一种带有感测机构的微机电装置的制作方法

[0001]本实用新型涉及微机电技术领域，具体为一种带有感测机构的微机电装置。背景技术：[0002]微机电装置，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。[0003]现如今的微机电装置的电容感测机构的电容相互按压接触连接为一种橡胶材质连接的弹性柔性结构，处于电路内部，容易受热，加速橡胶老化，造成电容按压回弹不灵敏的问题。[0004]为解决微机电装置的电容感测机构电容相互按压接触连接为一种橡胶材质连接的弹性柔性结构，处于电路内部，容易受热，加速橡胶老化，造成电容按压回弹不灵敏的问题。为此，提出一种带有感测机构的微机电装置。技术实现要素：[0005]本实用新型的目的在于提供一种带有感测机构的微机电装置，从而解决了现有技术中微机电装置的电容感测机构电容相互按压接触连接为一种橡胶材质连接的弹性柔性结构，处于电路内部，容易受热，加速橡胶老化，造成电容按压回弹不灵敏的问题。[0006]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有感测机构的微机电装置，包括电容感测机构和微机电基板，所述电容感测机构安装在微机电基板的上表面，电容感测机构包括电容模块、弹簧、和电容基座，电容基座的内部设置弹簧，电容模块的下表面内部设置在弹簧的一端；[0007]所述电容模块包括密封环、第一弹性槽、第一电容槽、第一电容和限位块，所述电容模块的上表面外围开设有第一弹性槽，且内部中心处开设有第一电容槽，第一弹性槽的内壁粘合有密封环，限位块设置在密封环的内壁上，第一电容安装在第一电容槽的内部。[0008]优选的，所述弹簧的外围包裹有橡胶层。[0009]优选的，所述密封环和限位块均为橡胶材质制成的构件。[0010]优选的，所述电容基座包括第二弹性槽、第二电容、第二电容槽、填充层和限位槽，所述电容基座的上表面外围开设有第二弹性槽，且内部中心处开设有第二电容槽，第二电容安装在第二电容槽的内部，电容基座内部设置填充层，且外围开设有限位槽。[0011]优选的，所述填充层为一种陶瓷纤维棉材质制成的构件。[0012]优选的，所述限位槽与限位块之间构成滑动连接。[0013]与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：[0014]1、本实用新型的带有感测机构的微机电装置，通过电容基座的内部设置弹簧，电容模块的下表面内部设置在弹簧的一端，弹簧的外围包裹有橡胶层，增加电容基座与电容模块之间的弹性动能，增加按压的使用次数。[0015]2、本实用新型的带有感测机构的微机电装置，通过电容基座内部设置填充层，填充层为一种陶瓷纤维棉材质制成的构件，降低电容感测机构与微机电基板之间的热传导，减少电容感测机构的内部发热，加强对橡胶构件的保护，增加橡胶构件的使用年限。[0016]3、本实用新型的带有感测机构的微机电装置，通过限位块设置在密封环的内壁上，电容基座的外围开设有限位槽，限位槽与限位块之间构成滑动连接，覆盖型结构使电容感测机构的内部不易进水，通过密封环加强了电容感测机构的密封性，通过限位槽与限位块，使电容基座在按压使用的同时，电容感测机构依然具有防水性。附图说明[0017]图1为本实用新型的整体结构示意图；[0018]图2为本实用新型的电容感测机构拆分立体结构示意图；[0019]图3为本实用新型的电容模块立体结构示意图；[0020]图4为本实用新型的电容基座剖视结构示意图。[0021]图中：1、容感测机构；11、电容模块；111、密封环；112、第一弹性槽；113、第一电容槽；114、第一电容；115、限位块；12、弹簧；13、电容基座；131、第二弹性槽；132、第二电容；133、第二电容槽；134、填充层；135、限位槽；2、微机电基板。具体实施方式[0022]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。[0023]请参阅图1-2，一种带有感测机构的微机电装置，包括电容感测机构1和微机电基板2，电容感测机构1安装在微机电基板2的上表面，电容感测机构1包括电容模块11、弹簧12、和电容基座13，电容基座13的内部设置弹簧12，电容模块11的下表面内部设置在弹簧12的一端，弹簧12的外围包裹有橡胶层，通过电容基座13的内部设置弹簧12，电容模块11的下表面内部设置在弹簧12的一端，弹簧12的外围包裹有橡胶层，增加电容基座13与电容模块11之间的弹性动能，增加按压的使用次数。[0024]请参阅图3-4，一种带有感测机构的微机电装置，电容模块11包括密封环111、第一弹性槽112、第一电容槽113、第一电容114和限位块115，电容模块11的上表面外围开设有第一弹性槽112，且内部中心处开设有第一电容槽113，第一弹性槽112的内壁粘合有密封环111，限位块115设置在密封环111的内壁上，密封环111和限位块115均为橡胶材质制成的构件，使限位块115发生形变，进行限位，第一电容114安装在第一电容槽113的内部，电容基座13包括第二弹性槽131、第二电容132、第二电容槽133、填充层134和限位槽135，电容基座13的上表面外围开设有第二弹性槽131，且内部中心处开设有第二电容槽133，第二电容132安装在第二电容槽133的内部，电容基座13内部设置填充层134，填充层134为一种陶瓷纤维棉材质制成的构件，通过电容基座13内部设置填充层134，填充层134为一种陶瓷纤维棉材质制成的构件，降低电容感测机构1与微机电基板2之间的热传导，减少电容感测机构1的内部发热，加强对橡胶构件的保护，增加橡胶构件的使用年限，且外围开设有限位槽135，限位槽135与限位块115之间构成滑动连接，通过限位块115设置在密封环111的内壁上，电容基座13的外围开设有限位槽135，限位槽135与限位块115之间构成滑动连接，覆盖型结构使电容感测机构1的内部不易进水，通过密封环111加强了电容感测机构1的密封性，通过限位槽135与限位块115，使电容基座13在按压使用的同时，电容感测机构1依然具有防水性。[0025]综上所述：本实用新型的带有感测机构的微机电装置，包括电容感测机构1和微机电基板2，电容感测机构1安装在微机电基板2的上表面，通过电容基座13的内部设置弹簧12，电容模块11的下表面内部设置在弹簧12的一端，弹簧12的外围包裹有橡胶层，增加电容基座13与电容模块11之间的弹性动能，增加按压的使用次数，通过电容基座13内部设置填充层134，填充层134为一种陶瓷纤维棉材质制成的构件，降低电容感测机构1与微机电基板2之间的热传导，减少电容感测机构1的内部发热，加强对橡胶构件的保护，增加橡胶构件的使用年限，通过限位块115设置在密封环111的内壁上，电容基座13的外围开设有限位槽135，限位槽135与限位块115之间构成滑动连接，覆盖型结构使电容感测机构1的内部不易进水，通过密封环111加强了电容感测机构1的密封性，通过限位槽135与限位块115，使电容基座13在按压使用的同时，电容感测机构1依然具有防水性。[0026]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。[0027]尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。