喷淋装置及生箔设备的制作方法

本申请涉及铜箔制造，尤其涉及一种喷淋装置及生箔设备。

背景技术：

1、采用辊式连续电解方法制备铜箔，通过在电解槽内安装一个回旋的钛辊筒和不溶性材料制成阳极，辊筒底部浸在电解槽中，通电解的方式使溶液中的铜离子沉积在钛辊的表面并形成铜箔，并将形成在钛辊上的铜箔剥离以制成成品。

2、为了防止钛辊表面氧化，通常需要在剥离后的钛辊表面和电解槽之间设置喷淋管，在钛辊表面进入电解槽之前，能够通过喷淋管上的多个喷淋孔向剥离铜箔后的钛辊表面喷淋酸洗液，以去除钛辊表面的氧化层提高生产效率。

3、然而，喷淋管的各喷淋孔处酸洗液的流量差较大，喷淋至钛辊表面的酸洗液分布不均，酸洗后的钛辊表面粗糙度的均匀性较差，从而影响在钛辊表面形成的铜箔的表面粗糙度的均匀性，降低铜箔的质量。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种喷淋装置及生箔设备，用于解决喷淋管的各喷淋孔处酸洗液的流量不同，喷淋至钛辊表面的酸洗液分布不均，酸洗后的钛辊表面粗糙度的均匀性较差，从而影响在钛辊表面形成的铜箔的表面粗糙度的均匀性，降低铜箔的质量的技术问题。

2、为了实现上述目的，本申请实施例提供如下技术方案：

3、本申请实施例的第一方面提供一种喷淋装置，其包括：

4、喷淋管，所述喷淋管上还开设有输入孔，以使酸洗液通过所述输入孔输送至所述喷淋管内，所述喷淋管上还开设有多个间隔设置的喷淋孔，以使所述喷淋管内的酸洗液通过所述喷淋孔喷淋至钛辊的表面；

5、阻挡结构，所述阻挡结构设置于所述喷淋管内，所述阻挡结构至少部分位于酸洗液由所述输入孔进入所述喷淋管时的流动路径上。

6、在上述技术方案的基础上，本申请还可以做如下改进。

7、在一种可能的实现方式中，所述阻挡结构沿第一方向延伸，所述第一方向为所述喷淋管的轴向；

8、所述阻挡结构与所述输入孔间隔设置，且所述阻挡结构与所述喷淋孔间隔设置，所述阻挡结构沿所述第一方向上的至少一端与所述喷淋管相连。

9、在一种可能的实现方式中，所述阻挡结构与所述输入孔间隔设置，且所述阻挡结构与所述喷淋孔间隔设置，所述阻挡结构沿第二方向上的至少一端与所述喷淋管相连，

10、所述第二方向垂直于所述喷淋管的轴向。

11、在一种可能的实现方式中，所述输入孔与所述喷淋孔相对设置，所述阻挡结构设置于所述输入孔和所述喷淋孔之间。

12、在一种可能的实现方式中，所述阻挡结构为弧形板，所述弧形板朝向所述输入孔弯曲，且所述弧形板与所述喷淋管同轴设置。

13、在一种可能的实现方式中，还包括多个调节机构，每个所述调节机构设置于一个所述喷淋孔，所述调节机构用于调节所述喷淋孔喷出的所述酸洗液的流量。

14、在一种可能的实现方式中，所述调节机构包括：

15、挡板，所述挡板移动连接所述喷淋管；

16、驱动件，所述驱动件连接所述挡板；

17、控制机构，所述控制机构连接所述驱动件，并控制所述驱动件驱动所述挡板调节所述喷淋孔的尺寸，以调节所述喷淋孔喷出的所述酸洗液的流量。

18、在一种可能的实现方式中，所述喷淋管具有两个，两个所述喷淋管为第一喷淋管和第二喷淋管；

19、所述第一喷淋管和所述第二喷淋管绕所述钛辊的外周侧间隔排布。

20、在一种可能的实现方式中，所述第一喷淋管位于所述第二喷淋管的相对下方；

21、设置于所述第一喷淋管的所述调节机构用于打开或者关闭所述第一喷淋管上的所述喷淋孔，设置于所述第二喷淋管的所述调节机构至多打开所述第二喷淋管上的所述喷淋孔的一半。

22、本申请实施例的第二方面提供一种生箔设备，其所述生箔设备包括钛辊、电解槽，以及如权利要求1值9中任一项所述的喷淋装置；

23、所述电解槽用于容纳电解液；

24、所述钛辊相对于所述电解槽转动并部分位于所述电解液内，以通过电解的方式在所述钛辊的表面形成铜箔；

25、所述喷淋管用于在所述钛辊的表面接触所述电解液之前向所述钛辊的表面喷淋酸洗液。

26、本申请实施例提供一种喷淋装置及生箔设备，喷淋装置包括喷淋管，喷淋管上还开设有输入孔，以使酸洗液通过输入孔输送至喷淋管内，喷淋管上还开设有多个间隔设置的喷淋孔，以使喷淋管内的酸洗液通过喷淋孔喷淋至钛辊的表面。阻挡结构，阻挡结构设置于喷淋管内，阻挡结构至少部分位于酸洗液由输入孔进入喷淋管时的流动路径上，以阻止至少部分酸洗液进入喷淋管内时直接通过靠近输入孔的部分喷淋孔喷出，能够缩小酸洗液在靠近流动路径的喷淋孔处和远离流动路径的喷淋孔处的流量差，提高了钛辊表面的酸洗液的分布均匀性，提高酸洗液对钛辊表面氧化层的腐蚀均匀性，从而提高了钛辊表面的粗糙度的均匀性，进而提高在钛辊表面形成的铜箔的表面粗糙度的均匀性。

技术特征：

1.一种喷淋装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述阻挡结构沿第一方向延伸，所述第一方向为所述喷淋管的轴向；

3.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述阻挡结构与所述输入孔间隔设置，且所述阻挡结构与所述喷淋孔间隔设置，所述阻挡结构沿第二方向上的至少一端与所述喷淋管相连，

4.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述输入孔与所述喷淋孔相对设置，所述阻挡结构设置于所述输入孔和所述喷淋孔之间。

5.根据权利要求4所述的喷淋装置，其特征在于，所述阻挡结构为弧形板，所述弧形板朝向所述输入孔弯曲，且所述弧形板与所述喷淋管同轴设置。

6.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，还包括多个调节机构，每个所述调节机构设置于一个所述喷淋孔，所述调节机构用于调节所述喷淋孔喷出的所述酸洗液的流量。

7.根据权利要求6所述的喷淋装置，其特征在于，所述调节机构包括：

8.根据权利要求7所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管具有两个，两个所述喷淋管为第一喷淋管和第二喷淋管；

9.根据权利要求8所述的喷淋装置，其特征在于，所述第一喷淋管位于所述第二喷淋管的相对下方；

10.一种生箔设备，其特征在于，所述生箔设备包括钛辊、电解槽，以及如权利要求1至9中任一项所述的喷淋装置；

技术总结本申请提供一种喷淋装置及生箔设备，涉及铜箔制造技术领域，喷淋装置包括喷淋管，喷淋管上还开设有输入孔，以使酸洗液通过输入孔输送至喷淋管内，喷淋管上还开设有多个间隔设置的喷淋孔，以使喷淋管内的酸洗液通过喷淋孔喷淋至钛辊的表面。阻挡结构，阻挡结构设置于喷淋管内，阻挡结构至少部分位于酸洗液由输入孔进入喷淋管时的流动路径上。本申请实施例提供的喷淋装置能够缩小酸洗液在靠近流动路径的喷淋孔处和远离流动路径的喷淋孔处的流量差，能够提高钛辊表面的粗糙度的均匀性，进而提高在钛辊表面形成的铜箔的表面粗糙度的均匀性。技术研发人员：朱小琴,张裕,王文斐,李帅,周建华,闫瑞刚,王卫,张群梅,袁晶,吴琼,朱媛媛,周漱敏受保护的技术使用者：江东电子材料有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/12