试样支承体的制作方法

本公开涉及试样支承体。

背景技术：

1、目前，在试样的质量分析中，已知有用于将试样的成分电离的试样支承体(例如，参照专利文献1)。这种试样支承体具备基板，该基板具有第一表面、位于第一表面的相反侧的第二表面、以及在第一表面及第二表面开口的多个贯通孔。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特许第6093492号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的技术问题]

2、在上述那样的质量分析中，检测被电离的试样(试样离子)，基于该检测结果实施试样的质量分析。在这种质量分析中，期望提高灵敏度(信号强度)。

3、因此，本公开的一方面的目的在于，提供可进行高灵敏度的质量分析的试样支承体。

4、[用于解决技术问题的技术方案]

5、本公开的一方面提供一种试样支承体，该试样支承体用于试样的成分的电离，该试样支承体具备：基板，其具有第一表面及在第一表面开口的多个孔；导电层，其在第一表面上以不堵塞孔的方式设置，导电层由多个纳米颗粒构成，且具有30nm以上的厚度。

6、该试样支承体具备：具有第一表面及在第一表面开口的多个孔的基板。由此，当试样的成分被导入多个孔时，成分停留于第一表面侧。进一步，当对导电层施加电压且对基板的第一表面照射激光等能量射线时，能量向第一表面侧的成分传递。通过该能量，成分被电离，由此，产生试样离子。在此，导电层由多个纳米颗粒构成，且具有30nm以上的厚度。由此，通过使导电层的表面具有作为纳米颗粒的性质，能够将导电层的表面设为适于试样成分的电离的状态。因此，根据该试样支承体，能够提高试样离子的信号强度，能够进行高灵敏度的质量分析。

7、也可以是，纳米颗粒堆积于第一表面、以及孔的内壁面上的第一表面侧的一部分。在该情况下，被导入到多个孔的试样的成分容易与纳米颗粒接触，因此，试样的成分更容易被电离。

8、纳米颗粒的平均粒径也可以为100nm以下。在该情况下，能够适当确保导电层的作为纳米颗粒的性质。

9、导电层也可以具有300nm以下的厚度。当导电层的厚度较大时，有时难以确保导电层的作为纳米颗粒的性质。通过将导电层的厚度设为300nm以下，能够更适当地确保导电层的作为纳米颗粒的性质。

10、多个孔的每一个孔的宽度也可以为50nm～400nm。在该情况下，能够使导入与多个孔的试样的成分适当地停留于基板的第一表面侧。

11、也可以是，多个孔沿着基板的厚度方向规则地延伸。在该情况下，能够使导入于多个孔的试样的成分在各个孔上停留于基板的第一表面。由此，能够使试样的成分适当地电离。

12、也可以是：基板具有位于第一表面的相反侧的第二表面，多个孔的每一个孔从第一表面到第二表面贯通基板。在该情况下，通过以试样支承体的第二表面与试样相对的方式将试样支承体配置于试样上，能够利用毛细管现象，使试样的成分从基板的第二表面侧经由多个孔朝向第一表面侧移动。由此，能够进行将构成试样的分子的二维分布图像化的成像质量分析。

13、导电层的厚度相对于孔间的间距之比也可以为0.5～1。在该情况下，通过基于孔间的间距设定导电层的厚度，能够适当地确保导电层的作为纳米颗粒的性质。

14、导电层的材料也可以为铂或金。在该情况下，能够容易得到适于确保作为纳米颗粒的性质的导电层。

15、[发明效果]

16、根据本公开的一方面，能够提供能够进行高灵敏度的质量分析的试样支承体。

技术特征：

1.一种试样支承体，其中，

2.根据权利要求1所述的试样支承体，其中，

3.根据权利要求1或2所述的试样支承体，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的试样支承体，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的试样支承体，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的试样支承体，其中，

7.根据权利要求1～6中任一项所述的试样支承体，其中，

8.根据权利要求6或7所述的试样支承体，其中，

9.根据权利要求1～8中任一项所述的试样支承体，其中，

技术总结本发明提供一种试样支承体，该试样支承体用于试样成分的电离，该试样支承体具备：基板，其具有第一表面及在第一表面开口的多个孔；以及导电层，其在第一表面上以不堵塞孔的方式设置，其中，导电层由多个纳米颗粒构成，且具有30nm以上的厚度。技术研发人员：田代晃,大村孝幸,小谷政弘,池田贵将受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社技术研发日：技术公布日：2024/1/12