微器件转移设备、微器件转移方法、计算机可读存储介质与流程

1.本发明实施例涉及但不限于电子装配技术领域，具体而言，涉及但不限于微器件转移设备、微器件转移方法、计算机可读存储介质。背景技术：2.现今，微电子机械系统向着高效率、高精度、高性能和低成本的高度集成方向迈进，组装过程中对微薄元器件的使用率也越来越高，各类元器件愈来愈小型化和轻薄化。为了实现产品批量化、生产自动化、成本廉价化和使用可靠的要求，所以研究先进的微装配技术势在必行。先进的微装配技术不但可以降低微电子机械系统的研制成本和周期，也影响着微电子机械系统的研发和制造成功率。由于微电子机械系统的复杂性，在其制造过程中装配工作量占整个制造工作量的40％以上，装配费用占制造总费用的四分之一左右或更高；另外即使相同精度的配件，由于装配技术或者工艺的不同，也会导致最终的产品性能和精度相差甚远。因此，利用优异的装配技术即使装配一般精度的零部件得到的产品性能，也会优于利用较差的装配工艺组装高精度零部件得到的产品性能，所以片面追求单个零部件精度会导致产品成本增加，开发优异的微装配技术具有重要的意义。3.相关技术中，实现微器件精密装配的关键之一是精确对准，因为人的感知能力无法达到微器件装配所要求的微米量级精度的对准，所以需要依靠自动化技术。实现该类集成系统的主要技术瓶颈在于需要综合高效、高精度的微器件转移方法来完成各类先进微元器件在同一主体衬底上的装配。4.目前已经有国内外的学者设计了一些利用液滴操作微器件的机械装置方法，例如加载机械、电压、液压或者振动的办法来改变液桥的形状从而实现液桥断裂，使微器件从机械装置上脱离；但这些方法的并未解决微器件拾取时控制姿态控制和放置时的对准问题，同时当拾取细长条形、十字形、不规则三角形等特殊形状微器件时，并未见到一种有效的微操作技术能保证快速精确的拾取上述不同形状的微器件。5.总的来说现有的微器件操作技术的研究可以粗略归纳为两类：一类是通过刚性接触类的方法转移微器件，例如传统微摄子采用机械夹持的方法、磁性探针产生磁力吸附方法或真空探头吸附方法等。这一类操作微器件的方法都不可避免的在夹持装置和微器件之间发生刚性接触。由于现在的器件向着微小且轻薄的方向发展，因此刚性接触的操作方法在转移此类器件时的效率低，而且容易损坏器件。另一类是通过柔性接触的方式转移微器件，例如利用柔性胶带粘附转移微器件；或者利用毛细针管挤出的液体在微器件间形成的液桥力来转移微器件，但这些微器件转移设备、方法都无法在转移的过程中调整微器件的姿态，不能调整器件的轴向错动，影响装配精度。技术实现要素：6.本发明实施例提供的微器件转移设备、微器件转移方法、计算机可读存储介质，主要解决的技术问题是相关技术中，转移微器件的过程中无法调整微器件的姿态，不能调整器件的轴向错动，影响装配精度的问题。7.为解决上述技术问题，本发明实施例提供一种微器件转移设备，包括：框架，设置在框架内的电机、支承板、张力盘；支承板存在圆形通孔，圆形通孔底部设有超疏水弹性膜；张力盘的形状与圆形通孔契合，设置在圆形通孔上部；8.电机与张力盘连接，带动张力盘在圆形通孔内上下移动；超疏水弹性膜上设有与待拾取微器件上表面形状一致的第一亲水区域，第一亲水区域的面积小于待拾取微器件上表面的面积；9.张力盘与超疏水弹性膜接触使得超疏水弹性膜与第一亲水区域各个方向向下同性扩张，得到第二亲水区域，第二亲水区域的面积与待拾取微器件上表面的面积接近，第二亲水区域与待拾取的微器件上表面之间的第一液体形成第一液桥，第二亲水区域通过第一液桥拾取待拾取的微器件；10.张力盘与超疏水弹性膜脱离接触使得超疏水弹性膜与第二亲水区域各个方向向上同性收缩，第二亲水区域同性收缩，断裂第一液桥，释放被拾取的微器件。11.本发明实施例还提供一种微器件转移方法，包括：12.将超疏水弹性膜中第一亲水区域同性扩张为第二亲水区域，第二亲水区域的形状、面积与待拾取的微器件上表面形状、面积相等；13.在第二亲水区域与微器件上表面之间注射液体，液体能够在第二亲水区域与微器件上表面之间形成第一液桥，利用第一液桥拾取微器件；14.通过第一液桥转移微器件，将第二亲水区域同性收缩为第一亲水区域，断裂第一液桥释放微器件到基底上。15.本发明实施例还提供一种计算机存储介质，计算机可读存储介质存储有一个或者多个程序，一个或者多个程序可被一个或者多个处理器执行，以实现如上的微器件转移方法的步骤。16.根据本发明实施例提供的微器件转移设备、微器件转移方法、计算机可读存储介质，通过在超疏水弹性膜表面加工制造第一亲水性区域，并使第一亲水区域与待拾取微器件的上表面形状一致，然后通过张力盘使超疏水弹性膜与第一亲水区域同性扩张，进而将第一亲水区域同性扩张为第二亲水区域，第二亲水区域的形状与待拾取微器件的上表面形状一致，且面积接近，也即，使得扩张第一亲水区域得到的第二亲水区域等于待拾取微器件的上表面，从而保证了第一液体在第二亲水区域与待拾取微器件形成的第一液桥被约束在第二亲水区域，同时，根据液体表面自由能最小化理论，被拾取的微器件在转移的过程中，微器件的上表面在第一液体表面的张力的作用下与形状大小近似的第二亲水区域发生自组装对齐，进而实现了在第一液桥的液桥力的作用下快速地实现了微器件的拾取、姿态校正和转移操作，避免了传统拾取技术的硬接触，防止损坏微器件；转移完成后，通过张力盘与超疏水弹性膜脱离接触使得超疏水弹性膜与第二亲水区域向上同性收缩，在第二亲水区域缩小改变第二亲水区域和微器件之间的第一液桥形态，使得液桥断裂，微器件自然落在期望组装的基底位置，从而快速实现了微器件的释放、组装。17.本发明其他特征和相应的有益效果在说明书的后面部分进行阐述说明，且应当理解，至少部分有益效果从本发明说明书中的记载变的显而易见。附图说明18.图1为本发明实施例一的微器件转移设备结构示意图；19.图2为本发明实施例一的拾取微器件示意图；20.图3为本发明实施例一的释放微器件示意图；21.图4为本发明实施例一的基底与微器件液桥结合示意图；22.图5为本发明实施例二的微器件转移方法示意图；23.图6为本发明实施例二的亲水区域结构示意图；24.图7为本发明实施例二的液桥拾取圆形微薄器件时的受力分析；25.图8为本发明实施例二的液桥简化为回转形液桥示意图。具体实施方式26.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面通过具体实施方式结合附图对本发明实施例作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。27.实施例一：28.为了解决相关技术中，转移微器件的过程中无法调整微器件的姿态，不能调整器件的轴向错动，影响装配精度的问题，本技术实施例提供一种微器件转移设备，其包括：框架，设置在框架内的支承板、张力盘；支承板存在圆形通孔，圆形通孔底部设有超疏水弹性膜；张力盘的形状与圆形通孔契合，设置在圆形通孔上部；29.张力盘在圆形通孔内上下移动；超疏水弹性膜上设有与待拾取微器件上表面形状对应形状的第一亲水区域，第一亲水区域的面积小于待拾取微器件上表面的面积；30.张力盘与超疏水弹性膜接触使得超疏水弹性膜与第一亲水区域各个方向向下同性扩张，得到第二亲水区域，第二亲水区域的面积与待拾取微器件上表面的面积接近，第二亲水区域与待拾取的微器件上表面之间的第一液体形成第一液桥，第二亲水区域通过第一液桥拾取待拾取的微器件；31.张力盘与超疏水弹性膜脱离接触使得超疏水弹性膜与第二亲水区域各个方向向上同性收缩，第二亲水区域同性收缩，断裂第一液桥释放被拾取的微器件。通过在超疏水弹性膜表面加工制造第一亲水性区域，并使第一亲水区域与待拾取微器件的上表面形状一致，然后通过张力盘使超疏水弹性膜与第一亲水区域同性扩张，进而将第一亲水区域同性扩张为第二亲水区域，第二亲水区域的形状与待拾取微器件的上表面形状一致，且面积接近，也即，使得扩张第一亲水区域得到的第二亲水区域等于待拾取微器件的上表面，从而保证了第一液体在第二亲水区域与待拾取微器件形成的第一液桥被约束在第二亲水区域，同时，根据液体表面自由能最小化理论，被拾取的微器件在转移的过程中，微器件的上表面在第一液体表面的张力的作用下与形状大小近似的第二亲水区域发生自组装对齐，进而实现了在第一液桥的液桥力的作用下快速地实现了微器件的拾取、姿态校正和转移操作，避免了传统拾取技术的硬接触，防止损坏微器件；转移完成后，通过张力盘与超疏水弹性膜脱离接触使得超疏水弹性膜与第二亲水区域向上同性收缩，在第二亲水区域缩小改变第二亲水区域和微器件之间的第一液桥形态，使得液桥断裂，微器件自然落在期望组装的基底位置，从而快速实现了微器件的释放、组装。32.在一些实施例中，超疏水弹性膜的材质不受限制，可选的，通过喷涂并热固化碳黑/聚丁二烯复合涂料在具有良好弹性的橡胶基底表面进行超疏水处理形成超疏水弹性膜，并在薄膜表面留出与所要拾取微薄器件顶面形状相似的区域，疏水处理，形成第一亲水性区域，第一亲水区域的面积约为待拾取微器件上表面面积的50％。33.在一些实施例中，上述微器件转移设备还包括放置台，放置台上存在基底，基底上存在第二液体，与被释放的微器件下表面形成第二液桥；其中，同样根据液体表面自由能最小化理论，微器件会在第二液体表面张力的作用下与基底发生自组装对齐，需要理解的是，待组装的基底与微器件形状近似，从而实现了微器件的精确组装，利用液体表面张力的自对准能力可实现微器件的高精度集成，在微器件转移和组装过程中合理利用液体表面张力和液体形成的液桥的液桥力改进了微器件操作过程，进而高效地转移微器件，提高集成效率。34.在一些实施例中，在该微器件转移设备还包括设置在框架内的电机，该电机与张力盘连接，带动张力盘在圆形通孔内上下移动，进而带动超疏水弹性膜扩张或收缩；需要理解的是，需要理解的是，张力盘与电机轴通过螺纹联接，从而使得张力盘在电机转动时，随电机的转动而转动；在一些实施例中，微器件转移设备还包括：限位装置，限位装置与张力盘连接，用于限制限位盘上下移动距离，限位装置的具体设置位置并不受限制，能够限制张力盘转动，保证张力盘上下运动，同时防止张力盘的运动位置超过上下运动位置的极限即可；在限位装置的辅助作用下，张力盘将电机轴的转动转化为张力盘的上下运动。35.在一些实施例中，微器件转移设备还包括：液体注射装置；液体注射装置用于在第二亲水区域与待拾取的微器件上表面之间注射第一液体：液体注射装置还用于在基底上注射第二液体。需要理解的是，第一液体和第二液体的种类材质等可以相同，也可以不同，如都可以为去离水、纯水；其中，第一液体的体积根据第二亲水区域的面积、材料、形状，微器件的上表面材料以及液桥的近似力学模型等计算得出；第二液体的体积根据基底的面积、材料、形状，微器件的下表面材料以及液桥的近似力学模型等计算得出，其中第一液体的体积保证在第二亲水性区域和微器件上表面间形成的第一液桥的液桥力能够拾起微器件，第二液体的体积保证在微器件下表面与基底之间形成的第二液桥的液桥力能够自组装微器件。36.在一些实施例中，微器件转移设备还包括：定位装置；定位装置包括但不限于以下至少之一：摄像头定位装置、红外定位定位装置。定位装置用于确定待拾取微器件上表面与对应形状的第一亲水区域的位置；定位装置还用于确定被释放的微器件下表面与基底的位置。需要理解的是，定位装置用于确定待拾取微器件的位置，与第一亲水区域的位置，使得移动台可以将待拾取微器件移动到第一亲水区域的位置，或使得移动台可以将第一亲水区域移动到待拾取微器件的位置；需要理解的是，定位装置还用于确定被释放的微器件下表面与基底的位置，使得移动台可以将微器件移动到基底的位置；或使得移动台可以将基底移动到微器件的位置。可以理解的是，可以在超疏水弹性膜上设置有多个不同微器件上表面形状对应的第一亲水区域，定位装置需要确定微器件与对应形状的第一亲水区域的位置；例如，微器件的上表面为圆形，定位装置则确定超疏水弹性膜上该微器件上表面对应的圆形第一亲水区域，使得移动台可以将待拾取微器件移动到对应的圆形第一亲水区域的位置，或使得移动台可以将对应的圆形第一亲水区域移动到待拾取微器件的位置。37.为了更好的理解本发明，下面结合一种示例进行说明。38.一种示例请参见图1所示，图1为一种微器件转移设备，其包括：框架1，设置在框架 11内的电机2、支承板3、张力盘4，该微器件转移设备还包括：限位装置5、液体注射装置 6、定位装置7、移动台8；其中，支承板3中间存在圆形通孔，圆形通孔底部设有超疏水弹性膜9；张力盘4的形状与圆形通孔的形状契合，且设置在圆形通孔上方；其中，超疏水弹性膜9通过喷涂并热固化碳黑/聚丁二烯复合涂料在具有良好弹性的橡胶基底表面进行超疏水处理形成。另外，在薄膜表面留出与微器件上表面形状相似的区域(区域面积约为微器件上表面面积的50％)不进行超疏水处理，形成亲水性区域，一个超疏水弹性膜9中可以有多个亲水性区域，各亲水性区域分别对应不同的微器件上表面。39.需要理解的是，其中电机2带动有螺纹的电机2轴转动。张力盘4与电机2轴通过螺纹联接，因此，张力盘4随电机2轴的转动而转动；限位装置5与张力盘4连接，阻止张力盘 4随电机2轴的转动而转动，进而保证张力盘4上下运动，同时，限位装置5还用于防止张力盘4的运动超过上下位置极限；定位装置7，用于采集待拾取微器件的位置以及待拾取微器件的上表面形状，和组装的基底位置，以确定待拾取微器件上表面对应的亲水区域，并监测设备运行；液体注射装置6，用于在微器件拾取和组装过程中定量提供液体以便在微器件上表面与超疏水弹性膜9的对应的亲水区域之间产生液桥，从而利用液体的表面张力拾取和组装微器件。移动台8，其中移动台8为三坐标移动平台，由x、y、z方向的三台精密线性移动平台组成，实现框架1在x、y、z方向的运动和精密定位。40.在一些实施例中，如图2所示，首先通过电机2转动带动有螺纹的电机2轴转动，在限位装置5的作用下，利用螺纹传动实现张力盘4向下运动，进而各向同性地扩张超疏水弹性薄膜表面及其亲水性区域，保证拉伸后超疏水弹性膜9表面的亲水性区域等于待拾取微器件上表面，然后通过定位装置7确定待拾取微器件的位置与待拾取微器件的上表面形状，控制三坐标移动台8移动框架1，使得待拾取微器件的上表面与对应的亲水区域对齐，液体注射装置6结合微器件的材料、重量等参数和液桥的近似力学模型计算得出应该向微器件上表面注射液体的体积，从而保证液体体积在亲水性区域和微器件件形成的液桥的液桥力能够拾起微器件，然后向微器件上表面注射该体积的液体(去离水)，控制z向精密线性移动平台移动移动框架1，直到待拾取微器件上表面的液体接触并完全润湿超疏水弹性膜9上的对应的亲水性区域，z方向的线性移动平台回位，从而利用待拾取微器件上表面和对应的亲水性区域之间形成的液桥的液桥力拾取微器件离开原衬底，因为液桥被约束在超疏水弹性膜9的亲水性区域内，根据液体表面自由能最小化理论，被液桥拾取的微薄器件会在液体表面张力的作用下与形状近似的亲水性区域发生自组装对齐，在液桥力的作用下快速地实现微器件的拾取、姿态校正和转移操作，然后控制三坐标移动台8移动框架1，将待释放的微器件移动到待组装基底正上方，利用液体注射装置6向待组装的基底表面精确注射液体，保证液体体积在基底和待释放的微器件下表面件形成的液桥的液桥力能够精确组装器件，然后通过电机2转动带动有螺纹的电机2轴转动，在限位装置5的作用下，利用螺纹传动实现张力盘4向上运动，进而各向同性地收缩超疏水弹性薄膜表面及其亲水性区域，在亲水性区域的缩小改变弹性薄膜和微器件间的液桥形态使液桥断裂，如图3所示微薄器件自然落在期望组装的基底位置。在微器件的期望的组装位置间形成液桥。根据液体表面自由能最小化理论，微器件会在液体表面张力的作用下与形状近似的基底发生自组装对齐，实现微器件的精确组装，如图4所示，从而实现将待拾取的微器件从位置10移动到位置11。41.本发明实施例提供的微器件转移设备，包括：框架，设置在框架内的电机、支承板、张力盘；支承板存在圆形通孔，圆形通孔底部设有超疏水弹性膜；张力盘的形状与圆形通孔契合，设置在圆形通孔上部；电机与张力盘连接，带动张力盘在圆形通孔内上下移动；超疏水弹性膜上设有与待拾取微器件上表面形状对应形状的第一亲水区域，第一亲水区域的面积小于待拾取微器件上表面的面积；张力盘与超疏水弹性膜接触使得超疏水弹性膜与第一亲水区域向下同性扩张，得到第二亲水区域，第二亲水区域的面积与待拾取微器件上表面的面积接近，第二亲水区域与待拾取的微器件上表面之间的第一液体形成第一液桥，第二亲水区域通过第一液桥拾取待拾取的微器件；张力盘与超疏水弹性膜脱离接触使得超疏水弹性膜与第二亲水区域向上同性收缩，第二亲水区域同性收缩，断裂第一液桥释放被拾取的微器件。通过在超疏水弹性膜表面加工制造第一亲水性区域，并使第一亲水区域与待拾取微器件的上表面形状一致，然后通过张力盘使超疏水弹性膜与第一亲水区域同性扩张，进而将第一亲水区域同性扩张为第二亲水区域，第二亲水区域的形状与待拾取微器件的上表面形状一致，且面积接近，也即，使得扩张第一亲水区域得到的第二亲水区域等于待拾取微器件的上表面，从而保证了第一液体在第二亲水区域与待拾取微器件形成的第一液桥被约束在第二亲水区域，同时，根据液体表面自由能最小化理论，被拾取的微器件在转移的过程中，微器件的上表面在第一液体表面的张力的作用下与形状大小近似的第二亲水区域发生自组装对齐，进而实现了在第一液桥的液桥力的作用下快速地实现了微器件的拾取、姿态校正和转移操作，避免了传统拾取技术的硬接触，防止损坏微器件；转移完成后，通过张力盘与超疏水弹性膜脱离接触使得超疏水弹性膜与第二亲水区域向上同性收缩，在第二亲水区域缩小改变第二亲水区域和微器件之间的第一液桥形态，使得液桥断裂，微器件自然落在期望组装的基底位置，从而快速实现了微器件的释放、组装。42.实施例二：43.本实施例提供一种微器件转移方法，如图5所示，包括：44.s501、将超疏水弹性膜中第一亲水区域同性扩张为第二亲水区域，第二亲水区域的形状、面积与待拾取的微器件上表面形状、面积相等；45.在一些实施例中，超疏水弹性膜的材质不受限制，可选的，通过喷涂并热固化碳黑/聚丁二烯复合涂料在具有良好弹性的橡胶基底表面进行超疏水处理形成超疏水弹性膜，并在薄膜表面留出与所要拾取微薄器件顶面形状相似的区域，疏水处理，形成第一亲水性区域，第一亲水区域的面积约为待拾取微器件上表面面积的50％，扩张为第二亲水区域后，第二亲水区域的面积与待拾取微器件上表面面积接近或相等。46.在一些实施例中，通过张力盘将超疏水弹性膜中第一亲水区域同性扩张为第二亲水区域。47.s502、在第二亲水区域与微器件上表面之间注射液体，液体能够在第二亲水区域与微器件上表面之间形成第一液桥，利用第一液桥拾取微器件；48.在一些实施例中，在第二亲水区域与微器件上表面之间注射第一液体之前还包括：根据微器件上表面的面积、材料、第二亲水区域的面积、材料以及液桥的近似力学模型计算第一液体的体积；需要理解的是，超疏水弹性膜上可以存在多个不同形状的第一亲水区域，如图 6所示，其包括但不限于矩形第一亲水区域，菱形第一亲水区域、三角形第一亲水区域、圆形第一亲水区域等，进而实现同时拾取不同形状的微器件；需要理解的是，在拾取不同形状的微器件时，保持扩张的第二亲水区域面积和微器件的上表面面积接近或相等，此时在不同微器件上喷射用于拾取微器件的第一液体的体积决定了拾取的成功率，因此不同微器件形状对应不同的第一液体的体积计算公式。49.在一些实施例中，微器件上表面为圆形时的第一液体的体积的计算方法如下：50.请参见图7，如图7所示，第一液桥拾取圆形上表面时的受力分析，忽略液体自身重力， 如图7所示，第一液桥拾取圆形上表面时在竖直方向的作用力fc为:51.fc＝fl+ftꢀꢀꢀ(1)[0052][0053]ft＝2γπrusinθuꢀꢀꢀ(3)[0054]fl是因为液桥内压强差而产生的力(拉普拉斯作用力)，ft是液、固、气三相接触线处第一液体表面张力在竖直方向的分量；ru是弹性薄膜表面圆形亲水性区域半径，在拾取圆形器件时与圆形器件的半径rd相等；θu是第一液体在超疏水弹性膜的第二亲水区域上的本征接触角，由超疏水弹性膜材料特征决定；γ第一液体表面张力。[0055]p0是液桥内外压强差，根据young—laplace方程当忽略液桥重力时在液桥的对称截面内简化为弧形，此时液桥高度h与kelvin半径(rk)之间的关系为：[0056]h＝rk(cosθd+cosθu)ꢀꢀꢀ(4)[0057]其中θd是第一液体在微器件上的本征接触角，由微器件上表面材料特征决定；[0058]只有当fc》gchip时才能拾取微器件，gchip为微器件的重量，微器件可以通过测量得到。[0059]结合等式(1)至(4)可知液桥合理高度为：[0060][0061]根据几何关系，a、b、c三点在以o点为圆心，rk为半径的圆上。即有[0062](x-rd-rk sinθd)2+(y-rk cosθd)2＝(rk)2ꢀꢀꢀ(6)[0063]此时第一液体的理想体积v为：[0064]v＝v1+v2+v3ꢀꢀ(7)[0065]其中：[0066][0067][0068][0069]因为公式(5)和公式(7)中所有量都是已知的，所以针对圆形第二亲水区域和微器件圆形上表面的面积相等时，在公式(7)计算得到的第一液体体积v的条件下，超疏水弹性膜拾取微器件时与微器件的距离为公式(5)所得到的h时，第一液桥能拾取圆形器件的最大重量为gchip的微器件。[0070]因为当超疏水弹性薄膜的收缩为ru+rk sin(θu)-rk≤0时第一液桥断裂，因此设定超疏水弹性膜的扩展率为rd/ru。[0071]在一些实施例中，正方形第二亲水区域拾取面积相等的正方形微器件上表面时，如图8 所示，针对正方形的微器件，考虑将拾取正方形微器件时的第一液桥简化为回转形桥，即控制第一液桥体积使其底部圆形润湿的亲水区域刚好与正方形微器件上表面内切时的液桥作为拾取正方形微器件的等效液桥。因此同样可以利用计算圆形微器件时的方法来计算其对应第一液体体积v、超疏水弹性膜中的方形区域拾取微器件时与微器件上表面的距离h，此时第一液桥能拾取的正方形器件的最大重量的微薄器件(gchip)。[0072]同样可以得到超疏水弹性薄膜的收缩为ru+rk sin(θu)-rk≤0时液桥断裂，因此设定超疏水弹性膜的扩展率为rd/ru。[0073]需要理解的是，通过等效转化的方法同样可以计算拾取菱形和三角形微薄器件时的相关第一液桥参数(体积v、距离h和拾取的器件重量(gchip))和超疏水弹性膜的扩展率。[0074]在一些实施例中，在第二亲水区域与微器件上表面之间注射液体之前还包括：对第二亲水区域以及微器件上表面进行定位，使得第二亲水区域以及微器件上表面对齐。[0075]s503、通过第一液桥转移微器件，将第二亲水区域同性收缩为第一亲水区域，断裂第一液桥释放微器件到基底上；[0076]在一些实施例中，张力盘与超疏水弹性膜脱离接触使得超疏水弹性膜与第二亲水区域向上同性收缩，第二亲水区域同性收缩，断裂第一液桥释放被拾取的微器件。本实施例通过将超疏水弹性膜中第一亲水区域同性扩张为第二亲水区域，第二亲水区域的形状、面积与待拾取的微器件上表面形状、面积相等；在第二亲水区域与微器件上表面之间注射液体，液体能够在第二亲水区域与微器件上表面之间形成第一液桥，利用第一液桥拾取微器件；通过第一液桥转移微器件，将第二亲水区域同性收缩为第一亲水区域，断裂第一液桥释放微器件到基底上；根据液体表面自由能最小化理论，被拾取的微器件在转移的过程中，微器件的上表面在第一液体表面的张力的作用下与形状大小近似的第二亲水区域发生自组装对齐，进而实现了在第一液桥的液桥力的作用下快速地实现了微器件的拾取、姿态校正和转移操作，避免了传统拾取技术的硬接触，防止损坏微器件；转移完成后，超疏水弹性膜与第二亲水区域向上同性收缩，在第二亲水区域缩小改变第二亲水区域和微器件之间的第一液桥形态，使得液桥断裂，微器件自然落在期望组装的基底位置，从而快速实现了微器件的释放、组装。[0077]实施例三：[0078]本实施例还提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质包括在用于存储信息(诸如计算机可读指令、数据结构、计算机程序模块或其他数据)的任何方法或技术中实施的易失性或非易失性、可移除或不可移除的介质。计算机可读存储介质包括但不限于ram (random access memory，随机存取存储器),rom(read-only memory，只读存储器),eeprom (electrically erasable programmable read only memory，带电可擦可编程只读存储器)、闪存或其他存储器技术、cd-rom(compact disc read-only memory，光盘只读存储器)，数字多功能盘(dvd)或其他光盘存储、磁盒、磁带、磁盘存储或其他磁存储装置、或者可以用于存储期望的信息并且可以被计算机访问的任何其他的介质。[0079]本实施例中的计算机可读存储介质可用于存储一个或者多个计算机程序，其存储的一个或者多个计算机程序可被处理器执行，以实现上述实施例二中的微器件转移方法的至少一个步骤。[0080]可见，本领域的技术人员应该明白，上文中所公开方法中的全部或某些步骤、系统、装置中的功能模块/单元可以被实施为软件(可以用计算装置可执行的计算机程序代码来实现)、固件、硬件及其适当的组合。在硬件实施方式中，在以上描述中提及的功能模块/单元之间的划分不一定对应于物理组件的划分；例如，一个物理组件可以具有多个功能，或者一个功能或步骤可以由若干物理组件合作执行。某些物理组件或所有物理组件可以被实施为由处理器，如中央处理器、数字信号处理器或微处理器执行的软件，或者被实施为硬件，或者被实施为集成电路，如专用集成电路。[0081]此外，本领域普通技术人员公知的是，通信介质通常包含计算机可读指令、数据结构、计算机程序模块或者诸如载波或其他传输机制之类的调制数据信号中的其他数据，并且可包括任何信息递送介质。所以，本发明不限制于任何特定的硬件和软件结合。[0082]以上内容是结合具体的实施方式对本发明实施例所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。