一种镀膜设备集料组件的制作方法

本申请涉及镀膜设备的，尤其是涉及一种镀膜设备集料组件。

背景技术：

1、真空镀膜设备在工作时，离子轰击靶材表面，使靶料沉积到工件上，在此过程中，会有少量的靶料无法作用于工件表面，该部分靶料附着在容器的内壁，造成材料的浪费。为解决该问题，相关技术中提出在容器的内壁上安装内衬板，原先未能沉积在工件表面的靶料部分附着于内衬板上，通过定期将内衬板从容器内取下，采用特殊处理方式能够将内衬板上的靶料回收，避免浪费。

2、相关技术存在的问题是，内衬板与容器之间一般采用螺纹连接的方式，通过在容器内壁和内衬板上对应开设螺纹孔，在螺纹孔内拧入紧固螺丝，完成内衬板的固定，而为了保证内衬板固定效果，紧固螺丝会设置有多组，在对内衬板上的材料进行回收时，需要将紧固螺丝一一拧下取出内衬板，回收完毕后又要将内衬板装入，费时费力。

技术实现思路

1、为了方便对内衬板上的靶料进行回收，本申请提供一种镀膜设备集料组件。

2、本申请提供的一种镀膜设备集料组件采用如下的技术方案：

3、一种镀膜设备集料组件，包括镀膜炉，所述镀膜炉的一侧连接有炉门，所述炉门内侧安装有内衬板，所述内衬板朝向镀膜炉内的一面为附着面，所述内衬板与炉门可拆卸连接，所述炉门的内侧设置有刮料机构，所述刮料机构包括刮板和驱动组件，所述刮板沿内衬板的长度方向延伸，并且一端抵接于附着面上，所述驱动组件设置于刮板的两侧，用于带动刮板沿内衬板的高度方向移动，所述内衬板的下方设置有料盒，所述内衬板的正投影落在料盒上。

4、通过采用上述技术方案，在镀膜时靶材被轰击，大部分靶料沉积在工件表面形成薄膜，少部分靶料附着在内衬板上，驱动组件带动刮板沿内衬板表面从上往下移动，将内衬板表面附着的靶料刮下，刮板移动至最低处时靶料回收到料盒内。

5、可选的，所述内衬板与炉门之间预留有间隙，所述间隙内设置有相互配合的定位套筒和定位柱，所述定位套筒一体式形成于炉门朝向内衬板的一面，所述定位柱一体式形成于内衬板朝向炉门的一面。

6、通过采用上述技术方案，定位套筒和定位柱的配合设置，可以在安装内衬板时对其位置进行限定和引导。

7、可选的，所述间隙内还设置有弹簧，所述弹簧水平延伸，一端与炉门抵接，另一端与内衬板抵接。

8、通过采用上述技术方案，当内衬板固定于炉门上时，弹簧压缩，在拆卸内衬板时，解除内衬板和炉门的连接，弹簧恢复形变带动内衬板向远离炉门方向移动，使内衬板与炉门错位，方便取下。

9、可选的，所述内衬板的两侧分别设置有沿其长度方向延伸的连接部，两所述连接部置于间隙内，所述连接部上开设有卡槽，所述炉门上设置有与卡槽相配合的卡扣。

10、通过采用上述技术方案，卡扣和卡槽的配合设置用于将内衬板固定于炉门上，不需要开设螺孔和拧入紧固螺丝，提高了内衬板的拆装效率。

11、可选的，所述驱动组件设置有两组，两组所述驱动组件均安装于镀膜炉内部靠近炉门的一侧，两组所述驱动组件分别为丝杠螺母组件，所述丝杠螺母组件和刮板之间设置有传动件。

12、通过采用上述技术方案，工作时丝杠转动，带动相配合的螺母沿丝杠移动，传动件与螺母连接，当螺母移动时通过传动件带动刮板移动，将内衬板上的靶料刮下。

13、可选的，所述镀膜炉内设置有两个防护罩，两组所述丝杠螺母组件分别容置于两个防护罩内，两个所述防护罩相对的一面开设有滑槽，所述滑槽沿内衬板的高度方向延伸，所述传动件部分设置于滑槽内。

14、通过采用上述技术方案，防护罩将丝杠螺母组件与镀膜炉内部空间分隔，对丝杠螺母组件进行保护，传动件部分置于滑槽内，能够相对于防护罩滑动，当丝杠螺母组件具有的螺母移动时，带动传动件在滑槽内移动。

15、可选的，所述炉门的下端形成容置腔，所述料盒嵌装于容置腔内，所述料盒的底部设置有底板，所述底板与炉门卡接。

16、通过采用上述技术方案，不需要打开炉门，从炉门下方对料盒施加外力，使底板与炉门解除卡接状态，即可将料盒取下，方便快捷。

17、可选的，所述料盒的一侧内壁与内衬板的附着面平齐，所述料盒靠近内衬板的一侧开设有穿孔，所述穿孔可供刮板部分通过，所述穿孔内设置有软毛刷，所述软毛刷一端固定于料盒内，另一端向靠近内衬板的方向延伸。

18、通过采用上述技术方案，丝杠螺母组件驱动刮板向料盒移动时，刮板部分通过穿孔向下延伸至料盒内，之后向上移动，在此过程中，刮板底端与穿孔内的软毛刷接触，由软毛刷对刮板底端的靶料截留在料盒内。

19、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

20、1.通过刮板和驱动组件的配合设置，由驱动组件带动刮板沿内衬板高度方向移动，将内衬板附着面上的靶料刮下，移动至料盒处时，通过软毛刷的设置将靶料截留在料盒内，实现对靶料的回收；

21、2.内衬板和炉门通过卡扣和卡槽的配合设置实现固定，在连接过程中，定位柱插设于定位套筒内，对内衬板的安装位置进行限定和引导，内衬板安装完毕后，弹簧处于压缩状态，当取下内衬板时，将卡扣从卡槽内脱离，弹簧恢复形变将内衬板向炉门外推出一小段距离，使内衬板与炉门错位，方便将内衬板取下。

技术特征：

1.一种镀膜设备集料组件，包括镀膜炉（1），所述镀膜炉（1）的一侧连接有炉门（2），所述炉门（2）内侧安装有内衬板（3），所述内衬板（3）朝向镀膜炉（1）内的一面为附着面（31），其特征在于：所述内衬板（3）与炉门（2）可拆卸连接，所述炉门（2）的内侧设置有刮料机构（4），所述刮料机构（4）包括刮板（41）和驱动组件（42），所述刮板（41）沿内衬板（3）的长度方向延伸，并且一端抵接于附着面（31）上，所述驱动组件（42）设置于刮板（41）的两侧，用于带动刮板（41）沿内衬板（3）的高度方向移动，所述内衬板（3）的下方设置有料盒（5），所述内衬板（3）的正投影落在料盒（5）上。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备集料组件，其特征在于：所述内衬板（3）与炉门（2）之间预留有间隙（6），所述间隙（6）内设置有相互配合的定位套筒（7）和定位柱（8），所述定位套筒（7）一体式形成于炉门（2）朝向内衬板（3）的一面，所述定位柱（8）一体式形成于内衬板（3）朝向炉门（2）的一面。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜设备集料组件，其特征在于：所述间隙（6）内还设置有弹簧（9），所述弹簧（9）水平延伸，一端与炉门（2）抵接，另一端与内衬板（3）抵接。

4.根据权利要求2所述的一种镀膜设备集料组件，其特征在于：所述内衬板（3）的两侧分别设置有沿其长度方向延伸的连接部（10），两所述连接部（10）置于间隙（6）内，所述连接部（10）上开设有卡槽，所述炉门（2）上设置有与卡槽相配合的卡扣（11）。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜设备集料组件，其特征在于：所述驱动组件（42）设置有两组，两组所述驱动组件（42）均安装于镀膜炉（1）内部靠近炉门（2）的一侧，两组所述驱动组件（42）分别为丝杠螺母组件，所述丝杠螺母组件和刮板（41）之间设置有传动件（12）。

6.根据权利要求5所述的一种镀膜设备集料组件，其特征在于：所述镀膜炉（1）内设置有两个防护罩（13），两组所述丝杠螺母组件分别容置于两个防护罩（13）内，两个所述防护罩（13）相对的一面开设有滑槽，所述滑槽沿内衬板（3）的高度方向延伸，所述传动件（12）部分设置于滑槽内。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜设备集料组件，其特征在于：所述炉门（2）的下端形成容置腔，所述料盒（5）嵌装于容置腔内，所述料盒（5）的底部设置有底板（14），所述底板（14）与炉门（2）卡接。

8.根据权利要求7所述的一种镀膜设备集料组件，其特征在于：所述料盒（5）的一侧内壁与内衬板（3）的附着面（31）平齐，所述料盒（5）靠近内衬板（3）的一侧开设有穿孔（15），所述穿孔（15）可供刮板（41）部分通过，所述穿孔（15）内设置有软毛刷（16），所述软毛刷（16）一端固定于料盒（5）内，另一端向靠近内衬板（3）的方向延伸。

技术总结本申请涉及镀膜设备领域，尤其涉及一种镀膜设备集料组件，其包括镀膜炉，所述镀膜炉的一侧连接有炉门，所述炉门内侧安装有内衬板，所述内衬板朝向镀膜炉内的一面为附着面，所述内衬板与炉门可拆卸连接，所述炉门的内侧设置有刮料机构，所述刮料机构包括刮板和驱动组件，所述刮板沿内衬板的长度方向延伸，并且一端抵接于附着面上，所述驱动组件设置于刮板的两侧，用于带动刮板沿内衬板的高度方向移动。本申请通过刮板和驱动组件的配合设置，由驱动组件带动刮板沿内衬板高度方向移动，将内衬板附着面上的靶料刮下，移动至料盒处时，通过软毛刷的设置将靶料截留在料盒内，实现对靶料的回收。技术研发人员：胡冀,占兵,周家维受保护的技术使用者：深圳市黄金屋真空科技有限公司技术研发日：20231220技术公布日：2024/7/23