用于在热负荷快速变化的条件下控制制冷回路膨胀阀流量和压缩机转速的系统和方法与流程

当前公开的实施方案大体上涉及用于保持被测器件的设定点温度的系统和方法，更具体地，涉及用于在热负荷快速变化的条件下控制制冷回路膨胀阀流量和压缩机转速的系统和方法。

背景技术：

1、诸如集成电路(ic)的电子器件可能需要经过各种形式的测试，以确保器件在期望的运行条件(例如，一系列环境温度条件)下以预期方式运行的可靠性、适用性和能力。此类测试可以包括控制被测器件(dut)的温度条件，以覆盖期望的或设计的环境温度的范围。已经开发了各种装置和方法以控制dut的温度，从而模拟dut的设计的环境温度条件。

2、热控制单元(thermal control unit，tcu)是下述装置的示例，该装置用于在dut放置于tcu的测试头时，在dut的表面或dut的内部保持受控传感器温度的设定点温度。受控传感器温度受tcu的测试头的表面温度的影响。在dut(其热传导地连接至tcu测试头)产生未知且快速变化的热量的情况下必须保持受控传感器温度。

3、在具体的实施方案中，tcu可以具有制冷系统，所述制冷系统具有可变的膨胀阀和可变的压缩机转速。为了控制膨胀阀流量和压缩机转速，当膨胀阀和压缩机的一者或两者支持可变控制时，典型的制冷系统可以使用制冷回路中的传感器作为对阀控制器和压缩机控制器的反馈。在以控制dut(该dut经历快速且较大的发热量变化(tcu的热负荷变化))的温度为目标的系统中，利用制冷回路中的传感器作为对控制器的唯一反馈会导致制冷子系统的冷却性能发生相对缓慢但稳定的变化。这种典型的制冷控制响应导致控制dut温度的整体系统目标在对dut中的动态热负荷变化的响应速度方面受到限制。因此，需要对此类系统进行改进。

技术实现思路

1、根据本发明的实施方案，描述了一种混合控制器，其利用来自独立的热注入控制回路的信息作为用于dut测试头负荷的相对变化的快速响应代替物。该信息为制冷子系统的控制器提供额外的反馈，从而在较宽范围的设定点温度且dut头负荷快速变化的情况下，实现对dut进行温度控制的整体系统目标。

2、正如下面将进一步解释的那样，使用额外的制冷子系统反馈可以用于在制冷控制中产生异常快速的变化，作为对dut热负荷快速变化的响应。对于dut热负荷的类似相对变化，这种控制响应可以是有界的且一致的，并且在净冷却与净加热条件之间切换也可以无缝地运行而没有特殊情况。与传统系统相比，在本发明中描述的混合控制器可以始终提供更低的生产成本、更低的系统复杂性和更高的性能，同时消除了减损现场预防性维护的需求。

技术特征：

1.一种用于控制被测器件的温度的设备，所述设备包括：

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述制冷子系统包括压缩机转速控制器，所述压缩机转速控制器配置为基于热注入信号与标称加热器注入信号相比的偏差，控制压缩机的转速。

技术总结描述了一种用于热控制单元的混合控制器，所述热控制单元用于控制被测器件(DUT)的温度，所述混合控制器利用来自独立的热注入控制回路的信息作为用于DUT测试头负荷的相对变化的快速响应代替物。该信息为制冷子系统的控制器提供额外的反馈，从而在较宽范围的设定点温度且DUT头负荷快速变化的情况下，实现对DUT进行温度控制的整体系统目标。技术研发人员：E·察尔受保护的技术使用者：LTI控股公司技术研发日：技术公布日：2024/6/30