一种半导体大硅片制造用等静压石墨胚体的缓慢冷却设备的制作方法

本发明涉及冷却设备，具体是涉及一种半导体大硅片制造用等静压石墨胚体的缓慢冷却设备。

背景技术：

1、半导体大硅片是一种由硅原料制成的半导体材料，它是由硅原料经过特殊的加工制成的，主要用于制造电子元件，如晶体管、集成电路等，它的特点是可以把小型的电子元件集成在一起，可以实现低成本、高效率的电子元件制造，它具有高强度，高导热性和高电导率，而且可以在环境温度范围内稳定使用，它也可以用于制造涂层，以提高物体的耐磨性和耐腐蚀性；等静压石墨由高纯石墨压制而成，等静压石墨是国际上近50年来发展起来的新产品，与当今高科技紧密相联，不仅在民用上大有作为，在国防尖端上占有重要地位，属新型材料，令人瞩目，它是制造单晶炉、金属连铸石墨结晶器、电火花加工用石墨电极等不可替代的材料，更是制造火箭喷嘴、石墨反应堆的减速材料和反射材料的绝好材料。

2、等静压石墨生产完成后需要降温处理，公告号为cn109059417b的一种等静压石墨胚体缓慢冷却装置，包括装置本体，所述装置本体的一侧内壁上固定安装有第一电机，第一电机的输出轴通过联轴器固定安装有第一转动轴，第一转动轴的一端固定安装有第一转动块，第一转动块的顶侧沿竖直方向开设有第一转动孔，第一转动孔内活动安装有第一转动杆，第一转动杆的两端均延伸至第一转动孔外。本发明结构简单，可以使得滑动块能够来回移动从而带动固定在其底侧的喷水头能够来回移动喷水，同时通过第一安装架和第二安装架对胚体本体进行转动，从而使得其能够均匀的被喷水冷却，既节约了用水，又能够对胚体本体进行均匀的降温，使得冷却装置使用起来更加的便捷，满足了人们的需求。

3、上述发明所采用的冷却方式是单纯的喷水降温处理，但是此种方式在石墨温度较高时直接喷淋会导致温差较大，进而导致石墨快速冷却，无法实现缓慢冷却的需求，导致等静压石墨降温时产生裂痕，进而影响产品质量。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种半导体大硅片制造用等静压石墨胚体的缓慢冷却设备。

2、为解决现有技术问题，本发明采用的技术方案为：

3、本发明提供了一种半导体大硅片制造用等静压石墨胚体的缓慢冷却设备，包括有箱体、输送机构、降温机构、水平推送机构和旋转驱动机构，输送机构包括有传送带和夹持组件，传送带竖直安装在箱体内部，夹持组件设有若干组，若干组夹持组件均匀安装在传送带上，箱体内设有第一分隔室、第二分隔室、接水箱、降温水箱和箱门，箱门位于箱体的一侧侧壁上，第一分隔室和第二分隔室位于传送带远离箱门的一侧，第一分隔室位于第二分隔室的正上方，接水箱固定安装在箱体上，接水箱位于第二分隔室的正下方，降温水箱安装在传送带的正下方，降温机构包括有第一降温组件、第二降温组件和第三降温组件，第一降温组件位于第一分隔室内，第二降温组件位于第二分隔室内，第三降温组件位于箱体的底部，水平推送机构包括水平滑动设置在箱体内部的竖直推送板，竖直推送板位于传送带远离箱门的一侧，旋转驱动机构安装在竖直推送板上，旋转驱动机构包括有能够旋转的驱动齿轮，夹持组件上设有从动齿轮和用于夹持石墨胚体的夹持板，从动齿轮与夹持板固定连接，从动齿轮能够与驱动齿轮啮合，接水箱上设有排水管，降温水箱上安装有进水管。

4、优选的，第一降温组件包括有喷气通道和第一吸气通道，喷气通道水平固定安装在竖直推送板上，喷气通道的输出方向水平指向传送带，第一吸气通道水平固定安装在第一分隔室的顶端，降温机构还包括有气箱，气箱竖直固定安装在箱体的外侧壁上，第一吸气通道与气箱连通，喷气通道和第一吸气通道的长度方向均与箱体的宽度方向一致。

5、优选的，第二降温组件包括有雾化喷水通道、第一连通水管、第一电磁阀和第二吸气通道，雾化喷水通道水平固定安装在竖直推送板上，雾化喷水通道的输出方向水平指向传送带，第二吸气通道水平固定安装在第二分隔室的顶端，雾化喷水通道和第二吸气通道的长度方向均与箱体的宽度方向一致，第一连通水管的一端与雾化喷水通道连通，第一连通水管的另一端与接水箱连通，第一电磁阀安装在第一连通水管。

6、优选的，降温机构还包括有节能组件，节能组件包括有第二连接水管、第二电磁阀、换热管和温度传感器，第二连接水管的一端与接水箱连通，第二连接水管的另一端与降温水箱连通，第二电磁阀安装在第二连接水管上，第二连接水管为波纹管，温度传感器设有两个，两个温度传感器分别位于降温水箱和接水箱内，换热管设置在接水箱内，换热管的进气口和出气口均与气箱连通。

7、优选的，第三降温组件包括有限位板、水平导轨、第一滑动块、第二滑动块、连接杆、竖直传动板和铰接杆，限位板竖直固定安装在降温水箱的外侧壁上，箱体的内侧壁上设有与限位板配合的竖直限位槽，水平导轨水平固定安装在箱体的底端，第一滑动块和第二滑动块均能够滑动的设置在水平导轨上，第一滑动块通过连接杆与第二滑动块固定连接，第一滑动块设置在第二滑动块远离传送带的一侧，竖直传动板的顶端与竖直推送板固定连接，竖直传动板的底端与第一滑动块固定连接，铰接杆的一端与第二滑动块铰接，铰接杆的另一端与降温水箱的侧壁底部铰接。

8、优选的，接水箱和降温水箱内部均设有加速混合组件，加速混合组件包括有第三转轴和螺旋桨，第三转轴竖直转动设置在接水箱或降温水箱内，螺旋桨固定安装在第三转轴上。

9、优选的，接水箱和降温水箱由水平板和滑动隔板构成，接水箱和降温水箱的上下两端均为水平板，水平板上设有用于避让夹持组件的避让缺口，滑动隔板水平滑动设置在水平板上，滑动隔板用于遮挡水平板的避让缺口，滑动隔板与竖直推送板固定连接，降温水箱下方的水平板上部安装滑动隔板。

10、优选的，夹持组件还包括有第一水平安装板，第一水平安装板水平固定安装在传送带上，第一水平安装板的长度方向与箱体的宽度方向一致，夹持组件还包括有均设有两组且沿着第一水平安装板竖直中心面对称设置的弹簧、第二水平安装板、第一转轴和把手，第一水平安装板上沿着第一水平安装板的长度方向设置有水平滑槽，第二水平安装板水平滑动设置在水平滑槽内，弹簧设置在水平滑槽内，弹簧的一端与水平滑槽的侧壁固定连接，弹簧的另一端与第二水平安装板的侧壁固定连接，第一转轴水平安装在第二水平安装板上，夹持板固定安装在第二水平安装板的一端，从动齿轮固定安装在第二水平安装板远离夹持板的一端，把手固定安装在第二水平安装板远离第一水平安装板的一端。

11、优选的，水平推送机构还包括有直线驱动器和水平限位杆，直线驱动器水平固定安装在箱体的外侧壁上，直线驱动器的输出端与竖直推送板固定连接，水平限位杆水平设置，水平限位杆的长度方向与箱体的长度方向一致，水平限位杆的一端与竖直推送板固定连接，水平限位杆的另一端与箱体滑动连接。

12、优选的，旋转驱动机构还包括有安装架、旋转驱动器、减速器、第二转轴、第一同步带和第二同步带，安装架固定安装在水平限位杆靠近传送带的一侧，驱动齿轮转动设置在安装架上，第二转轴水平安装在竖直推送板远离传送带的一侧，第二转轴的长度方向与箱体的宽度方向一致，旋转驱动器和减速器均固定安装在安装架上，旋转驱动器的输出端与减速器的输入端连接，减速器的输出端与第二转轴固定连接，接水箱和降温水箱内均设有安装架和驱动齿轮，第二转轴设有两个且分别位于接水箱和降温水箱外侧，两个第二转轴之间通过第二同步带传动连接，第二转轴和驱动齿轮通过第一同步带传动连接。

13、本发明相比较于现有技术的有益效果是：

14、1. 本发明能够对石墨胚体进行分段冷却，根据石墨胚体冷却的进度调整对应的冷却方式，实现缓慢冷却的效果，避免冷却速度过快导致石墨胚体开裂，并且能够实现均匀降温，提高冷却效果。

15、2. 第二连接水管不断将降温水箱中的水导入至接水箱内，通过换热管将气箱中的高温气体导入至接水箱内部，在接水箱内进行热量交换，对接水箱内的水进行加热，而换热管中的热气来源为与第一吸气通道中收集的热空气以及温度传感器中收集的热蒸汽进行热量交换产生，从而提高了能量的循环利用，能够实现缓慢降温的效果。

16、3. 旋转驱动器通过减速器带动与之连接的第二转轴旋转，第二转轴通过第二同步带带动另一个第二转轴同步旋转，第二转轴通过第一同步带带动安装在安装架上的驱动齿轮转动，从而实现了对竖直推送板旋转的驱动功能，竖直推送板在转动时带动石墨胚体同步旋转，石墨胚体在初步冷却和喷淋冷却时不断转动，使得冷却更加均匀。