一种水冷型真空腔体的制作方法

本技术涉及真空设备，具体为一种水冷型真空腔体。

背景技术：

1、真空腔体是保持内部为真空状态的容器，不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料，真空腔体常被用在半导体制件的器件生产制造的蒸发、溅射、pecvd、干法刻蚀等过程中。

2、在申请号为cn212322957u的中国专利中公开了一种真空密封腔体工件，包括腔室，所述腔室的内部设置有工作部件，所述腔室的外壁一侧设置有进气口，所述腔室的另一侧外壁上设置有真空抽气口，所述腔室的顶部设置有端盖，该真空密封腔体，在真空密封腔体工作时，通过向冷却液入口投入冷却液，冷却液在冷却壳体与腔室之间流动，与被加热的腔室换热，使得热量被利用，观察窗被腔室内部加热蒸发的物质覆盖时，通过转动握扣，带动转动杆转动，从而带动刷板在观察窗上刷动，刮除观察窗上的覆盖物，使得观察效率提高，从而提高工作效率，待真空密封腔体完成工作，通过冷却液的流动，加速腔室的冷却，提高工作效率。

3、上述技术中虽然通过端盖与腔室卡和后，通过腔室门法兰固定连接，导致当加工件无法从进样腔室法兰置于设备内，只能将端盖打开，而每次对腔室门法兰拆卸时，需要将多组螺栓取下，在对端盖进行启闭时均较为麻烦，不够便捷，故在此技术上提出一种水冷型真空腔体。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种水冷型真空腔体，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种水冷型真空腔体，包括密封盖、外壳以及内壳，所述内壳设置于外壳内部，且内壳与外壳之间固定有若干组加强杆，所述内壳左侧套装固定有密封件，所述密封件固定于外壳内壁，所述外壳上侧一体成型有压边，所述压边左下侧的外壳上固定有第二凸块，所述第二凸块内侧转动连接有第一凸块，所述第一凸块内侧转动连接有连接件，所述连接件固定于密封盖左侧，所述密封盖扣合于外壳上且密封盖与压边之间设置有密封圈，所述压边右侧一体成型有下固定块，所述下固定块内活动安装有固定件，所述密封盖右侧一体成型有上固定块，所述固定件上部卡合于上固定块内。

3、作为本技术方案的进一步优选的，所述密封盖下端一体成型有矩形状的阶梯凸起，所述内壳上端对应一体成型有阶梯槽，所述阶梯凸起扣合于阶梯槽内。

4、作为本技术方案的进一步优选的，所述密封圈套装固定于阶梯凸起外侧，所述阶梯凸起下端面低于密封圈的下端面，所述密封圈下端面贴合于压边上端。

5、作为本技术方案的进一步优选的，所述固定件侧视横截面呈工型，所述固定件顶部呈倾斜状设置，所述固定件内上部安装有滚珠，所述固定件内部对应呈倾斜转设置。

6、作为本技术方案的进一步优选的，所述下固定块内部开设有不贯穿的滑槽，所述固定件插接于滑槽内，且固定件与下固定块由磁性相反的磁性材料制备，所述固定件与下固定块磁性连接。

7、作为本技术方案的进一步优选的，所述内壳前侧固定有观察筒，所述观察筒延伸至外壳前侧，所述观察筒内部密封设置有透明窗。

8、作为本技术方案的进一步优选的，所述内壳与外壳之间形成有冷却室，所述外壳左上侧固定有进水管，所述外壳左下侧固定有出水管，所述进水管和出水管均与冷却室相连通，所述内壳左侧固定有进气管，所述进气管延伸至外壳左侧且安装有压力表，所述内壳右侧固定有抽气管，所述抽气管右部延伸至外壳右侧。

9、本实用新型提供了一种水冷型真空腔体，具备以下有益效果：

10、（1）本实用新型通过第一凸块、第二凸块以及连接件的配合，使得密封盖与外壳之间实现转动连接，且由于密封盖下端的阶梯凸起以及内壳上的阶梯槽，可以使得密封盖与内壳扣合，避免密封盖相对于内壳发生偏移，从而影响密封圈的密封效果，利用下固定件内活动的固定件，可以在密封盖关闭后，将固定件推入至固定件和下固定件内，由于固定件上部的倾斜设置，可以在推入过程中，使得密封盖越压越紧，直至固定件被挡住，无法进行移动，最后利用下固定块与固定件磁性连接，实现对固定件定位，从而完成对密封盖的关闭，当需要对密封盖开启时，只需要将固定件从上固定块和下固定块内推出即可，方便人员进行操作。

11、（2）本实用新型通过内壳于外壳之间形成的冷却室，并配合进水管和出水管内对冷却室内循环添加冷却水，可以对工作时产生的热量进行快速散热，以及在进气管上设置的压力表，可以定期对内壳内部进行压力检测，避免长时间使用后焊缝处漏气的情况。

技术特征：

1.一种水冷型真空腔体，包括密封盖（1）、外壳（8）以及内壳（17），其特征在于：所述内壳（17）设置于外壳（8）内部，且内壳（17）与外壳（8）之间固定有若干组加强杆（14），所述内壳（17）左侧套装固定有密封件（11），所述密封件（11）固定于外壳（8）内壁，所述外壳（8）上侧一体成型有压边（7），所述压边（7）左下侧的外壳（8）上固定有第二凸块（6），所述第二凸块（6）内侧转动连接有第一凸块（3），所述第一凸块（3）内侧转动连接有连接件（2），所述连接件（2）固定于密封盖（1）左侧，所述密封盖（1）扣合于外壳（8）上且密封盖（1）与压边（7）之间设置有密封圈（10），所述压边（7）右侧一体成型有下固定块（12），所述下固定块（12）内活动安装有固定件（18），所述密封盖（1）右侧一体成型有上固定块（9），所述固定件（18）上部卡合于上固定块（9）内。

2.根据权利要求1所述的一种水冷型真空腔体，其特征在于：所述密封盖（1）下端一体成型有矩形状的阶梯凸起，所述内壳（17）上端对应一体成型有阶梯槽，所述阶梯凸起扣合于阶梯槽内。

3.根据权利要求1所述的一种水冷型真空腔体，其特征在于：所述密封圈（10）套装固定于阶梯凸起外侧，所述阶梯凸起下端面低于密封圈（10）的下端面，所述密封圈（10）下端面贴合于压边（7）上端。

4.根据权利要求1所述的一种水冷型真空腔体，其特征在于：所述固定件（18）侧视横截面呈工型，所述固定件（18）顶部呈倾斜状设置，所述固定件（18）内上部安装有滚珠，所述固定件（18）内部对应呈倾斜转设置。

5.根据权利要求1所述的一种水冷型真空腔体，其特征在于：所述下固定块（12）内部开设有不贯穿的滑槽，所述固定件（18）插接于滑槽内，且固定件（18）与下固定块（12）由磁性相反的磁性材料制备，所述固定件（18）与下固定块（12）磁性连接。

6.根据权利要求1所述的一种水冷型真空腔体，其特征在于：所述内壳（17）前侧固定有观察筒，所述观察筒延伸至外壳（8）前侧，所述观察筒内部密封设置有透明窗。

7.根据权利要求1所述的一种水冷型真空腔体，其特征在于：所述内壳（17）与外壳（8）之间形成有冷却室，所述外壳（8）左上侧固定有进水管（16），所述外壳（8）左下侧固定有出水管（15），所述进水管（16）和出水管（15）均与冷却室相连通，所述内壳（17）左侧固定有进气管（5），所述进气管（5）延伸至外壳（8）左侧且安装有压力表（4），所述内壳（17）右侧固定有抽气管（13），所述抽气管（13）右部延伸至外壳（8）右侧。

技术总结本技术公开了一种水冷型真空腔体，包括密封盖、外壳以及内壳，所述内壳设置于外壳内部，且内壳与外壳之间固定有若干组加强杆，所述内壳左侧套装固定有密封件，所述密封件固定于外壳内壁，所述外壳上侧一体成型有压边，所述压边左下侧的外壳上固定有第二凸块，所述第二凸块内侧转动连接有第一凸块，所述第一凸块内侧转动连接有连接件，所述连接件固定于密封盖左侧，所述密封盖扣合于外壳上且密封盖与压边之间设置有密封圈，所述压边右侧一体成型有下固定块，所述下固定块内活动安装有固定件，所述密封盖右侧一体成型有上固定块，所述固定件上部卡合于上固定块内，方便对密封盖的启闭，便于对工件取放，同时可以对设备进行检测，及时检修。技术研发人员：周新华,周滢杰,汤中强受保护的技术使用者：江阴爱杰新真空科技有限公司技术研发日：20231012技术公布日：2024/7/11