半导体设备加液防呆方法及其装置、设备、可读存储介质与流程

本公开涉及半导体领域，特别是涉及一种半导体设备加液防呆方法及其装置、设备、可读存储介质。

背景技术：

1、化学电镀（electro chemical plating，简称ecp）机台中通常需要使用多种原液（例如加速剂、平坦剂和抑制剂等）以实现化学电镀工艺，并且平均每三天需要对机台进行一次原液的添加。

2、然而，相关技术中对于化学电镀机台的原液添加通常是通过人为巡检并手动加液，不仅效率较低，且缺少卡控监测机制，难以侦测加液是否错误，容易出现原液添加错误的风险，从而导致晶圆报废以及原液浪费，进而降低产品良率、浪费生产成本。

技术实现思路

1、基于此，本公开实施例提供了一种半导体设备加液防呆方法及其装置、设备、可读存储介质，以有效避免半导体设备加液错误，从而提高产品良率并节约生产成本。

2、为了实现上述目的，第一方面，本公开一些实施例提供了一种半导体设备加液防呆方法。该方法包括：获取原液桶至第一检测工位，识别原液桶上的原液标签并监测原液桶内的原液重量；获取待加液的目标工作液桶至第二检测工位，识别目标工作液桶上的工作液标签并监测目标工作液桶内的工作液重量；在工作液标签和原液标签识别一致时，将原液桶内目标重量的原液提供至目标工作液桶内；在工作液标签和原液标签识别不一致时，进行示警。

3、在一些实施例中，半导体设备加液防呆方法还包括：在原液桶内的原液重量和目标工作液桶内的工作液重量均满足对应目标值后，将原液桶归置于药液柜中，将目标工作液桶归置于半导体设备中。其中，原液重量对应的目标值根据原液桶内的初始原液重量和目标工作液桶的待加液重量确定；工作液重量对应的目标值根据目标工作液桶内的初始工作液重量和目标工作液桶的待加液重量确定。

4、在一些实施例中，半导体设备加液防呆方法还包括：在原液桶内的原液重量和目标工作液桶内的工作液重量均未满足对应目标值时，监测目标工作液桶是否离开了第二检测工位；若是，则进行示警。

5、在一些实施例中，半导体设备中设有用于容置不同溶液的多个工作液桶，以及位于各工作液桶下方的传感装置。其中，获取待加液的目标工作液桶至第二检测工位，包括：打开半导体设备，取走待加液的工作液桶；在传感装置检测到取走的工作液桶非目标工作液桶时，进行示警；在传感装置检测到取走的工作液桶为目标工作液桶时，将目标工作液桶放置于第二检测工位。

6、在一些实施例中，半导体设备加液防呆方法还包括：判断第一检测工位上原液桶内的原液重量是否小于更换阈值；若是，则更换新原液桶至第一检测工位。

7、在一些实施例中，半导体设备加液防呆方法还包括：识别新原液桶上的原液标签是否与被更换的原液桶的原液标签一致；若否，则进行示警；若是，则监测新原液桶内的原液重量，根据目标重量和已添加至目标工作液桶的原液重量的差值确定新原液桶内的原液输出量，并按照原液输出量使新原液桶内提供原液至目标工作液桶内。

8、在一些实施例中，半导体设备中设有用于容置不同溶液的多个工作液桶。半导体设备加液防呆方法还包括：监测各工作液桶的液位；在工作液桶的液位小于或等于其最高液位的三分之一时，定义工作液桶为目标工作液桶。

9、第二方面，本公开还提供了一种半导体设备加液防呆装置，该装置包括监测装置和控制装置。监测装置用于获取原液桶至第一检测工位，识别原液桶上的原液标签并监测原液桶内的原液重量，并获取待加液的目标工作液桶至第二检测工位，识别目标工作液桶上的工作液标签并监测目标工作液桶内的工作液重量。控制装置用于识别工作液标签和原液标签是否一致，以在工作液标签和原液标签识别一致时输出将原液桶内目标重量的原液提供至目标工作液桶内的第一控制指令，在工作液标签和原液标签识别不一致时输出进行示警的第二控制指令。

10、第三方面，本公开还提供了一种计算机设备。所述计算机设备包括存储器和处理器。存储器存储有计算机程序；处理器执行计算机程序时实现如本公开的第一方面中任一项所述的方法的步骤。

11、第四方面，本公开还提供了一种计算机可读存储介质。所述计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序；计算机程序被处理器执行时实现如本公开第一方面中任一项所述的方法的步骤。

12、本公开实施例可以/至少具有以下优点：

13、本公开实施例中，通过设置用于原液桶的第一检测工位和用于待加液目标工作液桶的第二检测工位，可以有效识别原液桶的原液标签和目标工作液桶的工作液标签并有效监测原液桶内的原液重量和目标工作液桶内的工作液重量。这样不仅可以于工作液标签和原液标签一致时，根据原液桶内的原液重量、目标工作液桶内的工作液重量以及目标重量将目标重量的原液提供至目标工作液桶内，还可以于工作液标签和原液标签不一致时进行示警。如此，本公开实施例提供的半导体设备加液防呆方法，无需人为巡检，通过在线识别原液标签和工作液标签的一致性，可以有效避免半导体设备出现加错液的问题，通过对原液重量和工作液重量的在线监测，可以对待加液的加液量进行卡控，以提高加液的精准度，从而有利于避免因加液错误导致的晶圆报废以及原液浪费问题，进而有利于提高产品良率和节约生产成本。

14、本公开的一个或多个实施例的细节在下面的附图和描述中提出。本公开的其他特征、目的和优点将从说明书、附图以及权利要求书变得明显。

技术特征：

1.一种半导体设备加液防呆方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体设备加液防呆方法，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求2所述的半导体设备加液防呆方法，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求1所述的半导体设备加液防呆方法，其特征在于，所述半导体设备中设有用于容置不同溶液的多个工作液桶，以及位于各所述工作液桶下方的传感装置；

5.根据权利要求1所述的半导体设备加液防呆方法，其特征在于，还包括：

6.根据权利要求5所述的半导体设备加液防呆方法，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求1~6中任一项所述的半导体设备加液防呆方法，其特征在于，所述半导体设备中设有用于容置不同溶液的多个工作液桶；所述半导体设备加液防呆方法还包括：

8.一种半导体设备加液防呆装置，其特征在于，包括：

9.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7中任一项所述的方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至7中任一项所述的方法的步骤。

技术总结本公开涉及一种半导体设备加液防呆方法及其装置、设备、可读存储介质。该半导体设备加液防呆方法包括：获取原液桶至第一检测工位，识别原液桶上的原液标签并监测原液桶内的原液重量；获取待加液的目标工作液桶至第二检测工位，识别目标工作液桶上的工作液标签并监测目标工作液桶内的工作液重量；在工作液标签和原液标签识别一致时，将原液桶内目标重量的原液提供至目标工作液桶内；在工作液标签和原液标签识别不一致时，进行示警。本公开有利于避免半导体设备加液错误，从而提高产品良率并节约生产成本。技术研发人员：沈阳,常家旺,胡德锴受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/20