一种石英腔体的降温装置的制作方法

本申请涉及石英腔体降温，尤其是涉及一种石英腔体的降温装置。

背景技术：

1、等离子体石英腔是一种石英材料制成的封闭腔室，内部常常充满等离子体气体。等离子体是一种高温、高密度的气体，由带正电荷的离子和带负电荷的电子组成，具有导电性能。这种石英腔可以用于等离子体物理研究、等离子体加工技术以及材料表面改性等领域。而利用石英腔体在进行等离子体物理研究、等离子体加工技术以及材料表面改性等操作时，其内部将会产生大量的热量。因此需要利用降温装置对石英腔体进行降温，从而保证其工作效果。

2、但是，传统的石英腔体在实际的应用过程中，都是使用空气对流的方式来降低石英腔体的温度的，而由于传统的降温装置中缺乏对空气进行降温的设备，导致进入石英腔体内部的空气仍然为室温，从而使得对流降温的效果大打折扣，并且传统的对于石英腔体的降温操作过于单一，只有空气对流这一种方式，进而使得降温手段单一，进一步的降低了降温的效果，不利于实际的应用与操作.因此，本领域技术人员提供一种石英腔体的降温装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现思路

1、本申请的其中一个目的在于提供一种石英腔体的降温装置。

2、为达到以上目的，本申请采用的技术方案为：一种石英腔体的降温装置，包括底板、第一l型板、第二l型板和石英腔体本体，所述第一l型板和第二l型板分别通过螺钉安装在底板顶部的两端，所述石英腔体本体安装在第一l型板和第二l型板之间，所述底板的顶部且位于第一l型板与第二l型板之间安装有蓄水盒，所述蓄水盒的内部盛放有水；

3、所述石英腔体本体的一端且位于第二l型板的一侧设置有风冷组件，所述底板的顶部且位于蓄水盒的一侧设置有抽吸组件，所述第一l型板与第二l型板的顶部之间设置有喷淋组件，所述喷淋组件在石英腔体本体的上方进行左右往复运动，所述第一l型板的一侧设置有传动组件；

4、所述风冷组件用于对空气进行降温处理，并将经过降温处理之后的空气输送至石英腔体本体的内部，所述传动组件用于配合喷淋组件的左右往复运动带动抽吸组件进行运作，所述抽吸组件用于将蓄水盒内部的水反复输送至喷淋组件的内部。

5、优选的，所述风冷组件包括散热筒、半导体制冷片、冷凝片、散热片、挡板、进风槽、吹风扇和回水管；

6、所述散热筒安装在石英腔体本体靠近第二l型板的一端上，所述半导体制冷片等距安装在散热筒的内部，所述冷凝片安装在半导体制冷片位于散热筒内部的一侧上，所述散热片安装在半导体制冷片位于散热筒外部的一侧上，所述挡板固定连接在散热筒远离石英腔体本体的一端上，所述进风槽开设在挡板的外侧，所述吹风扇安装在挡板的外侧且位于进风槽的外侧，所述回水管安装在散热筒的底部，所述回水管远离散热筒的一端贯穿第二l型板且延伸至蓄水盒的内部。

7、优选的，所述抽吸组件包括抽吸盒、抽吸管、活塞板、连接杆、移动板、弹簧和输送管；

8、所述抽吸盒固定在底板的顶部且位于蓄水盒的一侧，所述抽吸管安装在抽吸盒的一侧，所述抽吸管远离抽吸盒的一端延伸至蓄水盒的内部，所述活塞板在抽吸盒的内部滑动，所述连接杆固定连接在活塞板远离抽吸管的一侧上，所述连接杆远离活塞板的一端延伸至抽吸盒的外侧，所述移动板固定在连接杆远离活塞板的一端上，所述弹簧套设在连接杆的外侧且位于移动板与抽吸盒之间，所述输送管安装在抽吸盒的一侧且位于抽吸管的下方，所述抽吸管的内部与输送管的内部均安装有单向阀。

9、优选的，所述喷淋组件包括滑杆、往复丝杆、电机、移动块、导流槽、喷淋管、连接管和波纹管；

10、所述滑杆安装在第一l型板与第二l型板的顶部之间，所述往复丝杆转动连接在第一l型板与第二l型板的顶部之间，所述电机安装在第二l型板的外侧，所述电机的输出轴贯穿第二l型板与往复丝杆的一端固定连接，所述移动块在往复丝杆的外侧螺纹连接，所述移动块远离往复丝杆的一端与滑杆滑动连接，所述导流槽开设在移动块的内部，所述喷淋管等距安装在移动块的底部，所述连接管安装在移动块的顶部，所述波纹管安装在连接管与输送管之间。

11、优选的，所述传动组件包括蜗杆、第一固定板、转动轴、蜗轮、第一锥齿轮、第二固定板、转动杆、第二锥齿轮和凸轮；

12、所述蜗杆转动连接在第一l型板的外侧，所述蜗杆的一端贯穿第一l型板且与往复丝杆的一端固定连接，所述第一固定板与第二固定板均安装在第一l型板的外侧，且所述第一固定板位于第二固定板的上方，所述转动轴转动连接在第一固定板的外侧，所述转动轴靠近蜗杆的一端安装有蜗轮，所述蜗轮与蜗杆啮合连接，所述第一锥齿轮安装在转动轴远离蜗轮的一端上，所述转动杆转动连接在第二固定板的外侧，所述第二锥齿轮固定连接在转动杆的顶部，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接，所述凸轮安装在转动杆的底部，所述凸轮的外侧与移动板的外侧相抵触。

13、优选的，所述蓄水盒的内部安装有过滤板，所述回水管远离散热筒的一端与抽吸管远离抽吸盒的一端均贯穿过滤板，所述蓄水盒远离抽吸盒的一侧安装有排水管，所述回水管的外侧与排水管的顶部均安装有阀门。

14、优选的，所述石英腔体本体靠近第一l型板的一端转动连接有密封盖，所述密封盖用于对石英腔体本体的一端进行密封。

15、优选的，所述石英腔体本体的顶部且位于第一l型板的一侧安装有出风管，所述出风管的内部安装有过滤网。

16、优选的，所述散热筒的内径大于石英腔体本体的内径。

17、优选的，所述第一l型板的外侧安装有控制面板，所述半导体制冷片、吹风扇和电机均与控制面板电性连接。

18、与现有技术相比，本申请的有益效果在于：

19、(1)通过在石英腔体本体的一侧设置风冷组件，利用风冷组件能够对处于室温状态下的空气进行降温处理，使其进入石英腔体本体内部之后的初始温度低于室温，从而利用对流的冷空气带走石英腔体本体内部在工作时产生的热量，进而避免了传统操作中利用室温的空气进行降温处理的方式，进一步的提高了设备对石英腔体本体的降温效果，有利于实际的应用与操作。

20、(2)通过在石英腔体本体的顶部设置能够进行往复运动的喷淋组件，利用喷淋组件的往复运动能够均匀的对石英腔体本体的顶部进行喷淋降温，利用水来带走石英腔体本体外侧表面的温度，从而进一步的增加了对石英腔体本体的降温处理效果。

21、(3)通过设置传动组件配合能够进行往复运动的喷淋组件，进而能够在喷淋组件进行往复运动的同时带动抽吸组件进行运作，从而通过抽吸组件将蓄水盒内部的水源源不断的送入喷淋组件，保证喷淋组件能够持续的运行，同时经过喷淋组件喷淋之后的水能够再次进入蓄水盒的内部进行回收使用，能够对水资源进行重复利用，同时还避免了水资源的浪费。。

技术特征：

1.一种石英腔体的降温装置，其特征在于，包括：包括底板(1)、第一l型板(2)、第二l型板(3)和石英腔体本体(4)，所述第一l型板(2)和第二l型板(3)分别通过螺钉安装在底板(1)顶部的两端，所述石英腔体本体(4)安装在第一l型板(2)和第二l型板(3)之间，其特征在于，所述底板(1)的顶部且位于第一l型板(2)与第二l型板(3)之间安装有蓄水盒(5)，所述蓄水盒(5)的内部盛放有水；

2.根据权利要求1所述的石英腔体的降温装置，其特征在于：所述风冷组件包括散热筒(6)、半导体制冷片(7)、冷凝片(8)、散热片(9)、挡板(10)、进风槽(11)、吹风扇(12)和回水管(13)；

3.根据权利要求2所述的石英腔体的降温装置，其特征在于：所述抽吸组件包括抽吸盒(14)、抽吸管(15)、活塞板(16)、连接杆(17)、移动板(18)、弹簧(19)和输送管(20)；

4.根据权利要求3所述的石英腔体的降温装置，其特征在于：所述喷淋组件包括滑杆(21)、往复丝杆(22)、电机(23)、移动块(24)、导流槽(25)、喷淋管(26)、连接管(27)和波纹管(28)；

5.根据权利要求4所述的石英腔体的降温装置，其特征在于：所述传动组件包括蜗杆(29)、第一固定板(30)、转动轴(31)、蜗轮(32)、第一锥齿轮(33)、第二固定板(34)、转动杆(35)、第二锥齿轮(36)和凸轮(37)；

6.根据权利要求3所述的石英腔体的降温装置，其特征在于：所述蓄水盒(5)的内部安装有过滤板(38)，所述回水管(13)远离散热筒(6)的一端与抽吸管(15)远离抽吸盒(14)的一端均贯穿过滤板(38)，所述蓄水盒(5)远离抽吸盒(14)的一侧安装有排水管(40)，所述回水管(13)的外侧与排水管(40)的顶部均安装有阀门。

7.根据权利要求1所述的石英腔体的降温装置，其特征在于：所述石英腔体本体(4)靠近第一l型板(2)的一端转动连接有密封盖(39)，所述密封盖(39)用于对石英腔体本体(4)的一端进行密封。

8.根据权利要求1所述的石英腔体的降温装置，其特征在于：所述石英腔体本体(4)的顶部且位于第一l型板(2)的一侧安装有出风管(41)，所述出风管(41)的内部安装有过滤网。

9.根据权利要求2所述的石英腔体的降温装置，其特征在于：所述散热筒(6)的内径大于石英腔体本体(4)的内径。

10.根据权利要求4所述的石英腔体的降温装置，其特征在于：所述第一l型板(2)的外侧安装有控制面板(42)，所述半导体制冷片(7)、吹风扇(12)和电机(23)均与控制面板(42)电性连接。

技术总结本申请属于石英腔体降温技术领域，公开了一种石英腔体的降温装置，包括：底板、第一L型板、第二L型板和石英腔体本体，第一L型板和第二L型板分别通过螺钉安装在底板顶部的两端，石英腔体本体安装在第一L型板和第二L型板之间。本申请通过在石英腔体本体的一侧设置风冷组件，利用风冷组件能够对处于室温状态下的空气进行降温处理，使其进入石英腔体本体内部之后的初始温度低于室温，从而利用对流的冷空气带走石英腔体本体内部在工作时产生的热量，进而避免了传统操作中利用室温的空气进行降温处理的方式，进一步的提高了设备对石英腔体本体的降温效果，有利于实际的应用与操作。技术研发人员：李毅,郑成功,彭柱受保护的技术使用者：芯纳百川（无锡）半导体科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/30