一种键合丝电镀液体控制调温设备的制作方法
- 国知局
- 2024-07-27 12:02:54
本发明涉及键合丝电镀,具体为一种键合丝电镀液体控制调温设备。
背景技术:
1、键合丝作为金丝的替代方案,常用于集成电路、大型积体晶片和晶体管等电子元器件的焊接,键合丝的主要问题之一是第二次键合的强度较差,通过在铜丝上电镀镀层可以在保持第一次键合质量的同时,提高第二次键合的强度,还能保持第一次键合的稳定性。
2、键合丝的电镀过程中,电镀液在电镀反应中不断地产生热量,使电镀溶液温度逐渐升高,当电镀溶液温度高出工艺的要求时,影响键合丝成品镀层的牢固度、均匀度、光洁度。
3、现有技术中,电镀过程中散热多采用冷却水循环系统来带走电镀过程中产生的热量,冷却水循环系统可能会因为水垢堵塞和维护不当而降低效率,导致散热不充分,从而影响电镀质量。
技术实现思路
1、本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种键合丝电镀液体控制调温设备,负压环境下电镀液的沸点和电镀液工作温度接近,电镀过程中产生的热量通过电镀液中水的蒸发实现散热,维护和温度控制方便。
2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种键合丝电镀液体控制调温设备,包括管体和第一壳体,所述第一壳体的顶侧开设有第一容置腔,所述管体的顶端封闭、底端开口设置,所述管体的底端延伸到所述第一容置腔的内部,且管体的底端和所述第一容置腔的底侧之间设有间隙,所述第一壳体的下侧安装有第二壳体,所述第二壳体的顶侧开设有第二容置腔,所述管体外侧的上部开设有连通其内外的开孔,所述开孔和第一导管的一端连接,所述第一导管的另一端延伸至所述第二容置腔的内部,所述第二壳体上安装有电镀液输送组件。
3、所述第二壳体的底侧安装有若干个转动的第二内陷导轮,所述管体内腔的顶部安装有比第二内陷导轮数量多一个的转动的第一内陷导轮,所述管体的顶端开设有连通其内外的出气口,所述出气口上安装有真空调压阀。
4、其中,所述第一容置腔内加入电镀液,且所述管体的底端位于所述电镀液内,所述第一壳体和所述第二壳体上均开设有与键合丝适配的穿丝孔,所述键合丝曲折缠绕在第二内陷导轮和第一内陷导轮上,且键合丝穿过第一壳体和所述第二壳体上的穿丝孔,所述键合丝形成若干个竖直段。
5、作为本发明的一种优选技术方案,所述管体内设有第一吹扫组件,所述第一吹扫组件包括第二导管,所述第二导管的一端贯穿并延伸至管体的外侧,所述第二导管位于管体外的一端安装有开度阀,所述第二导管对应每个键合丝竖直段的位置均安装有第一喷嘴,且第一喷嘴和第二导管内腔连通。
6、作为本发明的一种优选技术方案,所述管体的内壁固定有电加热件。
7、作为本发明的一种优选技术方案,所述管体内设有平行设置的第一导电板和第二导电板,所述第一导电板平行于键合丝的竖直段,且第一导电板和第二导电板外侧均做绝缘处理。
8、其中,第一导电板与外部电源的负极电连接,所述第二导电板与外部电源的正极电连接,且所述第一导电板靠近键合丝的竖直段。
9、作为本发明的一种优选技术方案,所述管体的外侧滑动密封套设有套管,且套管的长度大于管体底端和第一容置腔底侧之间的距离。
10、作为本发明的一种优选技术方案,所述键合丝的竖直段和第一导电板之间的距离不相等。
11、作为本发明的一种优选技术方案,所述第一喷嘴为套设在键合丝竖直段上的安装管,所述安装管的内径由中间向两端的方向逐渐变小,所述安装管内腔和第二导管内腔连通。
12、作为本发明的一种优选技术方案,所述第一壳体和第二壳体之间设有第二吹扫组件,所述第二吹扫组件包括第四导管,所述第四导管对应每个键合丝竖直段的位置均安装有第二喷嘴,且第二喷嘴和第四导管内腔连通,所述第四导管内腔和气泵出气口连接。
13、作为本发明的一种优选技术方案,所述第一导管远离管体的位置和单向阀的出口连接,所述单向阀位于所述第二容置腔的内部。
14、作为本发明的一种优选技术方案,所述电镀液输送组件包括液泵,所述液泵的进液口和第三导管的一端连接,所述第三导管的另一端延伸至所述第二容置腔内,所述液泵的出液口和第五导管的一端连接,所述第五导管的另一端延伸至第一容置腔的内腔。
15、与现有技术相比,本发明的有益效果是:
16、1、本发明示例的键合丝电镀液体控制调温设备,管体内维持在设定的负压,第一容置腔内的电镀液被吸入到管体内,管体内电镀液的液面高于管体的开孔,管体内腔上部的电镀液经由第一导管流入到第二容置腔内,第二容置腔内的电镀液被电镀液输送组件输送到第一容置腔内,实现管体内腔中的电镀液由下向上逐渐流动:一方面管体内腔中电镀液的沸点和电镀液工作温度接近,电镀过程中产生的热量通过电镀液中水的蒸发实现散热,实现电镀液温度的控制,保证电镀效果;另一方面电加热件位于管体内的电镀液中,电加热件对管体内的电镀液加热,促使管体内电镀液中水分蒸发,减缓电镀过程中金属离子浓度的变化速度,保证电镀效果,能耗低,并降低工作人员工作量;再一方面,第一喷嘴为套设在键合丝竖直段上的安装管,所述安装管的内径由中间向两端的方向逐渐变小,第一喷嘴在键合丝外侧产生环形气流,吹走键合丝镀层的针孔内的凝结水,降低键合丝镀层针孔的尺寸。
17、2、本发明示例的键合丝电镀液体控制调温设备,一方面,电镀过程中第一导电板和第二导电板之间产生均匀电场,且第一导电板附近金属离子聚集,提高键合丝竖直段附近的金属离子浓度,保证键合丝竖直段的电镀效果;另一方面所述键合丝的竖直段和第一导电板之间的距离不相等,键合丝的竖直段与第一导电板之间的距离越近,键合丝所处环境中的金属离子浓度越大,可以根据工艺需求调节不同电镀阶段的电镀浓度,提高本键合丝电镀液体控制调温设备普适性。
18、3、本发明示例的键合丝电镀液体控制调温设备,一方面,第一喷嘴喷出的气流吹离键合丝竖直段上的电镀液,避免第一内陷导轮和电镀液之间的键合丝上粘附电镀液,使键合丝表面电镀均匀;另一方面,第一喷嘴喷出的气流和蒸发产生的水蒸汽一起被抽出管体,避免管体内水蒸汽达到饱和浓度影响电镀液的蒸发。
19、4、本发明示例的键合丝电镀液体控制调温设备,负压环境下电镀液的沸点和电镀液工作温度接近:一方面,电镀过程中产生的热量通过电镀液中水的蒸发实现散热,维护和温度控制方便;另一方面,电镀过程中产生的热量使电镀液中水分蒸发,减缓电镀过程中金属离子浓度的变化速度,保证电镀效果。
技术特征:1.一种键合丝电镀液体控制调温设备,其特征在于:包括管体(2)和第一壳体(5),所述第一壳体(5)的顶侧开设有第一容置腔,所述管体(2)的顶端封闭、底端开口设置,所述管体(2)的底端延伸到所述第一容置腔的内部,且管体(2)的底端和所述第一容置腔的底侧之间设有间隙,所述第一壳体(5)的下侧安装有第二壳体(8),所述第二壳体(8)的顶侧开设有第二容置腔,所述管体(2)外侧的上部开设有连通其内外的开孔,所述开孔和第一导管(4)的一端连接,所述第一导管(4)的另一端延伸至所述第二容置腔的内部,所述第二壳体(8)上安装有电镀液输送组件;
2.根据权利要求1所述的键合丝电镀液体控制调温设备,其特征在于:所述管体(2)内设有第一吹扫组件,所述第一吹扫组件包括第二导管(11),所述第二导管(11)的一端贯穿并延伸至管体(2)的外侧,所述第二导管(11)位于管体(2)外的一端安装有开度阀(3),所述第二导管(11)对应每个键合丝竖直段的位置均安装有第一喷嘴(10),且第一喷嘴(10)和第二导管(11)内腔连通。
3.根据权利要求2所述的键合丝电镀液体控制调温设备,其特征在于:所述管体(2)的内壁固定有电加热件(21)。
4.根据权利要求3所述的键合丝电镀液体控制调温设备,其特征在于:所述管体(2)内设有平行设置的第一导电板(19)和第二导电板(20),所述第一导电板(19)平行于键合丝的竖直段,且第一导电板(19)和第二导电板(20)外侧均做绝缘处理;
5.根据权利要求4所述的键合丝电镀液体控制调温设备,其特征在于:所述管体(2)的外侧滑动密封套设有套管(15),且套管(15)的长度大于管体(2)底端和第一容置腔底侧之间的距离。
6.根据权利要求4所述的键合丝电镀液体控制调温设备,其特征在于:所述键合丝的竖直段和第一导电板(19)之间的距离不相等。
7.根据权利要求2所述的键合丝电镀液体控制调温设备,其特征在于:所述第一喷嘴(10)为套设在键合丝竖直段上的安装管,所述安装管的内径由中间向两端的方向逐渐变小,所述安装管内腔和第二导管(11)内腔连通。
8.根据权利要求1所述的键合丝电镀液体控制调温设备,其特征在于:所述第一壳体(5)和第二壳体(8)之间设有第二吹扫组件,所述第二吹扫组件包括第四导管(16),所述第四导管(16)对应每个键合丝竖直段的位置均安装有第二喷嘴(18),且第二喷嘴(18)和第四导管(16)内腔连通,所述第四导管(16)内腔和气泵(12)出气口连接。
9.根据权利要求1所述的键合丝电镀液体控制调温设备,其特征在于:所述第一导管(4)远离管体(2)的位置和单向阀(7)的出口连接,所述单向阀(7)位于所述第二容置腔的内部。
10.根据权利要求1所述的键合丝电镀液体控制调温设备,其特征在于:所述电镀液输送组件包括液泵(14),所述液泵(14)的进液口和第三导管(13)的一端连接,所述第三导管(13)的另一端延伸至所述第二容置腔内,所述液泵(14)的出液口和第五导管(6)的一端连接,所述第五导管(6)的另一端延伸至第一容置腔的内腔。
技术总结本发明涉及键合丝电镀技术领域,具体公开了一种键合丝电镀液体控制调温设备,包括管体和第一壳体,第一壳体顶侧开设有第一容置腔,管体的顶端封闭、底端开口设置,管体的底端延伸到第一容置腔的内部,且管体的底端和第一容置腔的底侧之间设有间隙,第一壳体的下侧安装有第二壳体,第二壳体的顶侧开设有第二容置腔,管体外侧的上部开设有连通其内外的开孔,开孔和第一导管的一端连接,第一导管的另一端延伸至第二容置腔的内部,第二壳体上安装有电镀液输送组件,本键合丝电镀液体控制调温设备,负压环境下电镀液的沸点和电镀液工作温度接近,电镀过程中产生的热量通过电镀液中水的蒸发实现散热,维护和温度控制方便。技术研发人员:徐建峰,丁明星,李新辉,王猛,于庆磊受保护的技术使用者:青岛云创环境科技有限公司技术研发日:技术公布日:2024/7/15本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240726/120606.html
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