑板，两个所述支撑板分设于所述冷却管道的上下两端，所述支撑板的一端连接所述管道一，所述支撑板的另一端连接所述管道二。

11、作为上述方案的进一步改进，所述支撑板为中空结构。

12、进一步地，各个所述支撑板上均设有多个安装孔，多个所述安装孔间隔地设置于所述支撑板上。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

14、(1)本发明通过在相邻两个冷却管道之间设置散热件，每个散热件都能够及时地对炉口的高温气体的热量进行吸收。同时散热件两侧的冷却管道内的冷却液也能够快速地与高温散热件进行热量交换，从而实现对高温气体进行快速散热的目的，实现快速有效的降温，避免高温气体对周围器件造成损伤的情况发生。

15、(2)通过设置多个散热件，能够增大散热件与炉口高温气体的接触面积，从而能够实现对高温气体进行快速吸热。同时配合两侧的冷却管道，能够对散热件上的热量进行散热，大大提高其散热效果。

16、(3)本发明通过将散热件设置为“几”字形结构，能够增大单位面积内散热件与高温气体的接触面积，从而提高散热件吸收高温气体的效率。同时“几”字形结构地散热件的上端能够与上端的冷却管道接触，下端也能与下端的冷却管道接触，能够快速地将其吸收的热量传递给冷却管道。冷却管道通过冷却液将热量带走，从而实现对散热件进行散热的目的。散热后的散热件又能重新吸收炉口的高温气体，从而实现循环散热的目的。

17、(4)本发明通过多个冷却管道的一端连接管道一，多个冷却管道的另一端连接管道二而形成冷却回路，能够有效地简化整个水冷散热装置的结构，降低其整体质量。

18、(5)本发明通过在管道一内设置隔板，隔板能够将管道一分隔成进水区和出水区，使得管道一既能作为进水区，又能作为出水区，大大简化整个水冷散热装置的结构。

19、(6)本发明通过设置支撑板，且支撑板为中空结构，在实际安装过程中可降低整个水冷散热装置的整体质量的同时也能通过支撑板对水冷散热装置进行安装。

技术特征：

1.一种水冷散热装置，其特征在于，其包括：

2.如权利要求1所述的水冷散热装置，其特征在于，其还包括管道二(4)，所述管道二(4)设置于所述冷却管道(2)远离所述管道一(1)的一侧，各个所述冷却管道(2)远离所述管道一(1)的一端通过所述管道二(4)相互连通；所述管道一(1)、多个所述冷却管道(2)以及所述管道二(4)形成冷却回路。

3.如权利要求2所述的水冷散热装置，其特征在于，所述冷却管道(2)包括多个冷却管道一(22)和多个冷却管道二(23)，多个所述冷却管道二(23)均设置于多个所述冷却管道一(22)的一侧；各个所述冷却管道一(22)的两端分别设有进水口一(221)以及出水口一(222)，多个所述进水口一(221)分别连通所述进水区(12)，多个所述出水口一(222)分别连通所述管道二(4)，所述冷却管道一(22)适于将所述进水区(12)的冷却水输送至所述管道二(4)内；各个所述冷却管道二(23)的两端分别设有进水口二(231)以及出水口二(232)，多个所述进水口二(231)分别连通所述管道二(4)，多个所述出水口二(232)分别连通所述出水区(13)，所述冷却管道二(23)适于将所述管道二(4)的水输送至所述出水区(13)。

4.如权利要求3所述的水冷散热装置，其特征在于，所述冷却管道一(22)的数量和所述冷却管道二(23)的数量相同。

5.如权利要求1所述的水冷散热装置，其特征在于，所述冷却管道(2)为矩形结构。

6.如权利要求1所述的水冷散热装置，其特征在于，所述管道一(1)上设有进水管(14)和出水管(15)，所述进水管(14)连通所述进水区(12)，所述出水管(15)连通所述出水区(13)，所述进水管(14)和所述出水管(15)的管径均小于所述管道一(1)的管径。

7.如权利要求1所述的水冷散热装置，其特征在于，所述散热件(3)由多个散热片依次连接形成。

8.如权利要求7所述的水冷散热装置，其特征在于，所述散热片呈“几”字形结构。

9.如权利要求2所述的水冷散热装置，其特征在于，所述水冷散热装置还包括两个支撑板(5)，两个所述支撑板(5)分设于所述冷却管道(2)的上下两端，所述支撑板(5)的一端连接所述管道一(1)，所述支撑板(5)的另一端连接所述管道二(4)。

10.如权利要求9所述的水冷散热装置，其特征在于，所述支撑板(5)为中空结构；和/或，各个所述支撑板(5)上均设有多个安装孔(51)，多个所述安装孔(51)间隔地设置于所述支撑板(5)上。

技术总结本发明公开一种水冷散热装置，包括管道一、冷却管道以及散热件。管道一内设有隔板，隔板适于将管道一隔成进水区和出水区，进水区适于通入冷却水，出水区适于对冷却后的水排出。冷却管道的数量为多个，各个冷却管道的一端分别连通管道一，各个冷却管道的另一端相互连通。进水区的冷却水得以进入冷却管道，冷却管道内冷却后的水通过出水区排出。相邻两个冷却管道之间设有间隙，散热件安装于间隙内，散热件能够及时地对炉口的高温气体的热量进行吸收。同时每个散热件两侧的冷却管道内的冷却液也能够快速地与高温散热件进行热量交换，从而实现对高温气体进行快速散热，避免高温气体对周围器件造成损伤的情况发生。技术研发人员：张进,吴涛受保护的技术使用者：中导半导体（合肥）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/27