一种MEMS敏感芯片的湿法腐蚀装置的制作方法

一种mems敏感芯片的湿法腐蚀装置技术领域1.本实用新型涉及芯片生产领域，特别涉及一种mems敏感芯片的湿法腐蚀装置。背景技术：2.随着信息社会的发展，微机械加工技术越来越广泛的应用到微电子机械系统(mems)，尤其应用于微纳传感器的制作过程中。近些年来，随着mems器件的多样化发展，器件的集成度和复杂度也不断提高，mems技术的应用也越来越深入，而湿法腐蚀技术一直是mems技术中非常重要的一个环节。现有的湿法腐蚀是将芯片放入盛有腐蚀液体的装置内，将芯片放置在腐蚀装置的放置架上，通过搅拌器搅拌腐蚀液体来保证液体的均匀性，但是这种方式只是对液体进行搅拌，不能带动芯片转动，不能增加芯片腐蚀的效率，同时装置内的放置架高度都是固定的，在取出芯片时需要伸入腐蚀液体内将芯片取出来，一方面容易对工作人员造成损伤，另一方面取出的芯片需要将其表面的因此，发明一种mems敏感芯片的湿法腐蚀装置来解决上述问题很有必要。技术实现要素：3.本实用新型的目的在于提供一种mems敏感芯片的湿法腐蚀装置，以解决上述背景技术中提出的问题。4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种mems敏感芯片的湿法腐蚀装置，包括装置主体，所述装置主体的开口两端内壁上均固定连接有同步气缸，所述同步气缸的输出端连接有气缸推杆，所述同步气缸的下方设置有清理块，所述清理块固定安装在装置主体的上端内壁上，所述气缸推杆的底端贯穿清理块上开设的清理槽并固定连接有连接板，两个所述连接板之间设置有放置盘，所述放置盘的下表面两端分别贴合两个连接板的一端顶部，所述放置盘的下表面中部固定连接有连接柱，所述连接柱的底端中部开设有插槽，所述装置主体的底端中部固定连接有电机，所述电机的输出轴贯穿装置主体的底端并插入插槽的内部，且电机的输出轴下端外侧固定连接有搅拌桨，所述搅拌桨设置于装置主体的内腔底部。5.优选的，所述装置主体的底端一侧固定连接有加热器，所述加热器的加热端插入装置主体的内部，所述装置主体的底端另一侧内壁上固定连接有温度传感器，所述温度传感器和加热器的加热端外侧均套接有耐腐蚀导热金属层。6.优选的，所述放置盘的下表面边缘固定连接有燕尾滑块，所述燕尾滑块设置为环形结构，两个所述连接板相互靠近的一端上表面均开设有燕尾滑槽，所述燕尾滑槽设置为弧形结构，所述燕尾滑块位于燕尾滑槽的内部。7.优选的，所述燕尾滑块的两侧内壁上均开设有滚珠槽，所述滚珠槽的内部设置有滚珠，所述滚珠与燕尾滑槽的内壁相对应。8.优选的，所述放置盘的上表面开设有四个呈十字形分布的限位滑槽，所述限位滑槽的内部设置有限位滑块，所述限位滑块的顶端固定连接有夹板，所述夹板设置为l形结构。9.优选的，所述放置盘的上表面中部镶嵌有橡胶垫层，所述橡胶垫层的上表面凸出放置盘，且橡胶垫层由耐腐蚀橡胶制成。10.本实用新型的技术效果和优点：11.本实用新型通过在装置主体内设置有放置盘，放置盘通过连接柱与电机的输出轴连接，使得电机能够带动放置盘转动，带动放置盘上的芯片转动，提高了芯片腐蚀的效率，同时在装置主体上设置有同步气缸，同步气缸上的气缸推杆通过连接板带动放置盘向上移动，能够将放置盘移出腐蚀液，同时再通过电机带动放置盘转动，通过离心力将芯片上附着的腐蚀液甩出，达到了清理的效率，同时甩出的腐蚀液落到装置内，不会造成浪费。附图说明12.图1为本实用新型的整体结构剖面示意图。13.图2为本实用新型的放置盘结构剖面示意图。14.图3为本实用新型的放置盘结构立体示意图。15.图4为本实用新型的整体结构示意图。16.图中：1、装置主体；2、同步气缸；3、气缸推杆；4、清理块；5、连接板；6、放置盘；7、连接柱；8、插槽；9、电机；10、搅拌桨；11、加热器；12、温度传感器；13、燕尾滑块；14、燕尾滑槽；15、滚珠槽；16、滚珠；17、限位滑槽；18、夹板；19、压紧弹簧；20、橡胶垫层。具体实施方式17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。18.本实用新型提供了如图1-4所示的一种mems敏感芯片的湿法腐蚀装置，包括装置主体1，装置主体1的开口两端内壁上均固定连接有同步气缸2，同步气缸2的输出端连接有气缸推杆3，同步气缸2的下方设置有清理块4，清理块4固定安装在装置主体1的上端内壁上，气缸推杆3的底端贯穿清理块4上开设的清理槽并固定连接有连接板5，清理块4上开设的清理槽内设置有清理布，能够将气缸推杆3上附着的腐蚀液清理掉，避免腐蚀液俯视同步气缸2，两个连接板5之间设置有放置盘6，放置盘6的下表面两端分别贴合两个连接板5的一端顶部，放置盘6的下表面中部固定连接有连接柱7，连接柱7的底端中部开设有插槽8，装置主体1的底端中部固定连接有电机9，电机9的输出轴贯穿装置主体1的底端并插入插槽8的内部，插槽8与电机9的输出轴均设置为多边形结构，使得电机9能够带动连接柱7转动，且不影响放置盘6上下移动，且电机9的输出轴下端外侧固定连接有搅拌桨10，搅拌桨10设置于装置主体1的内腔底部，电机9通过输出轴带动搅拌桨10转动，对腐蚀液进行搅拌。19.具体的，装置主体1的底端一侧固定连接有加热器11，加热器11的加热端插入装置主体1的内部，装置主体1的底端另一侧内壁上固定连接有温度传感器12，温度传感器12和加热器11之间通过导线进行电连接，温度传感器12和加热器11配合对装置主体1内的稳定进行控制，保证腐蚀液的最佳腐蚀温度，温度传感器12和加热器11的加热端外侧均套接有耐腐蚀导热金属层，其中温度传感器12和加热器11均选用现有技术中已经公开的产品，其具体的型号根据工艺的需要进行不同的选择。20.更为具体的，放置盘6的下表面边缘固定连接有燕尾滑块13，燕尾滑块13设置为环形结构，两个连接板5相互靠近的一端上表面均开设有燕尾滑槽14，燕尾滑槽14设置为弧形结构，燕尾滑块13位于燕尾滑槽14的内部，燕尾滑块13和燕尾滑槽14配合起到了限位的作用，同时使得放置盘6能够转动，燕尾滑块13的两侧内壁上均开设有滚珠槽15，滚珠槽15的内部设置有滚珠16，滚珠16与燕尾滑槽14的内壁相对应，滚珠16的设置降低了燕尾滑块13的与燕尾滑槽14的摩擦力，使得燕尾滑块13便于转动，放置盘6的上表面开设有四个呈十字形分布的限位滑槽17，限位滑槽17的内部设置有限位滑块，限位滑块的顶端固定连接有夹板18，限位滑块和限位滑槽17配合起到了导向的作用，使得夹板18保持线性移动，夹板18设置为l形结构，四个夹板18配合能够将芯片快速稳定的夹持，放置盘6的上表面中部镶嵌有橡胶垫层20，橡胶垫层20的上表面凸出放置盘6，且橡胶垫层20由耐腐蚀橡胶制成，橡胶垫层20对芯片起到了防护的作用，同时也起到了增加摩擦的作用。21.本实用新型工作原理：22.本装置在工作时，首先将放置盘6上的四个夹板18向相反方向移动，再将芯片放到放置盘6上并与橡胶垫层20接触，然后松开夹板18，夹板18在压紧弹簧19的作用下复位，四个夹板18配合将芯片夹持限位，然后启动同步气缸2，同步气缸2通过气缸推杆3和连接板5带动放置盘6向下移动，直至放置盘6上的芯片完全被腐蚀液浸没，然后启动电机9，电机9通过连接柱7带动放置盘6转动，提高了放置盘6上芯片的腐蚀效率，同时电机9上的输出轴带动搅拌桨10转动，对腐蚀液进行搅拌，再通过加热器11和温度传感器12配合控制腐蚀液的温度，进一步提高了芯片的腐蚀效率，当芯片腐蚀完成后，启动同步气缸2，同步气缸2通过气缸推杆3和连接板5带动放置盘6向上移动，直至放置盘6与腐蚀液分离，然后芯片上的腐蚀液在转动时产生的离心力下被甩出，落到装置主体1内，避免腐蚀液的浪费，同时也使得芯片便于取用，提高了本装置的工作效率。23.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。